第4章 光电发射器件 真空光电发射器件具有极高的灵敏度、快速响应等特点，它在微弱辐射的探测和快速弱辐射脉冲信息的捕捉等方面仍具有相当大的应用领地。 4.1 光电发射阴极 光电发射阴极是光电发射器件的重要部件，它是吸收光子能量发射光电子的部件。它的性能直接影响着整个光电发射器件的性能，为此，首先讨论用于制造光电阴极的典型光电发射材料。

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1 第4章 光电发射器件 真空光电发射器件具有极高的灵敏度、快速响应等特点，它在微弱辐射的探测和快速弱辐射脉冲信息的捕捉等方面仍具有相当大的应用领地。 4.1 光电发射阴极 光电发射阴极是光电发射器件的重要部件，它是吸收光子能量发射光电子的部件。它的性能直接影响着整个光电发射器件的性能，为此，首先讨论用于制造光电阴极的典型光电发射材料。

2 4.1.1 光电发射阴极的主要参数 光电发射阴极的主要特性参数为灵敏度、量子效率、光谱响应和暗电流等。 1. 灵敏度
光电发射阴极的主要参数 光电发射阴极的主要特性参数为灵敏度、量子效率、光谱响应和暗电流等。 1. 灵敏度 光电发射阴极的灵敏度应包括光谱灵敏度与积分灵敏度两种。 1)    光谱灵敏度 定义在单色（单一波长）辐射作用于光电阴极时，光电阴极输出电流Ik与单色辐射通量φe,λ之比为光电阴极的光谱灵敏度Se,λ。即Se,λ=IK/φe,λ，其量纲为µA/W或A/W。

3 定义在某波长范围内的积分辐射作用于光电阴极时，光电阴极输出电流Ik与入射辐射通量φe之比
2)      积分灵敏度 定义在某波长范围内的积分辐射作用于光电阴极时，光电阴极输出电流Ik与入射辐射通量φe之比 为光电阴极的积分灵敏度Se。即 ，量纲 为mA/W或A/W。在可见光波长范围内的“白光”作用于光电阴极时，光电阴极电流Ik与入射光通量φv之比为光电阴极的白光灵敏度Sv。即Sv= ， 量纲为mA/lm。

4 量子效率和光谱灵敏度是一个物理量的两种表示方法。它 们之间的关系为
2.量子效率 定义在单色辐射作用于光电阴极时，光电阴极发射单位时间发射出去的光电子数Ne,λ,与入射的光子数之比为光电阴极的量子效率ηλ（或称量子产额）。即 量子效率和光谱灵敏度是一个物理量的两种表示方法。它 们之间的关系为 （4-1）

5 3. 光谱响应 光电发射阴极的光谱响应特性用光谱响应特性曲线描述。光电发射阴极的光谱灵敏度或量子效率与入射辐射波长的关系曲线称为光谱响应。 4. 暗电流 光电发射阴极中少数处于较高能级的电子在室温下获得了热能产生热电子发射，形成暗电流。光电发射阴极的暗电流与材料的光电发射阈值有关。一般光电发射阴极的暗电流极低，其强度相当于10-16~10-18Acm-2的电流密度。

6 光电阴极材料 1. 单碱与多碱锑化物光阴极 锑铯(Cs3Sb)光电阴极是最常用的，量子效率很高的光电阴极。长波限约为650nm，对红外不灵敏。锑铯阴极的峰值量子效率较高，一般高达20%~30%，比银氧铯光电阴极高30多倍。两种或三种碱金属与锑化合形成多碱锑化物光阴极。其量子效率峰值可高达30% 。

7 2. 银氧铯与铋银氧铯光阴极 银氧铯(Ag-O-Cs)阴极是最早使用的高效光阴极。它的特点是对近红外辐射灵敏。制作过程是先在真空玻璃壳壁上涂上一层银膜再通入氧气，通过辉光放电使银表面氧化，对于半透明银膜由于基层电阻太高，不能用放电方法而用射频加热法形成氧化银膜，再引入铯蒸汽进行敏化处理，形成Ag-O-Cs薄膜。 银氧铯光电阴极的相对光谱响应曲线画从图4-1中可以看出，它有两个峰值，一个在350 nm处，一个在800 nm处。光谱范围在300 nm到1200 nm之间。量子效率不高，峰值处约0.5%～1%左右。 银氧铯使用温度可达100℃，但暗电流较大，且随温度变化较快。

