集成电路分类 1、按门的数量: 小规模集成电路(SSI) 中规模集成电路(MSI) 大规模集成电路(LSI) 超大规模集成电路(VLSI)

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集成电路分类 1、按门的数量: 小规模集成电路(SSI) 中规模集成电路(MSI) 大规模集成电路(LSI) 超大规模集成电路(VLSI) 巨大规模集成电路(GSI)

集成电路分类 2、按器件结构分类: 3、按基片材料 4、按电路功能 5、按应用领域 双极集成电路、MOS集成电路、BiMOS集成电路 单片集成电路、混合集成电路 4、按电路功能 数字集成电路、模拟集成电路、数模混合集成电路 5、按应用领域 标准通用集成电路、专用集成电路(系统集成电路属于专用集成电路)

集成电路设计步骤 行为设计-〉结构设计-〉系统划分-〉电路图/逻辑图-〉版图设计验证-〉后仿真 1、传统的自底向上(Bottom-Up)设计方法 设计流程:  底层工艺-〉单元设计-〉功能块-〉子系统设计-〉整个系统设计 2、自顶向下(Top-Down)设计方法 (主流设计方法) 行为设计-〉结构设计-〉系统划分-〉电路图/逻辑图-〉版图设计验证-〉后仿真

自顶向下设计步骤

设计方法 1、全制定设计方法(Full-Custom Design Approach) 特点:完全是由用户设计师根据所选定的生产工艺按自己 的要求独立地进行集成电路产品设计。 优点:得到最高速度、最低功耗和最省面积的芯片设计 缺点:花费大量的人力、物力和时间 模拟集成电路常常采用的方法 2、半定制设计方法(Semi-Custom Design Approach) ----基于制造商预先准备好母片上的设计

半定制设计方法 1)门阵列设计法 特点: 形状和尺寸相同的单元排成阵列 固定高度的布线通道 优点:设计周期大大缩短 设计成本大大下降 缺点:灵活性低、门利用率不高、易造 成芯片面积的浪费

半定制设计方法 2)门海设计方法 特点: 基本的单元(不共栅的P管和N管)铺满整个芯片(除I/O区外 ); 基本单元之间无氧化隔离区; 布线通道不固定(可将基本单元链改成无用器件区走线) 优点: (相对门阵列法)门利用率较高、集成密 度大、布线灵活、布通率高 缺点:   面积浪费(原因:通道数); 门利用率不高(原因:晶体管)

集成电路设计方法 3)标准单元设计法 特点: 优点:(比较门阵列法) 基本单元调用法 各个单元具有同一高度(版图尺寸),但是宽度不等。  基本单元调用法 各个单元具有同一高度(版图尺寸),但是宽度不等。 设计好的单元--->物理单元库;单元的逻辑符号和电学符号---〉逻辑库 布线通道可调整 优点:(比较门阵列法) ----芯片的利用率高。(芯片中没有无用的单元和晶体管) ----保证100%的连续布通率。 ----可获得较佳的电路性能。(单元能根据设计要求临时改动并加入设计库) ----可与全定制设计法结合,在芯片内放入宏单元和功能块

集成电路设计方法 4)积木块设计方法(BBL-Building Block Layout) (通用单元设计法) 特点(比较标准单元法): 不足:原始投资大。(单元库的建立和修改) 成本较高。(掩模版全部定制,芯片的加工) 4)积木块设计方法(BBL-Building Block Layout)  (通用单元设计法) 特点(比较标准单元法): ----不要求单元等高和等宽,每个单元可根据最合理的情况单独进行版图设计。 ----布线通道不统一,根据需要加以分配。 ----积木块单元通常是较大规模的功能模块。 优点:灵活性大 缺点:自动布线比较困难

集成电路设计方法 5)可编程逻辑器件设计方法(PLD) PLD的分类:简单PLD和复杂PLD 简单PLD分类:可编程只读存储器(PROM) 可编程逻辑阵列 (PLA) 可编程阵列逻辑(PAL) 通用可编程阵列逻辑(GAL) 大容量PLD分类:复杂可编程逻辑器件(CPLD) 现场可编程门阵列(FPGA)

