新竹科學工業園區 103年度園區廠商節水節能減碳輔導計畫 節水輔導初評會議 OOOOOOOO公司 簡報人：OOO 民國103年6月OO日

節水輔導時間表 1 最後，說明本團隊對於辦理此計畫的承辦信心 1

節水輔導 初評會議：廠商簡報廠內用水現況資料 (15分鐘)；委員提供節水輔導建議方向 (15分鐘) 廠商名稱 廠商聯絡人/電話 說明會 初步評估會 現場技術輔導 結案評估會 總結報告會 輔導人員 漢磊創新廠 黃○亮/ 5/21 (三) 10:00 6/10 (二) 09:30 7/08 (二) 10/15 (三) 11/5 (三) 9:30 中興社、 節水委員 03-5779245#3820 力晶P2廠 彭○相/魏○修 7/10 (四) 03-5795000#6739/5636 台積電F12P1P2廠 陳○助/黃○智 10:30 7/15 (二) 03-5636688#7123348/7321207 聯電8CD廠 郭○榮 11:00 7/22 (二) 03-5789158#8692105 新唐科技 鄭○堂/王○銘 11:30 7/24 (四) 03-5770066#8423/8420 旺宏電子二廠 吳○文 6/11 (三) 7/29 (二) 10/16 (四) 03-5786688#85505 敦南科技 王○華 7/31 (四) 03-5771036#8105 昱晶能源竹南廠 杜○煇 8/05 (二) 037-586198#6634 友達龍科廠 顏○倫/楊○章 8/12 (二) 03-4998800#2890/2892 京元電子銅鑼廠 劉○榮/張○富 8/14 (四) 037-595666#127386/127391 初評會議：廠商簡報廠內用水現況資料 (15分鐘)；委員提供節水輔導建議方向 (15分鐘)

廠商配合提供資料-節水輔導 2 最後，說明本團隊對於辦理此計畫的承辦信心 3

節水輔導廠商提供資料 工廠基本資料 節水推動小組組織架構及分工 工廠名稱及地址： 行業別： 廠地面積： 平方公尺 廠地面積： 平方公尺 員工人數： 人 開工日數： 日 節水推動小組組織架構及分工 經理 副理 工程師 姓名 職稱 分工 ○○○ 經理 督導 副理 聯絡窗口 工程師 執行 4

節水輔導廠商提供資料 用水現況 *請提供月平均數值 項目 101年6月 102年6月 103年6月註1 用水量 (CMD) 自來水 地下水 地面水 臨時購入水源(如旱災) 雨水 其他_______(如OAC) 合計總用水量(CMD) 全廠回收水量(CMD) 全廠排放水量(CMD) 註1：請提供最近一月 (5月) 資訊，6月份資料請於現場技術輔導時提供 5

主要產品每片所含的平均層數 (層數/片)註2 節水輔導廠商提供資料 單位產品用水量 項目 101年6月 102年6月 103年6月註3 單位產品用水量 主要產品名稱 主要產品之月產量 (片/月) 主要產品每片的面積 (m2)註1 主要產品每片所含的平均層數 (層數/片)註2 單位產品用水量 (噸/片) 主要產品產能利用率 (%) 因擴廠、產品開發、試營運或其他等因素，因而於年度內使整廠用水量有變動者，請於右方格內簡略說明原因。 註1：單位產品無法以片計量者 (如非屬面板、晶圓、LED及太陽能產業別之廠家)，填寫時請加註產品單位；另外屬面板業者產品面積以投片面積(Array + Color Filter)為主，故單位產品用水量需涵蓋Array + Color Filter製程 註2：依據製程狀況填寫產品所含的平均層數，若無此估算方式者可無需填寫，並請標註 註3：請提供最近一月 (5月) 資訊，6月份資料請於現場技術輔導時提供 6

建廠日期 年 月 日(以使用執照為主，請檢附使用執照) 節水輔導廠商提供資料 回收率現況註1 冬季全廠排放率調查 項目 園區要求目標 （最近一次審查） 現況 （103年6月）註2 用水計畫書 核備用水量 CMD 製程回收率 ＞ ％ ％ 全廠回收率 全廠排放率 ＜ ％ 建廠日期 年 月 日(以使用執照為主，請檢附使用執照) 項目 102年12月 103年1月 103年2月 全廠排放率 % 註1：請各廠確認是否有各別環評標準 註2：請提供最近一月 (5月) 資訊，6月份資料請於現場技術輔導時提供 7

