黃光室使用教學講義 編輯者：林政邦.

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1 黃光室使用教學講義 編輯者：林政邦

2 請先登入使用者帳號並填寫開始使用之時間，檢查上個使用者關燈之時間，以確
保燈泡之使用壽命。 2. 打開燈泡電源控制器之開關，確定風扇之運轉後，約等20秒後再將燈泡點起！ 3. 將空壓器CDA的氣閥開關轉開，確定光罩對準機的光罩載盤升起與氣槍之氣體。

3 將工作台的燈光打開並插上所需使用之插頭 (烤盤)，開啟旋轉塗佈機的馬達與烤
盤之開關，後將光阻液取出，並靜置約5分鐘，同時可先將要使用之光罩清洗乾淨 後放置於光罩對準機的光罩吸盤上，並開機等候！

4 選擇適合的旋轉塗佈機真空吸頭並將之安裝上去，把已清洗完的樣品放置在旋
轉塗佈機真空吸頭上，在塗佈機面板上選擇AUTO MODE，選取適合的RECIPE， 將樣品吸真空VAC ON 後，滴上數滴光阻液後將透明壓克力蓋蓋上，按下START 開始塗佈，等完畢後，將真空解除VAC OFF後方可將樣品取下。 6. 將已塗佈完光阻的樣品放置在烤盤上軟烤，90℃ 30秒！ 7. 將樣品拿至光罩對準機進行曝光，首先使用預備的基板來做水平校正後，方可將 曝光！ 8. 待曝光後，再將樣品放置在烤盤上進行曝後烤，90℃ 30秒。 9. 把顯影液依所需之配比配好後，將樣品置入並觀察顯影之情形，待顯影完後將樣 品取出泡置於DI水中。 10. 把樣品取出並用氣槍將之吹乾，置於烤盤上進行硬烤，100℃ 60秒，後完成實驗。 11. 把使用過的光罩再清洗乾淨，將第2.3.4.點所提及之儀器關機並將所有器具歸回原 位，登出使用者帳號並填寫結束使用之時間，再次確定黃光室所有器具都已復原！

5 參考移動距離 down on off off 連動 motor內頁 Mask Wafer vac Mask vac Ball vac stop 鍵入step 移動大小 步進 2~5 start Lamp L-R 曝光時間之倒數 Timer motor Con vac 鍵入所需曝光時間 鍵入Con vac. 所需真空力道大小 Mask – 光罩載盤的上升與下降 Wafer vac – 樣品載盤之真空 Mask vac – 光罩之真空 Ball vac – 樣品載盤下方半球狀腔體之真空 Lamp L-R – 燈源左右移動 Con vac – 光罩與樣品載盤間之真空 motor – 控制樣品載盤上升下降 stop – 停止曝光 start – 開始曝光

6 如樣品為破片，請注意要加放一些破片來做水平校正與曝光，避免光罩之損壞 未用完之光阻，請放置於冰箱，以利下位使用者拿取，避免造成浪費
使用前請先確實線上預約後方可進入使用 請確實查核燈泡開啟時間與電腦之登入 請勿任意更改旋轉塗佈機之參數 請勿任意更改烤盤之溫度 如樣品為破片，請注意要加放一些破片來做水平校正與曝光，避免光罩之損壞 未用完之光阻，請放置於冰箱，以利下位使用者拿取，避免造成浪費 廢液請確實倒入廢液回收桶中 要是有任何問題，請馬上與管理者聯絡 (分機3744、3748)