機台監控系統 w w w . P r o M O S . c o m .tw.

Slides:



Advertisements
Similar presentations
复习提问 1. 从物理角度来说说什么是噪声? 从物理角度来说噪声是指发声体做无规则 的振动时发出的声音。 2. 从环境保护角度来说说什么是噪声? 从环境保护的角度看:凡是妨碍人正常休 息,学习和工作的声音,以及对人们要听 的声音 起干扰作用的声音,都属噪声。
Advertisements

我国国有银行 资本构成及资本充足率变化 小组成员:金融 尹佳裕 王淼 刘钰 金融 吴昱.
公务员的心理健康与 人格素质修 炼 牟平区委党校 马永峰.  安静  同情、专注  放松和冥想  大声笑  良好的人际关系  表达感情  满意的工作  太极和瑜伽  音乐  长期的压力  愤怒  悲伤  悲观  寂寞  抑制感情  不满意的工作  缺乏睡眠  噪音.
C A D C D.
電機電子群 培養學生具備電機與電子群共同核心能力,使具備電機與電子領域有關操作、維修、測試、應用等實用專 業技能。並為相關專業領域之學習或高一層級專業知能之進修奠定基礎。
《设备电气控制与维修》 电气教研室 房金菁.
PC DIY達人培訓班 主辦單位:東海高中資訊科 報告人:李宏傑.
第五章 话语的语用意义(上) 主讲人:周明强.
崑山科技大學 電子工程系 99學年度 學生實務專題成果展
GREEN CONSET 说明书 许可登陆 호 , 许可申请 호, 安全认证 ja 提 供: (株) 중원파워콘트롤스
從半導體產業之發展看 非工程科系 學生的機會
屏東監理站電腦筆試e化系統 考生操作使用說明及注意事項.
桃園縣埔心國民小學專題報告 海豹 海豹 報告人 : 吳宜旻 指導老師 : 鄭省村.
劳动关系法务-实操篇 规章制度修审与员工手册撰写.
华夏心理十年心理学行业沉淀 ——致即将毕业大学生的一封信
第一部分 中考基础复习 第一章 声现象.
西南交通大学 综合节能改造方案汇报 西南交通大学节能办公室主任 邓双渊 2015年1月8日 北京.
农业银行网上签约流程 宁夏金溢投资 内部资料 1.
廉政會報專題報告 農地重劃工程 施工常見缺失 報告:吳東霖 製作:張昌鈴 日期:103年12月23日.
主办:泰兴市质量强市领导小组办公室 承办:泰 兴 市 市 场 监 督 管 理 局.
內湖高工講綱 Career雜誌總編輯 臧聲遠.
專案製作經驗談.
智慧財產權及 電腦病毒與防護課程 上課日期:98年7月1日 主 講 人:劉孟智 技士.
《 大学英语教学指南 》与英语应用能力培养 汪静波
香港普通話研習社科技創意小學 周順強老師.
第一章 复 习 锦囊妙计 多看书 多看笔记 善于梳理.
直線偏光 陳建名.
Module 10-2:網路銀行應用範例.
金門縣重大空難應變機制-消防局 壹、消防搶救、滅火、緊急救護 一、派遣作為:
物质的组成、性质及变化 物质的组成 构成物质的微粒 微粒间的相互作用 物质的分类 按状态分类 按组成分类 物质的性质 物理性质 化学性质.
基隆市立八斗高中 102 學年度第二學期 402 班『親師座談』
智能自动化技术对饲料生产安全及效率效益的促进和提升
(接触网)精品课程 建设方案 课程负责人:赵斌 新疆铁路中等职业学校.
翰林自然 六年級上學期 第二單元 聲音與樂器.
《机械制造与自动化》(专升本) 《机电设备与管理》(专升本)专业介绍
《生活与哲学》第一轮复习 第七课唯物辩证法的联系观.
100學年度土木工程系專題研究成果展 題目: 指導老師:3223 專題學生:2132、2313 前言: 成果: 圖1 圖2 方法與流程:
探 索 数 控 机 床 奥 秘 主讲:颜国霖.
半導體廠 廠務系統自動化 劉聖元.
AC500 调试总结 485转以太网通讯配置 lizhenfei.
工業無線局域網、廣域網完全解決方案 高度成熟標準 – WLAN & GSM 快速成長標準 – GPRS/3G
LASER SOLDERING SYSTEM
自動化課程 劉聖元.
泓格科技 電力管理方案與應用 泓格科技 電力管理方案與應用 2017/08/10.
振聲高中 校園網路現況及成果報告 報告人 振聲高中資訊中心 宋文松 2001/9/18.
作者:葉福玲 班級:六年四班 指導老師:黎家雲
南瑞学堂 学员简明操作指南 上海时代光华教育发展有限公司 2013年.
圖形溝通大師 Microsoft Visio 2003
環境監測、門禁安全 暨簡訊傳輸 台大生機系陳育瑋.
第六次全国人口普查 近期数据处理工作部署 夏雨春 2010年12月28日.
1、可编程控制器综合控制系统的构成 被控对象 传感器 PLC 执行机构 上位机监控 基于上位监控机的PLC控制系统.
藝術社會學 擬像 黃湘怡 程馨柔 許家慈 林長琦 陳思怡
现代教育技术应用 第一章 现代教育技术基础 第6讲 何克抗教授关于多媒体课件的理论研究 单 位: 北京师范大学 作 者: 毛荷&王翠霞.
使用服务平台办理离校 操作指南.
機台監控實務-RS232 實作目的 RS-232C是工業界相當常用的串列通訊介面,且 近年逐漸走向圖形監控,市面上圖控軟體更是如雨
薪資管理系統 學號: 姓名:侯明谷.
学年第一学期领取教材明细查询的通知 学年第一学期学生使用的教材均在网上平台公示。现将有关事项通知如下:
105學年度第二次 總務會議 106年03月28日(二) 下午14:00 第二教學研討室.
一、监控组态软件简介 第二节 监控组态软件简介 1.概念
電機電子 成員:吳昇洋 張哲瑜 高振捷 楊博文 李世麒.
第一章 操作系统引论 1.1 操作系统的目标和作用 1.2 操作系统的发展过程 1.3 操作系统的基本特性 1.4 操作系统的主要功能
創造不一樣的人生 -如何與身心障礙者接觸 新竹教育大學 薛明里.
日期:2009年10月22日 報告單位: 京年升電腦科技有限公司 報 告 人:副總經理 楊世豐 Power
案例分析: THE NEXTGEN POS SYSTEM
多姿多彩的世界.
全方位起動通識 戴偉森 沙田循道衛理中學 4/7/2009.
機電科簡介 科主任 郭紀翔.
時間: 地點: 班級:四光二甲、四光二乙 輔導老師:蔡健忠老師、施文慈老師
「高級中等學校學生學習歷程資料庫」與學校自行建置 「校內學生學習歷程檔案紀錄模組」 資料串接全國說明會
96 教育部專案補助計畫案明細 單位 系所 教育部補助款 學校配合款 工作໨目 計畫主 持人 備註 設備費 業務費 579,000
Presentation transcript:

