機台監控系統 w w w . P r o M O S . c o m .tw.

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1 機台監控系統 w w w . P r o M O S . c o m .tw

2 先進製程監控 vs. 傳統 產品製造品質管理比較
先進機台監控系統的優勢 先進製程監控 vs. 傳統 產品製造品質管理比較 先進製程監控 線上產品良測 抽樣數 每批/每片晶圓 所有參數都檢查 抽批抽片檢查 產品週期限制 產品週期時間 無影響 需要額外檢查站點 即時性 高 低 (可能已經過了許多站點) 產品重工成本 低 高(可能已經過了許多站點) ProMOS Confidential ITM

3 全廠導入監控系統的優點 能最快發現生產線製程異常的自動化系統 降低生產成本 穩定產品製造週期 提高客戶滿意度 提升製程能力Cpk
改善產品品質 提高企業跨部門工程溝通的效率 節省人力 完善的知識管理平臺 累積工程經驗 ProMOS Confidential ITM

4 半導體 6 “& 8 " 機台監控系統架構圖 機台 錯誤診斷 / 資料庫 / 網頁 / 應用軟體 (Linux / MS) RS232
EAP EAP EAP EAP EAP PC PC PC PC PC 區域網路 錯誤診斷 / 資料庫 / 網頁 / 應用軟體 M1 TOOL 3 TOOL 2 TOOL 1 (Linux / MS) ProMOS Confidential ITM

5 半導體 12 " 機台監控系統架構圖 機台 錯誤診斷 / 資料庫 / 網頁 / 應用程式 (Linux / MS) 區域網路
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6 LCD 機台監控系統架構圖 錯誤診斷 / 資料庫 / 網頁 / 應用程式 (Linux / MS) 區域網路 LCD 機台 感測器 感測器
PLC PLC PLC PLC PLC SESC / GEM 資料收集器 資料收集器 資料收集器 資料收集器 資料收集器 錯誤診斷 / 資料庫 / 網頁 / 應用程式 區域網路 (Linux / MS) ProMOS Confidential ITM

7 Pump / External Sensor APC System
幫浦系統監控架構圖 其他附屬設備 機台幫浦及 外接感測器 RS-232 N-Port 資料傳輸界面 區域網路 資料收集器 錯誤診斷 / 資料庫 / 網頁 / 應用軟體 Module Tool 1 Tool 2 Tool 3 Pump / External Sensor APC System ProMOS Confidential ITM

8 MOCVD 機台監控系統架構圖 Decode / Insert data In-line DB AP server Web server
In-line Fault Detection Real Time Tool Control In-line DB AP server APC Web Function Web server LOG FILE Off-line DB Historical Data Check Reporting AP server ProMOS Confidential ITM

9 自動批次控制系統 (R2R) Special Designed for LED Fabs Recipe -Tuning Guide
MOCVD PL/ EL Recipe -Tuning Guide automated machine learning Process Tool Data ( Epi.Temp. ) influence on metrology Metrology Target User-Defined Formula ProMOS Confidential ITM