工具软件 Synopsys EDA软件 Mentor Graphics EDA软件 Zeni EDA软件 Cadence EDA软件

Cadence的主要工具和作用 Composer : Electric circuit diagram design tool Language :Skill Verilog-xl : Simulation tool Preview , Silicon Ensemble :Layout , placement routing tool Composer : Electric circuit diagram design tool Analog Artist : Analogy circuit simulation tool Virtuoso Layout Editor : Layout design tool Dracula,Diva : Layout verification tool

Cadence的主要工具和作用

金属导体在集成电路工艺中的作用 Al 、Au、Cu 1、构成低值电阻; 2、构成电容元件的极板; 3、构成电感元件的绕线; 4、构成传输线的导体结构; 5、与轻掺杂半导体构成肖特基接触; 6、与重掺杂半导体构成电极的欧姆接触; 7、构成元器件之间的互连; 8、构成与外界焊接用的焊盘;

半导体在集成电路工艺中的作用 SiO2、SiON、Si3N4 2、构成MOS器件的栅绝缘层; 3、构成元件和互连线之间的横向隔离; 1、构成电容的介质; 2、构成MOS器件的栅绝缘层; 3、构成元件和互连线之间的横向隔离; 4、构成工艺层面之间的垂直向隔离; 5、构成防止表面机械损伤和化学污染的钝   化层

半导体基础知识 1、本征半导体 它是一种完全纯净的、结构完整的半导体晶体。电子和空穴的数量相同。 2、杂质半导体 1)N型半导体 在本征半导体中掺入五价元素如磷、砷 空穴为少数载流子,电子为多数载流子。 2)P型半导体 在本征半导体中掺入三价元素如硼、铝 空穴为多数载流子,电子为少数载流子。

金属半导体接触 1、肖特基接触: 2、欧姆接触: 若载子穿越接面时有能量障壁(energy barrier),不符合欧姆定律;轻掺杂实现

金属半导体场效应晶体管 1、两种类型的MESFET:增强型和耗尽型 增强型:沟道在零偏压情况下断开 耗尽型:沟道在零偏压情况下开启

MOS晶体管 1、基本结构和电路符号

MOS晶体管 2、工作原理 MOS晶体管其核心结构是由导体、绝缘体与构成管子衬底的掺杂半导体,这三层材料叠在一起组成的。这一结构的基本作用是:在半导体的表面感应出与原掺杂类型相反的载流子,形成一条导电沟道。 以NMOS管为例:它的半导体部分的结构包含两个N型硅的扩散区隔开的P型硅区域。作为完整器件,N型硅的扩散区分别通过与金属半导体的欧姆接触,形成源极和漏极。 PMOS与NMOS有类似的工作原理。 在MOS结构中,栅极作为控制极,它控制着漏极与源极间的沟道电流,应具有导体的性质。

MOSFET的伏安特性:电容结构 Q=CVge 当栅极不加电压或加负电压时,栅极下面的区域保持P型导电类型,漏和源之间等效于一对背靠背的二极管,当漏源电极之间加上电压时,除了PN结的漏电流之外,不会有更多电流形成。 当栅极上的正电压不断升高时,P型区内的空穴被不断地排斥到衬底方向。当栅极上的电压超过阈值电压VT,在栅极下的P型区域内就形成电子分布,建立起反型层,即N型层,把同为N型的源、漏扩散区连成一体,形成从漏极到源极的导电沟道。这时,栅极电压所感应的电荷Q为, Q=CVge 式中Vge是栅极有效控制电压

MOS电容特性 tox是厚度,单位是cm。 1、当Vgs<0时,栅极上的负电荷吸引了P型衬底中的多数载流子—空穴,使它们聚集在Si表面上。这些正电荷在数量上与栅极上的负电荷相等,于是在Si表面和栅极之间,形成了以SiO2为介质的平板电容器,其容量为, tox是厚度,单位是cm。