機台監控系統 w w w . P r o M O S . c o m .tw

先進製程監控 vs. 傳統 產品製造品質管理比較 先進機台監控系統的優勢 先進製程監控 vs. 傳統 產品製造品質管理比較 先進製程監控 線上產品良測 抽樣數 每批/每片晶圓 所有參數都檢查 抽批抽片檢查 產品週期限制 產品週期時間 無影響 需要額外檢查站點 即時性 高 低 (可能已經過了許多站點) 產品重工成本 低 高(可能已經過了許多站點) ProMOS Confidential ITM

全廠導入監控系統的優點 能最快發現生產線製程異常的自動化系統 降低生產成本 穩定產品製造週期 提高客戶滿意度 提升製程能力Cpk 改善產品品質 提高企業跨部門工程溝通的效率 節省人力 完善的知識管理平臺 累積工程經驗 ProMOS Confidential ITM

半導體 6 “& 8 " 機台監控系統架構圖 機台 錯誤診斷 / 資料庫 / 網頁 / 應用軟體 (Linux / MS) RS232 EAP EAP EAP EAP EAP PC PC PC PC PC 區域網路 錯誤診斷 / 資料庫 / 網頁 / 應用軟體 M1 TOOL 3 TOOL 2 TOOL 1 (Linux / MS) ProMOS Confidential ITM

半導體 12 " 機台監控系統架構圖 機台 錯誤診斷 / 資料庫 / 網頁 / 應用程式 (Linux / MS) 區域網路 ProMOS Confidential ITM

LCD 機台監控系統架構圖 錯誤診斷 / 資料庫 / 網頁 / 應用程式 (Linux / MS) 區域網路 LCD 機台 感測器 感測器 PLC PLC PLC PLC PLC SESC / GEM 資料收集器 資料收集器 資料收集器 資料收集器 資料收集器 錯誤診斷 / 資料庫 / 網頁 / 應用程式 區域網路 (Linux / MS) ProMOS Confidential ITM

Pump / External Sensor APC System 幫浦系統監控架構圖 其他附屬設備 機台幫浦及 外接感測器 RS-232 N-Port 資料傳輸界面 區域網路 資料收集器 錯誤診斷 / 資料庫 / 網頁 / 應用軟體 Module Tool 1 Tool 2 Tool 3 Pump / External Sensor APC System ProMOS Confidential ITM

MOCVD 機台監控系統架構圖 Decode / Insert data In-line DB AP server Web server In-line Fault Detection Real Time Tool Control In-line DB AP server APC Web Function Web server LOG FILE Off-line DB Historical Data Check Reporting AP server ProMOS Confidential ITM

自動批次控制系統 (R2R) Special Designed for LED Fabs Recipe -Tuning Guide MOCVD PL/ EL Recipe -Tuning Guide automated machine learning Process Tool Data ( Epi.Temp. ) influence on metrology Metrology Target User-Defined Formula ProMOS Confidential ITM