LI LI Tongji University Shanghai, China Data-based Scheduling System for Semiconductor Wafer Fabrication Facility LI LI Tongji University Shanghai, China

Data-Based Scheduling System Interface Program Interlinkage Release Control Dispatching Rule Data Analysis Service Program Service Link Database Access Service Program Service Link Database Access Service Program Service Link Database Access 本系统主要是通过3个层之间的互相调用来实现的：界面层（或者叫接口层）、功能层和数据库层。我们可以通过接口层来对功能进行调用，并进行结果的输出；与此同时，功能层也需要数据库的支撑才能得以实现。其中最主要的功能层又包含了投料控制、派工规则和数据分析三部分。其中投料控制……。派工规则……。数据分析……。接下来会通过本系统对这3个功能分别展开介绍。 SQL Server

Data-Based Scheduling System 这是本系统的主界面，本系统集成了Release Control，Dispatching Rule 和Data Analysis 三部分。其中Release Control包含了两种投料控制方法，分别是基于ELM的投料控制方法和基于属性选择的投料控制方法。

Data-Based Scheduling System — Release Control 基于ELM的投料控制包含了4个部分，依次是ELM介绍、WRELM投料方法、RPELM投料方法和仿真结果。 第一部分主要介绍了极限学习机及其建模过程。 第二部分主要介绍了WRELM的建模过程及其仿真结果。其中仿真结果分别比较了不同在制品水平下的出片量、平均加工周期、准时交货率和紧急工件的准时交货率。 第三部分主要介绍了RPELM的建模过程及其仿真结果。其中仿真结果分别比较了不同在制品水平下的出片量、平均加工周期、准时交货率和紧急工件的准时交货率。 第四部分是针对某电装配车间模型来进行仿真实验。主要包括装配车间描述、样本生成、以及仿真结果及其比较分析。

Data-Based Scheduling System — Release Control 基于属性选择的投料控制包含了4个部分，依次是ELM介绍、WRELM投料方法、RPELM投料方法和仿真结果。 第一部分主要介绍了与投料控制相关的属性集。 第二部分主要介绍了属性选择方法。 第三部分主要在MIMAC模型和BL模型上对上述方法进行仿真验证。

Data-Based Scheduling System Dispatching Rule部分主要包含了两个调度方法。分别是DDR和DDRSO。先介绍DDRSO。

Data-Based Scheduling System — Dispatching Rule DDR DDR主要包含三部分：动态派工规则、基于数据挖掘的动态派工规则和基于属性选择的优化。其中，动态派工规则主要包含DDR介绍、DDR工作流程（包括问题假设和决策流程）和仿真三部分。其中仿真部分不仅可调用DDR，还可以调用其他几种常见的启发式调度规则，以便与DDR仿真结果相比较。

Data-Based Scheduling System — Dispatching Rule DDR 基于数据挖掘的DDR（ADR），主要包含3部分。ADR介绍、ADR设计和ADR仿真。 其中ADR设计部分主要包括了BP神经网络的设计、PSO算法和ADR的优化算法。 仿真部分给出了不同在制品水平下，几种常见性能指标的仿真结果。

Data-Based Scheduling System — Dispatching Rule DDR 基于属性选择的优化，主要包含三部分：与调度相关的属性集、属性选择、优化流程 第一部分给出了与调度相关的属性集，主要是从各个加工区来进行统计的。 第二部分给出了属性选择所用的方法和具体流程。

Data-Based Scheduling System Dispatching Rule部分主要包含了两个调度方法。分别是DDR和DDRSO。现在介绍E-DDRSO。

Data-Based Scheduling System — Dispatching Rule DDRSO DDRSO主要包含了三部分主要内容：性能指标的相关性分析、DDRSO、改进的DDRSO(E-DDRSO)。 其中性能指标的相关性分析主要包括性能指标描述、性能指标相关性分析和性能指标体系。

Data-Based Scheduling System — Dispatching Rule DDRSO DDRSO主要包括DDRSO体系结构和仿真结果两部分。其中DDRSO体系结构又包括自组织单元、角色定位、协商机制和决策机制四部分。

Data-Based Scheduling System — Dispatching Rule DDRSO E-DDRSO主要是在DDRSO基础上进行改进的。主要包括动态因素分析、决策机制分析和仿真结果3部分。 其中动态因素分析主要考虑了瓶颈设备和紧急工件。 仿真结果提供了不同在制品水平下，各种常见性能指标的仿真结果。同时将仿真结果与常见启发式规则的仿真结果进行对比。

Data-Based Scheduling System 接下来是数据分析。

Data-Based Scheduling System — Data Analysis 数据分析部分主要是对系统的性能指标进行相关性分析，其主要包含4个部分：常见性能指标统计、相关系数、训练集、相关性分析。

Data-Based Scheduling System — Data Analysis 常见性能指标统计主要包含了3部分。这里以Basic_KPI_Info为例……

Data-Based Scheduling System — Data Analysis 相关系数部分主要包含3部分。这里以WIP-Move为例。……

Data-Based Scheduling System — Data Analysis 训练集主要涉及两个方面。这里以WIP_MOVE_QUE_EQPX_CT为例。……

Data-Based Scheduling System — Data Analysis 相关性分析主要有平均加工周期和准时交货率两部分。这里以平均加工周期为例。……

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