MOS电容—SiO2和耗尽层介质电容 2、当Vgs>0时,栅极上的正电荷排斥了Si中的空穴,在栅极下面的Si表面上,形成了一个耗尽区。 耗尽区中没有可以自由活动的载流子,只有空穴被赶走后剩下的固定的负电荷。这些束缚电荷是分布在厚度为Xp的整个耗尽区内,而栅极上的正电荷则集中在栅极表面。这说明了MOS电容器可以看成两个电容器的串联。 以SiO2为介质的电容器——Cox 以耗尽层为介质的电容器——CSi 总电容C为: 比原来的Cox要小些。

MOS电容—耗尽层电容特性 3、随着Vgs的增大,排斥掉更多的空穴,耗尽层厚度Xp增大,耗尽层上的电压降就增大,因而耗尽层电容CSi就减小。耗尽层上的电压降的增大,实际上就意味着Si表面电位势垒的下降,意味着Si表面能级的下降。 一旦Si表面能级下降到P型衬底的费米能级,Si表面的半导体呈中性。这时,在Si表面,电子浓度与空穴浓度相等,成为本征半导体。

MOS电容—耗尽层电容特性(续) 4、若Vgs再增大,排斥掉更多的空穴,吸引了更多的电子,使得Si表面电位下降,能级下降,达到低于P型衬底的费米能级。这时,Si表面的电子浓度超过了空穴的浓度,半导体呈N型,这就是反型层。不过,它只是一种弱反型层。因为这时电子的浓度还低于原来空穴的浓度。 随着反型层的形成,来自栅极正电荷发出的电力线,已部分地落在这些电子上,耗尽层厚度的增加就减慢了,相应的MOS电容CSi的减小也减慢了。

MOS电容——最小值 5、 当Vgs增加,达到VT值,Si表面电位的下降,能级下降已达到P型衬底的费米能级与本征半导体能级差的二倍。它不仅抵消了空穴,成为本征半导体,而且在形成的反型层中,电子浓度已达到原先的空穴浓度这样的反型层就是强反型层。显然,耗尽层厚度不再增加,CSi也不再减小。这样, 就达到最小值Cmin。 最小的CSi是由最大的耗尽层厚度Xpmax计算出来的

MOS电容—凹谷特性 6、 当Vgs继续增大,反型层中电子的浓度增加,来自栅极正电荷的电力线,部分落在这些电子上,落在耗尽层束缚电子上的电力线数目就有所减少。情况很复杂,但是,耗尽层电容将增大,两个电容串联后,C将增加。当Vgs足够大时,反型层中的电子浓度已大到能起到屏蔽作用,全部的电力线落在电子上。这时,反型层中的电子将成为一种镜面反射,感应全部负电荷,于是,C = Cox 。电容曲线出现了凹谷形。

外延的种类 1、气相外延生长(VPE: Vapor Phase Epitaxy) 2、金属有机物气相外延生长 (MOVPE: Metalorganic Vapor Phase Epitaxy) 3、分子束外延生长 (MBE: Molecular Beam Epitaxy)

掩膜 掩膜是用石英玻璃做成的均匀平坦的薄片,表面上涂一层600800Å厚的Cr层,使其表面光洁度更高。称之为铬板,Cr mask。

光刻步骤 一、晶圆涂光刻胶: 清洗晶圆,在200C温度下烘干1小时。目的是防止水汽引起光刻胶薄膜出现缺陷。 待晶圆冷却下来,立即涂光刻胶。 光刻胶有两种:正性(positive)与负性(negative)。正性胶显影后去除的是经曝光的区域的光刻胶,负性胶显影后去除的是未经曝光的区域的光刻胶。 正性胶适合作窗口结构, 如接触孔, 焊盘等,而负性胶适用于做长条形状如多晶硅和金属布线等。 常用OMR83,负片型。 光刻胶对大部分可见光灵敏,对黄光不灵敏,可在黄光下操作。 再烘晶圆再烘,将溶剂蒸发掉,准备曝光

光刻步骤 二、曝光: 光源可以是可见光,紫外线, X射 线和电子束。 光量,时间取决于光刻胶的型号,厚度和成像深度。 三、显影: 晶圆用真空吸盘吸牢,高速旋转,将显影液喷射到晶圆上。显影后,用清洁液喷洗。 四、烘干: 将显影液和清洁液全部