8 4.2 真空光电管与光电倍增管的工作原理 真空光电管的原理 真空光电管主要由光电阴极和阳极两部分组成，因管内常被抽成真空而称为真空光电管。然而，有时为了使某种性能提高，在管壳内也充入某些低气压惰性气体形成充气型的光电管。无论真空型还是充气型均属于光电发射型器件，称为真空光电管或简称为光电管。其工作原理电路如图4-2所示，在阴极和阳极之间加有一定的电压，且阳极为正极，阴极为负极。

9 1、真空型光电管的工作原理 当入射光透过真空型光电管的入射窗照射到光电阴极面上时，光电子就从阴极发射出去，在阴极和阳极之间形成的电场作用下，光电子在极间作加速运动，被高电位的阳极收集，其光电流的大小主要由阴极灵敏度和入射辐射的强度决定。 2、充气型光电管的工作原理 光照生电子在电场的作用下运动，途中与惰性气体原子碰撞而电离，电离又产生新的电子，它与光电子一起都被阳极收集，形成数倍于真空型光电管的光电流 。

10 光电倍增管的原理 光电倍增管（Photo-multiple tube简称为PMT）是一种真空光电发射器件，它主要由光入射窗、光电阴极、电子光学系统、倍增极和阳极等部分组成。 如图4-3所示为光电倍增管原理示意图。

11 氧化的银镁合金材料也具有二次电子发射功能，它与锑化铯相比二次电子发射能力稍差些，但它可以工作在较强电流和较高的温度（150℃）。
光电倍增管的结构 1. PMT的入射窗结构 2. 倍增极结构 1）倍增极材料 锑化铯（CsSb）材料具有很好的二次电子发射功能，它可以在较低的电压下产生较高的发射系数，电压高于400V时的δ值可高达10倍。 氧化的银镁合金材料也具有二次电子发射功能，它与锑化铯相比二次电子发射能力稍差些，但它可以工作在较强电流和较高的温度（150℃）。

12 铜-铍合金（铍的含量为2%）材料也具有二次电子发射功能，不过它的发射系数δ比银镁合金更低些。
新发展起来的负电子亲和势材料GaP[Cs]，具有更高的二次电子发射功能，在电压为1000V时，倍增系数可大于50或高达200。 （2）  倍增极结构 光电倍增管按倍增极结构可分为聚焦型与非聚焦型两种。非聚焦型光电倍增管有百叶窗型（图4-4（a））与盒栅式（图4-4（b））两种结构；聚焦型有瓦片静电聚焦型（图4-4（c））和圆形鼠笼式（图4-4（d））两种结构。

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14 定义光电倍增管阴极电流Ik与入射光谱辐射通量之比为阴极的光谱灵敏度，并记为
4.3 光电倍增管的基本特性 灵敏度 1、阴极灵敏度 定义光电倍增管阴极电流Ik与入射光谱辐射通量之比为阴极的光谱灵敏度，并记为 (4-2) 若入射辐射为白光，则以阴极积分灵敏度，IK与光谱辐射通量的积分之比，记为Sk (4-3)

15 定义光电倍增管阳极输出电流Ia与入射光谱辐射通量之比为阳极的光谱灵敏度，并记为
2、阳极灵敏度 定义光电倍增管阳极输出电流Ia与入射光谱辐射通量之比为阳极的光谱灵敏度，并记为 (4-4) 若入射辐射为白光，则定义为阳极积分灵敏度，记为Sa (4-5)

16 电流放大倍数（增益） 电流放大倍数表征了光电倍增管的内增益特性，它不但与倍增极材料的二次电子发射系数δ有关，而且与光电倍增管的级数N有关。理想光电倍增管的增益G与电子发射系数δ的关系为 G= δ n （4-6） 当考虑到光电阴极发射出的电子被第1倍增极所收集，其收集系数为，且每个倍增极都存在收集系数，因此，增益G应修正为 (4-7)