節水輔導廠商提供資料 用水平衡圖(含製程用水，R7版) - 請額外提供excel檔 8

節水輔導廠商提供資料 用水平衡圖(光電業例外版) - 請額外提供excel檔 9

節水輔導廠商提供資料 純水系統流程及各出水點水質 範例 依據各廠需求增列 請儘量提供水質以利判斷回收潛勢 回收 回收 Raw water tank MMF 2B3T City water RO MB MDG TOC-UV P.O.U Polisher loop P.O.U水質標準 ＊阻值 > 18MΩ-cm ＊TOC < 100ppb ＊DO < 100ppb ＊Particles 0.1 μm <10pcs/ml ＊SiO2 < 50ppb Raw water tank出水點水質 ＊導電度<250us/cm ＊TOC < 2500ppb ＊CI- < 1ppm 導電度<20us/cm TOC <500ppb 導電度<1 us/cm TOC < 150ppb 阻值 > 10MΩ-cm SiO2< 50ppb DO< 100ppb TOC < 100ppb 導電度<100us/cm TOC < 2000ppb 回收 回收 請儘量提供水質以利判斷回收潛勢 10

節水輔導廠商提供資料 製程排水分流以及回收再利用情形 範例 依據各廠需求增列 無機廢水系統 34% 製程用水量TOC<2ppm 有機廢水系統 63% 製程用水量 TOC<120ppm UV + AC 98%系統回收率 Reclaim TOC < 0.35 mg/L TOC < 0.25 mg/L 2%廢水 AO + MBR + RO + UV + AC 0.1 % 污泥 12%廢水 高濃度 87.9%系統回收率 機台未使用Chemical之Rinse水(無機) 機台使用Chemical之Rinse水(有機) D-SLA(T-701A/B) D-Oxalic (T-710) D-Surfacant(T-705) D-Surfacant(T-706) D-LCG26(T-741) D-DEV1(T-711A/B) D-N300(T-703A/B/C/D) D-DEV2(T-739) D-RinseDV(T-707A/B) D-Rinse DV(T-708) D-IPA(T-702) D-Detergent(T-704) D-NMP(T-709) DR Inorg W/W (A) (T-731A/B/C/D/E/F)) DR Inorg W/W (B) (T-732A/B/C/D/E)) MBR 範例 11

節水輔導廠商提供資料 廢水系統處理流程 範例 依據各廠需求增列 儲存池一 低氟酸洗廢水 酸鹼性廢水 研磨廢水 高氟酸洗廢水 純水系統濃排水 反沖洗廢水 中和池 快混池 慢混池 放流 污泥暫存池 污泥調理池 污泥脫水 氟化鈣污泥 (委外清運) 儲存池二 混凝沉澱 廢水流向 添加藥劑 污泥流向 CaCl2 Ca(OH)2 NaOH PAC Polymer 範例 12

節水輔導廠商提供資料 冷卻水系統 冷卻水塔規格 1. 冷卻水塔總冷卻噸數 RT (1) RT× 台，冷卻水塔型式： (4) RT× 台，冷卻水塔型式： (2) RT× 台，冷卻水塔型式： (5) RT× 台，冷卻水塔型式： (3) RT× 台，冷卻水塔型式： (6) RT× 台，冷卻水塔型式： 2. 103年6月實際操作冷卻能力： RT 3. 103年6月實際補充水量： 噸/天 4. 103年6月實際蒸發水量： 噸/天 5. 目前冷卻水塔已採行之相關節水措施為何? □提高濃縮倍數 □排放水導電度控制 □回收再利用 □其他 季節別 補充水 水源別 補充水量 (M) (CMD) (P)百分比(％) 補充水導電度 (E1)(µS/cm) 蒸發損失水量 (V)( CMD) 排放水量 (B)( CMD) 排放水 導電度 (E2) (µS/cm) 濃縮倍數 (CR) 102年09月 102年12月 103年03月 備註 自來水或回收水或替代水源 補水量含自來水、回收水取水量 百分比為指佔全廠用水量% --- CR=E2/E1 說明：1.冷卻水塔補水量佔全廠用水量百分比計算式：P=冷卻水塔補水量/(全廠自來水取水量+全廠回收水量)×100％ 2.冷卻水塔補水量包括冷卻水塔自來水及回收水之取水量 3.冷卻水塔補水量(M)=蒸發水量(V)+排放水量(B) 4.濃縮倍數CR=E2/E1 備註：請提供最近一月 (5月) 資訊，6月份資料請於現場技術輔導時提供 13