掺杂 1、掺杂的两种方法: 热扩散掺杂:扩散过程中,温度与时间是两个关键参数。 离子注入法

离子注入法的优缺点 优点: 缺点: 掺杂的过程可通过调整杂质剂量及能量来精确的控制,杂质分布的均匀。 可进行小剂量的掺杂。 可进行极小深度的掺杂。 较低的工艺温度,故光刻胶可用作掩膜。 可供掺杂的离子种类较多,离子注入法也可用于制作隔离岛。在这种工艺中,器件表面的导电层被注入的离子(如O+)破坏,形成了绝缘区。 缺点: 费用高昂 在大剂量注入时半导体晶格会被严重破坏并很难恢复

绝缘层形成 1、硅局部氧化隔离LOCOS (Local Oxidation on Silicon) 利用光刻刻蚀技术在硅表面的氮化硅上开出氧化窗口,利用氮化硅的掩膜作用在1000度下对没有氮化硅覆盖的场区进行氧化。 优点:与背对背的PN结隔离相比,LOCOS法隔离的器件里的寄生电容要小很多。 缺点:1、氧化层表面高出硅表面,形成一定程度的不平坦,给后续工艺带来不利影响。2、横向的氧化生长将向器件的有源区延伸,形成所谓的“鸟嘴”现象。 场氧、栅氧

绝缘层形成 2、浅沟隔离STI (Shallow Trench Isolation) STI是一种平坦的、无“鸟嘴”现象的隔离技术。 优点: 1、低温工艺(增加产量,降低成本)。 2、保证了器件的有源区面积 。 3、改善了最小隔离间隔和结电容。

金属层形成 IC 技术中金属层有三个功能: 形成器件本身的接触线; 形成器件间的互联线; 形成焊盘。 根据不同的功能的需要,在先进的IC技术里采用多层布线系统。其目的是提高芯片的速度和密度,尽可能减少寄生参数的影响,从而提高可靠性。

金属层的制作方法 蒸发法 通过控制基质材料的温度和蒸发室的压力,使欲淀积的材料汽化,当发生再凝结时,就形成了蒸发膜。 如导电膜—铝膜 蒸发法 通过控制基质材料的温度和蒸发室的压力,使欲淀积的材料汽化,当发生再凝结时,就形成了蒸发膜。 如导电膜—铝膜 溅射法 用高能离子轰击溅射材料,撞击出分子团,这些分子团被吸附在衬底的表面形成薄膜。 电镀法 用来加厚金属,形成1um以上厚度的金属层。

两层与多层金属布线 VLSI至少采用两层金属布线。 Mental1主要用于器件各个极的接触点及器件 间的部分连线,这层金属通常较薄, 较窄,间距较小。 Mental2主要用于器件间及器件与焊盘间的互 联,并形成传输线。 寄生电容大部分由两层金属及其间的隔离层形成。

NPN三极管剖面图

早期双极性Si晶体管工艺流程 1、衬底选择 2、第一次光刻——N+隐埋层扩散孔光刻 埋层作用 3、外延层淀积——N- 4、第二次光刻——P+隔离扩散孔光刻 隔离岛的形成 5、第三次光刻——P型基区扩散孔光刻 6、第四次光刻——N+发射区扩散孔光刻,包括集电极光刻 7、第五次光刻——引线接触孔光刻 8、第六次光刻——金属化内连线光刻

GaAs基MESFET的基本结构 中文图在书P52

说明 N型GaAs薄层-有源层:可采用液相外延(LPE)、汽相外延(VPE)、分子束外延(MBE)三种方法沉积形成。 有源层两侧的金属-金锗合金,通过沉积而成,与有源层形成欧姆接触。即源漏结构。 沟道中间区域上的金属层通常是金或合金,与有源层形成肖特基接触。