17 对于氧化的银镁合金（AgMgO[Cs]）材料有经验公式 δ=0.025UDD (4-9)
对于非聚焦型光电倍增管的近似为90%，要高于，但小于1；对于聚焦型的，尤其是在阴极与第1倍增极之间具有电子限束电极F的倍增管，其η≈η ≈ 1，可以用式（4-6）计算增益G。 i 1 倍增极的二次电子发射系数δ可用经验公式计算，对于锑化铯（Cs3Sb）倍增极材料有经验公式 （4-8） 对于氧化的银镁合金（AgMgO[Cs]）材料有经验公式 δ=0.025UDD (4-9) 显然，上述两种倍增材料的电流增益G与极间电压UDD的关系式由式（4-6），（4-7）和（4-8）得到：

18 光电倍增管在电源电压确定后，电流放大倍数可以从定义出发，通过测量阳极电流Ia与阴极电流Ik确定。
对于锑化铯倍增极材料 （4-10） 对银镁合金材料 （4-11） 光电倍增管在电源电压确定后，电流放大倍数可以从定义出发，通过测量阳极电流Ia与阴极电流Ik确定。 （4-12）

19 暗电流 光电倍增管在无辐射作用下的阳极输出电流称为暗电流，记为ID。光电倍增管的暗电流值在正常应用的情况下是很小的，一般为~A，是所有光电探测器件中暗电流最低的器件。 影响暗电流的主要因素： 1. 欧姆漏电 欧姆漏电主要指光电倍增管的电极之间玻璃漏电、管座漏电和灰尘漏电等。欧姆漏电通常比较稳定，对噪声的贡献小。在低电压工作时，欧姆漏电成为暗电流的主要部分。

20 由于光电阴极材料的光电发射阈值较低，容易产生热电子发射，即使在室温下也会有一定的热电子发射，并被电子倍增系统倍增。
2. 热发射 由于光电阴极材料的光电发射阈值较低，容易产生热电子发射，即使在室温下也会有一定的热电子发射，并被电子倍增系统倍增。 （4-13） 降低光电倍增管的温度是减小热发射暗电流的有效方法。 3. 残余气体放电 光电倍增管中高速运动的电子会使管中的残余气体电离，产生正离子和光子，它们也将被倍增，形成暗电流。这种效应在工作电压高时特别严重，使倍增管工作不稳定。

21 光电倍增管的工作电压高时还会引起管内电极尖端或棱角的场强太高产生的场致发射暗电流。显然降低工作电压场致发射暗电流也将下降。
4. 场致发射 光电倍增管的工作电压高时还会引起管内电极尖端或棱角的场强太高产生的场致发射暗电流。显然降低工作电压场致发射暗电流也将下降。 5. 玻璃壳放电和玻璃荧光 当光电倍增管负高压使用时，金属屏蔽层与玻璃壳之间的电场很强，尤其是金属屏蔽层与处于负高压的阴极电场最强。在强电场下玻璃壳可能产生放电现象或出现玻璃荧光，放电和荧光都要引起暗电流，而且还将严重破坏信号。因此，在阴极为负高压应用时屏蔽壳与玻璃管壁之间的距离至少为10~20mm。

22 光电倍增管的噪声主要由散粒噪声和负载电阻的热噪声组成。负载电阻的热噪声为
噪声 光电倍增管的噪声主要由散粒噪声和负载电阻的热噪声组成。负载电阻的热噪声为 （4-14） 散粒噪声主要由阴极暗电流Id，背景辐射电流Ib以及信号电流Is的散粒效应所引起的。阴极散粒噪声电流为 （4-15） 散粒噪声电流将被逐级放大，并在每一级都产生自身的散粒噪声。如第1级输出的散粒噪声电流为 （4-16）

23 （4-19） 第2级输出的散粒噪声电流为 第n级倍增极输出的散粒噪声电流为
为简化问题，设各倍增极的发射系数都等于δ（各倍增极的电压相等时发射系数相差很小）时，则倍增管末倍增极输出的散粒噪声电流为 （4-19）