節水輔導廠商提供資料 廢氣洗滌塔 1.酸排scrubber： (1)設計處理容量： CMM (2)實際操作容量： CMM (3)蒸發量推估說明： 統計月份 補充水 水源別 補充水量(M) (CMD) 排水量(B) 蒸發量(V) 排放水 pH值 排放水導 電度(µS/cm) 103年06月 備註 自來水或回收水或替代水源 說明1：排放水量(B)=廢氣洗滌塔補水量(M)-蒸發水量(V) 說明2：L/S蒸發水量(V)多為學理推估值，若廠商無法推估，則建議參考園區R7版用水平衡圖 (1000CMM約為5m3)，若有其他推估計算方式， 請於(3)說明 備註：請提供最近一月 (5月) 資訊，6月份資料請於現場技術輔導時提供 14

節水輔導廠商提供資料 廢氣洗滌塔 2.鹼排scrubber： (1)設計處理容量： CMM (2)實際操作容量： CMM (3)蒸發量推估說明： 統計月份 補充水 水源別 補充水量(M) (CMD) 排水量(B) 蒸發量(V) 排放水 pH值 排放水導 電度(µS/cm) 103年06月 備註 自來水或回收水或替代水源 說明1：排放水量(B)=廢氣洗滌塔補水量(M)-蒸發水量(V) 說明2：L/S蒸發水量(V)多為學理推估值，若廠商無法推估，則建議參考園區R7版用水平衡圖 (1000CMM約為5m3)，若有其他推估計算方式， 請於(3)說明 備註：請提供最近一月 (5月) 資訊，6月份資料請於現場技術輔導時提供 15

節水輔導廠商提供資料 廢氣洗滌塔 3.其他scrubber： (1)設計處理容量： CMM (2)實際操作容量： CMM (3)蒸發量推估說明： 統計月份 補充水 水源別 補充水量(M) (CMD) 排水量(B) 蒸發量(V) 排放水 pH值 排放水導 電度(µS/cm) 103年06月 備註 自來水或回收水或替代水源 說明1：排放水量(B)=廢氣洗滌塔補水量(M)-蒸發水量(V) 說明2：L/S蒸發水量(V)多為學理推估值，若廠商無法推估，則建議參考園區R7版用水平衡圖 (1000CMM約為5m3)，若有其他推估計算方式， 請於(3)說明 備註：請提供最近一月 (5月) 資訊，6月份資料請於現場技術輔導時提供 16

節水輔導廠商提供資料 現有節水措施 (1)水回收再利用 (2)單元設備用水減量 (3)其它替代水源利用 (4)省水器材換裝 A.純水系統 B.製程排水 C.空調及公用系統 D.管末回收 E.各設備單元回收水質標準 (TOC、COD、EC以及其他關切水質項目) (2)單元設備用水減量 (3)其它替代水源利用 (4)省水器材換裝 製程排水回收處理範例 (另請提供回收水質標準) 製程排水 回收水緩衝桶 活性碳塔 陽離子塔 陰離子塔 RO膜組 後端使用 17

節水輔導廠商提供資料 歷年接受輔導團隊節水建議措施落實之狀況 備註：第一次受輔導廠商免填 年度 節水輔導團隊建議方案 執行狀況 投資金額 (萬元) 節省水量 （CMD） 已執行完成 （ 年/ 月） 執行中 （ 年/ 月~ 年/ 月） 未執行原因 合 計 --- 備註：第一次受輔導廠商免填 18

節水輔導廠商提供資料 歷年執行節水措施或自行研發之特殊節水技術 備註：依各廠實際節約用水情形填列 年度 廠內自行推動 節水方案 已完成/執行中 （ 年/ 月） 執行方案內容說明 投資金額 (萬元) 節省水量 （CMD） 合 計 備註：依各廠實際節約用水情形填列 19

節水輔導廠商提供資料 特殊節水技術與佐證資料 節水技術佐證照片 節水技術佐證詳細說明 20

節水輔導廠商提供資料 未來節水規劃 希望輔導團隊提供哪方面節水技術服務? 降低單位產品用水量 提升用水回收率 增設水回收系統 增設處理設備，提升用水循環次數 排水逐級利用 開發替代水源 (雨水貯留、OAC回收) 換裝省水器材 其它＿＿＿＿ 希望輔導團隊提供哪方面節水技術服務? 21

簡報結束 敬請指教 以上為今天的服務簡報，謝謝