简单HEMT的层结构 中文图见书P53

说明 在半绝缘GaAs衬底上,一层薄的没有掺杂的GaAs层被一层薄掺杂的AlGaAs层覆盖。 金属分别形成肖特基接触,构成源漏。形成欧姆接触,构成栅极。 由于GaAs<AlGaAs(禁带宽度),AlGaAs层的电子会进入没有掺杂的GaAs里,并留在界面处,形成二维的电子气。 比较MESFET,HEMT有更强的电子移动能力。 近十年来,HEMT发展很快,由于栅长正比于传输频率,现在在致力于减小栅长。

CMOS的基本制造工艺 具体流程图见书56页 1、衬底准备、衬底氧化,生长Si3N4。 2、光刻P阱,形成阱版,在P阱区腐蚀Si3N4, 3、去光刻胶,P阱扩散并生长SiO2 4、腐蚀Si3N4,N阱注入并扩散 5、有源区衬底氧化,生长Si3N4,有源区光刻 和腐蚀,形成有源区版。 6、N管场注入光刻,N管注入

CMOS的基本制造工艺 7、场区氧化,有源区Si3N4和SiO2腐蚀,栅氧化,沟道掺杂。 8、多晶硅淀积、掺杂、光刻和腐蚀,形成多晶硅版 9、NMOS管光刻和注入硼,形成N+版 10、PMOS管光刻和注入磷,形成P+版 11、硅表面生长SiO2薄膜 12、接触孔光刻、腐蚀 13、淀积铝,反刻铝,形成铝连线。

一层多晶硅,一层金属, n型衬底CMOS的掩膜和典型工艺流程

典型1P2M n阱CMOS工艺主要步骤

自对准技术 自对准是一种圆晶片上用单个掩膜形成不同区域的多层结构的技术,它消除了用多片掩膜引起的对准误差。 应用最为广泛的例子是在多晶硅栅MOS工艺中,利用多晶硅栅极对栅氧化层的掩蔽作用,实现自对准的源极和漏极的离子注入。 一箭三雕:多晶硅条挡住离子栅极下结构注入;使离子对半导体的注入正好发生在它的两侧,实现自对准;使半绝缘的多晶硅变成低电阻率的导体

E-/D-NMOS和E-PMOS的电路符号

(Composer-Schematic) Cadence模拟电路参考流程 Circuit Design Specification 设计输入 (Composer-Schematic) 仿真 Spectre LVS Yes 版图输入Virtuoso Yes 后仿真 GDSII DRC

版图几何设计规则 种类: 以λ(lamda)为单位的设计规则—相对单位 (b) 以μm(micron)为单位的设计规则—绝   对单位

tf文件(Technology File)和 display.drf文件

版图设计和验证流程 1、版图的设计环境 2、芯片的版图布局(Floorplan) 3、元件布局与布线(Place&Route) 4、设计规则检查(DRC) 5、版图参数提取(LPE) 6、电气规则检查(ERC) 7、版图与电路图对照(LVS) 8、版图数据的提交

Flowchart of Digital Layout Process

闩锁效应 在正常工作状态下,PNPN四层结构之间的电压不会超过Vtg,处于截止状态,但是在一定的外界因素触发下,使PNPN四层结构之间的电压瞬间超过Vtg时,就会出现很大的导通电流,只要外部信号源或者Vdd和Vss能够提供大于维持电流IH的输出,即使外界干扰信号已经消失,在PNPN四层结构之间的导通电流仍然会维持。 一旦CMOS电路处于Latch-up,电源和地之间就处于近似短路的状态,只有将电源关断,然后接通,电路才可能恢复正常工作。如果这种电流不加限制,最终将使整个电路烧毁。

闩锁效应产生的基本条件 外界因素使两个寄生三极管的EB结处于≥0.7V的正向偏置; 两个寄生三极管的电流放大倍数乘积β1β2〉1; 电源所提供的最大电流大于寄生可控硅导通所需要的维持电流IH

闩锁效应的有关图

UNIX的主要命令 UNIX基本命令 1、目录的显示、改变 2、目录的建立和删除 3、文件的复制、移动及删除 4、文件显示 5、文件的查找操作 6、联机手册的使用 7、管道和定向

