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精密機械振動診斷與改善 王永鵬 南台科技大學 機械工程系
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大綱 前言 振動來源 振動診斷實務 振動改善實務 實例介紹
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前言 影響精密製程良率之因素： 例：某產品需多套設備共同完成，若每套設備良率為99%， 環境條件： 設備、製程、材料、環境
總良率85%（16套） 總良率72%（32套） 環境條件： 空氣潔淨度、氣流特性、溫度、濕度、振動、噪音、靜電、EMI
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Microvibration Control Area
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Vibration Criteria of Sensitive Equipment
14/11/2004
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前言
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前言
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前言
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前言
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振動來源 廠外振源 建築、土木施工 道路交通 高速鐵路 地震 廠外運轉設備 聲音、風
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振動來源
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振動來源
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振動來源
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振動來源 廠內振源 設備振源 廠內施工 附屬運轉設備（Fan、Pump‥‥） 管路振動 人員走動 自動傳輸機構 聲音（75 dB↑）
空氣脈衝‥‥ 設備振源 運動組件 Fan、Pump 管件
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振動診斷實務 現象研判 選擇振動量測位置及方向 振動量測 振源判斷 格子樑、基座、XYZ方向
1/3 Octave Band → 判斷是否大於允許值 Narrow Band → 判斷振源 振源判斷 共振 → 寬頻激振源（交通、工事、人員、台車、移動件） 固定頻率 → 轉動設備
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振動改善實務 振動之產生與傳遞 改善對象 改善對策：時效性、經濟性、改善程度 Source → Path → Receiver
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振動改善實務 交通振動之改善 人員、台車振動改善 主要廠房距馬路50 m以上 去除障礙物、道路平坦 防振道路之鋪設 交通管制 水池
高架地板吸振 台車避振 人員走動限制
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振動改善實務 Sound Induced Vibration 管路振動 噪音源改善 噪音源隔音罩 設備隔音罩 流線改善 加適當之支撐
管路隔振 管路吸振
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振動改善實務 附屬運轉設備 動平衡 吸振 基座共振 加強剛性 增加阻尼 隔振（主動式、被動式）
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振動診斷與改善實例（一） 現象：某廠SEM影像發生鋸齒現象 量測：格子樑、基座、XYZ三方向、基座共振頻率測試 診斷：設備基座共振
改善：強化基座
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振動診斷與改善實例（一）
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振動診斷與改善實例（一） 現象：某廠SEM影像發生鋸齒現象 量測：格子樑、基座、XYZ三方向、基座共振頻率測試 診斷：設備基座共振
改善：強化基座
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振動診斷與改善實例（一）
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振動診斷與改善實例（一）
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振動診斷與改善實例（一）
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振動診斷與改善實例（一）
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振動診斷與改善實例（一） 現象：某廠SEM影像發生鋸齒現象 量測：格子樑、基座、XYZ三方向、基座共振頻率測試 診斷：設備基座共振
改善：強化基座
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振動診斷與改善實例（二） 現象：某廠生產機台振動過大，不符振動標準，影響生產 量測： 診斷： 改善： 生產設備基座及格子樑、XYZ三方向
1/3 Octave Band與Narrow Band 診斷： 振動值超過標準 附屬運轉設備振動過大 頂樓風車造成 改善： 清除風車扇葉結晶，動平衡校正 改良風車隔振 設備隔振
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振動診斷與改善實例（二）
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振動診斷與改善實例（二）
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振動診斷與改善實例（二） 風車之預估隔振效率
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振動診斷與改善實例（二） 現象：某廠生產機台振動過大，不符振動標準，影響生產 量測： 診斷： 改善： 生產設備基座及格子樑、XYZ三方向
1/3 Octave Band與Narrow Band 診斷： 振動值超過標準 附屬運轉設備振動過大 頂樓風車造成 改善： 清除風車扇葉結晶，動平衡校正 改良風車隔振 設備隔振
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振動診斷與改善實例（二）
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振動診斷與改善實例（二）
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振動診斷與改善實例（二）
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振動診斷與改善實例（二）
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