NDL委託代工流程-Etch 葉佳翰 2019/8/6.

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1 NDL委託代工流程-Etch 葉佳翰 2019/8/6

2 委託代工流程-Etch (1) 首先進入NDL首頁 http://www.ndl.narl.org.tw/ （建議使用IE開啟）
(2) 點選右上角的「會員入口」 2019/8/6

3 委託代工流程-Etch (3) 輸入會員的帳號&密碼登入 2019/8/6

4 委託代工流程-Etch (4) 從左邊欄選取「製程與設備服務」 「設備委託操作申請」 2019/8/6

5 委託代工流程-Etch (5) 選取「提出申請」 2019/8/6

6 委託代工流程-Etch (6)設備分類:奈米元件廠 設備選擇:CF-E08-金屬層乾式蝕刻機(9600) 2019/8/6

7 委託代工流程-Etch (7) 填寫「計畫主持人」、「研究領域主題」、 「聯絡方式」等，完成後確定資料無誤，即可送出申請。 2019/8/6

8 委託代工流程-Etch (8) 從左邊欄選取「製程與設備服務」 「MES系統入口」 2019/8/6

9 委託代工流程-Etch (9)點選「委託單維護」 以下是目前申請單的跑單狀態 (10)找尋剛剛送出的申請單 編號並編輯 2019/8/6

10 委託代工流程-Etch (11)選取「申請單內容」中 選擇片數與Wafer類型 2019/8/6

11 委託代工流程-Etch (12)選取「製程設定」中 區域:後段蝕刻區 製程:Etch-other(9600)
(13)輸入欲蝕刻物、厚度(以Å為單位)上限為30000Å(如需更厚，需要聯絡工程師) (14)選取刻號，新增製程 2019/8/6

12 委託代工流程-Etch (15)新增 (16)再次確認設定的參數、片數等 2019/8/6

13 委託代工流程-Etch (18)送審 (17)儲存 2019/8/6

14 委託代工流程-RIE 等待NDL的回信，或者致電聯絡相關人員。 CF-E08 TCP9600 金屬乾式蝕刻機 聯絡人 薛富國 先生 ext.7557 2019/8/6