UNIX的主要命令 1、目录的显示、改变 (1)cd命令(change directory) 其功能是进行目录间的切换 语法格式:cd [directory] 例如: %cd .. “..”表示上一层目录 %cd guest guest表示相对路径(当前目录的子目录) %cd /etc /etc表示绝对路径 %cd 无参数,直接返回home指定目录

UNIX的主要命令 (2)pwd命令(print working directory) 其功能是打印工作目录 语法格式:pwd %pwd 回车后屏幕显示 /student/users 表示用户现在是在/student/users目录下工作

UNIX的主要命令 (3)ls命令(list contents of directory) 其功能是列出目录内容 语法格式:ls [option][directory|file] ls命令常用选项说明: -a 显示工作目录中所有的文件信息,包括以“.”开头的隐藏文件。 -l 以长列显示每个文件的信息(包括存取模式、链接数、属主、属组、文件大小、上次修改时间、文件名等。 -d 若指定目录,则只列出该目录的相关信息,而不列出该目录的内容。

UNIX的主要命令 2、目录的建立和删除 (1)mkdir命令(make a directory) 其功能是为用户建立一个或者若干个目录。 语法格式:mkdir dirname1 dirname2 例如: %mkdir testdir 在当前目录下创建目录testdir %mkdir /a/b/c/d 创建绝对路径/a/b/c/d,如果在创建d目录时,c目录未创建先创建c目录,依次类推。

UNIX的主要命令 3、文件的复制、移动及删除 (1)cp命令(copy):该命令的功能为复制一个或若干个普通文件到另一个文件、文件表或目录中。 语法格式: cp [option] soufile tarfile cp [option] soufile1 soufile2… target cp –r [option] soufile1 soufile2… target 例如:%cp testfile1 testfile2    将文件testfile1的内容拷贝到文件testfile2%cp testfile1 testfile2 testdir 将文件testfile1 testfile2 拷贝到相对目录 testdir(当前目录中包含了testdir)

UNIX的主要命令 %cp –r /usr/tony /usr/mike -f 强制覆盖现有的文件而不要求确认。 -i 交互式复制。覆盖现有的文件前要求确认。 -p 保持修改时间和尽可能多的文件权限。 -r 拷贝目录、文件和子目录到指定的目录中。

UNIX的主要命令 (2)rm命令(remove) 该命令的功能是删除一个或多个文件或目录。 语法格式:rm [option] filename 例如: %rm testfile1 将文件testfile1删除 %rm *.c 将后缀为.c的所有文件删除 %rm –r testdir 删除指定目录testdir,包括其中的文件和子目录

UNIX的主要命令 rm命令选项说明: -f 删除用户不具有写许可权限的文件, 不问用户是否许可,都强制删除。

UNIX的主要命令 (4)mv命令(move) 该命令的主要功能是移动或更名文件和目录。 语法格式: mv [option] sourcefile targetfile mv [option] sourcefile targetdirectory 例如:%mv testfile1 testfile2   将文件testfile1移到文件testfile2 若文件testfile2本身不存在,相当于把testfile1重命名为testfile2。若testfile2本身存在,则testfile2的内容被替换为testfile1的内容,testfile1不存在

UNIX的主要命令 %mv /usr/tony /usr/mike/temp %mv testfile1 testfile2 /usr/mike 将文件testfile1 testfile2移到目录/usr/mike下 mv命令选项说明: -f 强制删除,即使文件和目录权限不允许,并且禁止全部提示。 -i 取代现有文件或目录前请求确认。

UNIX的主要命令 4、文件显示 (1)cat命令(concatenate) 语法格式:cat [option] [file1…] 主要功能有: ①显示文件的内容,cat命令将按顺序读取每一个文件,并将它们写到标准输出设备上; ②建立小型文本文件; ③连接数据文件。

UNIX的主要命令 例如: %cat testfile1 在屏幕上显示文件testfile1 %cat testfile1 testfile2 > testfile3 将文件testfile1、testfile2连接起来,放到文件testfile3中去 %cat testfile1 testfile2 >> testfile3 将文件testfile1、testfile2连接起来,附加到文件testfile3的尾部

