NDL委託代工流程-PECVD 葉佳翰 2019/8/6.

Presentation on theme: "NDL委託代工流程-PECVD 葉佳翰 2019/8/6."— Presentation transcript:

1 NDL委託代工流程-PECVD 葉佳翰 2019/8/6

2 委託代工流程-CVD (1) 首先進入NDL首頁 http://www.ndl.narl.org.tw/ （建議使用IE開啟）
(2) 點選右上角的「會員入口」 2019/8/6

3 委託代工流程-CVD (3) 輸入會員的帳號&密碼登入 2019/8/6

4 委託代工流程-CVD (4) 從左邊欄選取「製程與設備服務」 「設備委託操作申請」 2019/8/6

5 委託代工流程-CVD (5) 選取「提出申請」 2019/8/6

6 委託代工流程-CVD (6)設備分類:奈米元件廠 設備選擇:CF-T19-電漿輔助化學氣相沉積系統 2019/8/6

7 委託代工流程-CVD (7) 填寫「計畫主持人」、「研究領域主題」、 「聯絡方式」等，完成後確定資料無誤，即可送出申請。 2019/8/6

8 委託代工流程-CVD (8) 從左邊欄選取「製程與設備服務」 「MES系統入口」 2019/8/6

9 委託代工流程-CVD (9)點選「委託單維護」 以下是目前申請單的跑單狀態 (10)找尋剛剛送出的申請單 編號並編輯 2019/8/6

10 委託代工流程-CVD (11)選取「申請單內容」中 選擇片數與Wafer類型 2019/8/6

11 委託代工流程-CVD (12)選取「製程設定」中 區域:化學沉積(CVD) 製程:Oxford-PESiO2 Oxford-PESiN
(13)輸入厚度(以Å為單位)上限為10000Å(如需更厚，需要聯絡工程師) (14)選取刻號，新增製程 2019/8/6

12 委託代工流程-CVD (15)新增 (16)再次確認設定的參數、片數等 2019/8/6

13 委託代工流程-CVD (18)送審 (17)儲存 2019/8/6

14 委託代工流程-CVD 等待NDL的回信，或者致電聯絡相關人員。 T19-Oxford PECVD-電漿輔助化學氣相沉積系統 聯絡人 周科吟 先生 ext.7539 2019/8/6