2.6压电式传感器.

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2.6压电式传感器

一种柴油机气缸压力表,主要解决现有技术的测量精度低、可靠性差等弊端。 (传感器采用压电式传感器) 振动测量压电式传感器 一种柴油机气缸压力表,主要解决现有技术的测量精度低、可靠性差等弊端。 (传感器采用压电式传感器)

加速度压电式传感器

压电式传感器 压电式传感器是根据压电效应制作的传感器,可以实现压力、加速度、扭矩等物理量的测量。其优点是灵敏度高,信噪比高、结构简单。压电式传感器广泛应用于工程力学、生物医学、电声学等领域。

压电效应(Piezoelectric Effect) 压电效应及材料 压电效应(Piezoelectric Effect) 一些离子型晶体的电介质不仅在电场力作用下,而且在机械力作用下,都会产生极化现象。且其电位移D(在MKS单位制中即电荷密度σ)与外应力张量T成正比: D = dT d——压电常数矩阵。 当外力消失,电介质又恢复不带电原状;当外力变向,电荷极性随之而变。这种现象称为正压电效应,或简称压电效应。

压电材料 压电晶体(单晶) 压电陶瓷(多晶半导瓷) 新型压电材料

压电晶体 ⑴ 石英晶体(SiO2) 石英晶体俗称水晶,有天然和人工之分。目前传感器中使用的均是以居里点为573℃,晶体的结构为六角晶系的α-石英。其外形如图所示,呈六角棱柱体。有m、R、r、s、x共5组30个晶面组成

其他压电单晶 压电单晶中除天然和人工石英晶体外,锂盐类压电和铁电单晶如铌酸锂(LiNbO3)、钽酸锂(LiTaO3)、锗酸锂LiGeO3)等材料, 也已在传感器技术中日益得到广泛应用,其中以铌酸锂为典型代表,在光电、微声和激光等器件方面都有重要应用。不足之处是质地脆、抗机械和热冲击性差。

压电陶瓷 压电陶瓷是人工多晶铁电体,原始的压电陶瓷呈现各向同性不具有压电性,因此,必须作极化处理,即在一定温度下对其施加强直流电场,迫使电畴趋向外电场方向作规则排列;极化电场去除后,趋向电畴基本保持不变,形成很强的剩余极化,从而呈现出压电性。

压电陶瓷极化 4BaTiO3压电陶瓷的极化

压电陶瓷的特点 压电常数大 灵敏度高 制造工艺成熟 成形工艺性好 成本低廉,利于广泛应用 还具有热释电性

常用的压电陶瓷 (1) 二元系压电陶瓷 (2)三元系压电陶瓷 (3)综合性能更为优越的四元系压电陶瓷也已经研制成

二元系压电陶瓷 主要包括钛酸钡BaTiO3,钛酸铅PbTiO3,锆钛酸铅系列PbTiO3-PbZrO3(PZT)和铌酸盐系列KNbO3-PbNb2O3。其中以钛酸钡,尤其以锆钛酸铅系列压电陶瓷应用最广。

三元系压电陶瓷 目前应用的PMN,它由铌镁酸铅Pb(Mg1/3Nb2/3)O3钛酸铅PbTiO3-锆钛酸铅PbZrO3三成分配比而成。另外还有专门制造耐高温、高压和电击穿性能的铌锰酸铅系、镁碲酸铅等。

新型压电材料 ⑴ 压电半导体 ⑵ 有机高分子压电材料 一 某些合成高分子聚合物,经延展拉伸和电极化后具有压电性高分子压电薄膜,如聚氟乙烯PVF)等。 二 高分子化合物中掺杂压电陶瓷PZT或BaTiO3粉末制成的高分子压电薄膜。

结论: 压电晶体的正压电效应和逆压电效应是对应存在的,哪个方向上有正压电效应,则在此方向上必定存在逆压电效应,而且力-电之间呈线性关系。 石英晶体不是在任何方向上都存在压电效应

②y方向:只有d25和d26的剪切压电效应〔图图(c)(d)〕。 ①x方向:只有 d11的纵向压电效应 〔图(a)〕、d12的 横向压电效应〔图 (b)〕和d14的剪切压 电效应〔图(c)〕。 ②y方向:只有d25和d26的剪切压电效应〔图图(c)(d)〕。 ③z方向:无任何压电效应。

压电式传感器理想等效电路 压电器件的理想等效电路 (a)电压源;(b)电荷源

压电传感器等效电路和测量电路 (a)电压源;(b)电荷源 实际等效电路 压电传感器等效电路和测量电路 (a)电压源;(b)电荷源

灵敏度和分辨率高,线性范围大,结构简单、牢固,可靠性好,寿命长; 压电式传感器应用特点: 灵敏度和分辨率高,线性范围大,结构简单、牢固,可靠性好,寿命长; 体积小重量轻,刚度强度、承载能力和测量范围大,频带宽,动态误差小 易于大量生产,便于选用,使用和校准方便,并适用于近测、遥测。

压电式加速度传感器 压缩型 剪切型 复合型

压电式力传感器 压电式测力传感器是利用压电元件直接实现力-电转换的传感器,在拉、压场合,通常较多采用双片或多片石英晶片作压电元件。它刚度大,测量范围宽,线性及稳定性高,动态特性好。按测力状态分,有单向、双向和三向传感器,它们在结构 上基本一样。

必须通过弹性膜、盒等,把压力收集、转换成力,再传递给压电元件。为保证静态特性及其稳定性,通常多采用石英晶体作压电元件 压电式压力传感器 必须通过弹性膜、盒等,把压力收集、转换成力,再传递给压电元件。为保证静态特性及其稳定性,通常多采用石英晶体作压电元件

压电效应在材料加工中的应用 超声波探伤: 常用的无损检测的方式 其它无损检测方式: 1.射线探伤 2.渗透探伤 3.涡流探伤 4.磁力探伤

影响压电式传感器主要因数 横向灵敏度 环境温度和湿度 安装差异及基座应变 噪声等