UNIX的主要命令 (3)more命令 语法格式:more [option] [file…] more命令选项说明: 该命令的功能是:一次一屏的显示文本文件的内容。 语法格式:more [option] [file…] more命令选项说明: -c 清屏再显示文件的内容 -d 在每屏底部显示提示“filename (xx%) [Hit space to continue,Del to abort]”。 -e 在写最后文件的最后一行时立即退出 -r 回车符被显示为“^M”。 -s 将输出的多个空行压缩为一个空白行。

UNIX的主要命令 5、文件的查找操作 (2) head命令 例如: %head testfile1 在屏幕上显示文件testfile1的前10行 %head –n 20 testfile1 %head –20 testfile1

UNIX的主要命令 5、文件的查找操作 (2) tail命令 tail命令是显示文件最后部分 例如: %tail testfile1 %tail –20c testfile1 显示文件testfile1的末尾20个字符

UNIX的主要命令 管道“|” 管道的含义是将一个程序的标准输出作为另一个程序的标准输入。 7、管道和定向 例如: %ls -l |wc -l 将显示ls命令结果的输出行数

UNIX的主要命令 定向 定向的含义是将一个程序的标准输出存成一个文件,它有两种用法。 例如: %ls > ls.log %ls -l >> ls.log 将新命令产生的结果添加在文件ls.log的末尾

UNIX的主要命令 (1)tar命令(打包文件命令) tar命令将归档文件存入存储器内(打包)或从存有归档文件的存储器中恢复文件(解包)。 tar [ctxu][v][f device] file-list tar命令次选择项说明: v:显示每个被处理的文件名。 n:标志归档的设备不是磁带。

UNIX的主要命令 f:使用tar命令时利用后面一个参数作为归档的文件名。 w:使得tar命令显示每一步活动,后随文件名,等待用户确认。 x:从档案存储介质中读取指定的file。 t:列出档案存储介质中的文件名。 c:建立一个新档案,覆盖已有的同名文件。

UNIX的主要命令 例如: %tar cvf file.tar ./* 将当前目录下的所有文件打包 %tar xvf file.tar 将打包过的文件解包到当前目录

UNIX的主要命令 语法格式:chmod <access> <file/dir> <access> 为三个八进制的数字,分別代表 user, group, other 的使用权限 以8进位代表权限 (r = 4, w = 2, x = 1) chmod [who|op|access] <file/dir> who : user = u, group = g, other = o, all = a op : add = +, remove = - , assign = = access : read=r, write = w; execute = x

UNIX的主要命令 允许选项可以用十进制来表示 rwxrwxrwx = 111 111 111 = 777 rwxrw-r-- = 111 110 100 = 764 rw------- = 110 000 000 = 600 语法:chmod <mode> <file> 例子: chomd 755 script.plx 给自己所有权限,给组用户和其它用户读和写的权限 可以用特定的模式来代替十进制的数 仍然是三个字符编码. 第一个字符: u (文件所有者), g (group), o (other) 第二个字符: + (加权限) or - (限制权限) 第三个字符: r (read), w (write), x (execute)

UNIX的主要命令 第三个字符: r (read), w (write), x (execute) chmod u+x file.pl 给自己执行的权限 chmod o+r file.pl 给其它用户读取的权限 shell有三种:Bourne shell、Korn shell和C shell。

Vi编辑器的使用 vi编辑器的三种工作模式: 只有在输入模式下,才能接收用户从键盘 上输入的字符; 只有在命令模式下才能对文件进行修改; 退出、存盘等操作在底行命令模式下进 行。

Vi编辑器的使用 保存文件并退出vi编辑程序 1、键入“:w”,再按回车键,将当前编辑的ASCII文本写入磁盘。 2、键入“:q!”,再按回车键,退出vi编辑程序。如果编辑的文本文件自上次保存后又有改动,则该命令行操作无效。“!”告诉vi编辑程序要无条件退出。 3、键入“:wq”,再按回车键,保存当前编辑缓冲区的文本文件并退出vi编辑程序。