24 δ通常δ在3~6之间， 接近于1，并且，δ越大， 越接近于1。光电倍增管输出的散粒噪声电流简化为
δ通常δ在3~6之间， 接近于1，并且，δ越大， 越接近于1。光电倍增管输出的散粒噪声电流简化为 （4-20） 总噪声电流为 （4-21） 在设计光电倍增管电路时，总是力图使负载电阻的热噪声远小于散粒噪声 ＜＜ （4-21） ＜＜

25 （4-23） 设光电倍增管的增益G=104，阴极暗电流Idk=10-14A，在室温300K情况下，只要阳极负载电阻Ra满足
当然，提高光电倍增管的增益（增高电源电压）G，降低阴极暗电流Idk都会减少对阳极电阻Ra的要求，提高光电倍增管的时间响应。

26 伏安特性 1. 阴极伏安特性 当入射光电倍增管阴极面上的光通量一定时，阴极电流Ik与阴极和第一倍增极之间电压(简称为阴极电压Uk)的关系曲线称为阴极伏安特性， 图4-6为不同光通量下测得的阴极伏安特性。从图中可见，当阴极电压较小时阴极电流Ik随Uk的增大而增加，直到Uk大于一定值(几十伏特)后，阴极电流Ik才趋向饱和，且与入射光通量φ成线性关系。

27 2. 阳极伏安特性 当入射到光电倍增管阳极面上的光通量一定时，阳极电流Ia与阳极和末级倍增极之间电压(简称为阳极电压Ua)的关系曲线称为阳极伏安特性，图4-7为3组不同强度的光通量的伏安特性。 当阳极电压增大到一定程度后，被增大的电子流已经能够完全被阳极所收集，阳极电流Ia与入射到阴极面上的光通量φ成线性关系而与阳极电压的变化无关。 （4-24）

28 线性 光电倍增管的线性一般由它的阳极伏安特性表示，它是光电测量系统中的一个重要指标。线性不仅与光电倍增管的内部结构有关，还与供电电路及信号输出电路等因素有关。 内因，即空间电荷、光电阴极的电阻率、聚焦或收集效率等的变化； 外因，光电倍增管输出信号电流在负载电阻上的压降对末级倍增极电压产生负反馈和电压的再分配都可能破坏输出信号的线性。

29 疲劳与衰老 光电阴极材料和倍增极材料中一般都含有铯金属。当电子束较强时，电子束的碰撞会使倍增极和阴极板温度升高，铯金属蒸发，影响阴极和倍增极的电子发射能力，使灵敏度下降。甚至使光电倍增管的灵敏度完全丧失。因此，必须限制入射的光通量使光电倍增管的输出电流不得超过极限值IaM。为防止意外情况发生，应对光电倍增管进行过电流保护，阳极电流一旦超过设定值便自动关断供电电源。

30 思考题 4 4.4 何谓光电倍增管的增益特性？光电倍增管各倍增极的发射系数δ与那些因素有关？最主要的因素是什么？ 4.6 光电倍增管的主要噪声是什么？在什么情况下热噪声可以被忽略？ 4.7 怎样理解光电倍增管的阴极灵敏度与阳极灵敏度？二者的区别是什么？二者有什么关系？ 4.8 为什么光电倍增管不但要屏蔽光，还要屏蔽电与磁？用什么样的材料制造光电倍增管的屏蔽罩才能屏光、屏电还能屏蔽磁？屏蔽罩为什么必须与玻璃壳分离至少20mm？

31 习题 4 4.11 某光电倍增管的阳极灵敏度为10A/lm，为什么还要限制它的阳极输出电流在50~100μA？
习题 4 4.11 某光电倍增管的阳极灵敏度为10A/lm，为什么还要限制它的阳极输出电流在50~100μA？ 4.12 已知某光电倍增管的阳极灵敏度为100A/lm，阴极灵敏度2μA/lm，阳极输出电流应限制在100μA范围内，问最大允许的入射光通量为多少lm？