组会报告 毕小斌 06/17/2013.

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组会报告 毕小斌 06/17/2013

氧化物TFT光电探测器研究及其应用 第一章 光电探测器简介 第二章 MgZnO-TFT的制备及其光电性能 第三章 In2MgO4-TFT的制备及其光电性能 第四章 TFT光传感器阵列及其应用 第五章 总结

光电探测器简介 一、光电探测器分类 二、光电探测器的性能参数 三、光电探测器的应用

光电探测器分类 光电探测器是指利用外光电效应或内光电效应制成的辐射探测器

性能参数 一、暗电流即噪声电流 二、响应度R:单位面积上每瓦特的输入光功率产生的输出电流密度。 三、紫外可见光抑制比UV/UIS 四、响应时间 五、噪声等效功率NEP和探测灵敏度D*

基于氧化物TFT的光电探测器 宽禁带:日盲探测器 三端器件:栅压可以使暗电流很小,提高信噪比 放大型器件、高迁移率:可以精简外围放大电路 易集成:有源矩阵传感器阵列,

MgZnO-TFT的制备及其光电特性 一、MgZnO材料的基本性质 二、MgZnO薄膜性质 三、MgZnO-TFT制备及其电学特性 四、MgZnO-TFT光电特性

MgZnO材料特性 ZnO 是一种具有六角纤锌矿结构的直接带隙半导体材料,室温禁带宽度为 3.37 eV;MgO禁带宽度7.8eV,立方晶系

磁控溅射制备MgZnO薄膜特性 MgZnO陶瓷靶, RF功率80W MgO:ZnO=0.15:0.85; 0.25:0.75

光学透过率

主要工艺流程 栅电极:剥离Ti电极 150nm 介质层:Al2O3­ RF功率400W,200nm 沟道:RF功率80W,Ar=50sccm,O2=0,2,4sccm,厚度50nm 源漏电极:剥离Ti 150nm 退火:300℃氮气中退火60min

MZO-TFT Light Light Power=5μW/cm2 Time=60s TFT W/L=100/5 Vd=10V

In2MgO4-TFT的制备及其光电特性 一、In2MgO4材料的基本性质 二、In2MgO4薄膜性质 三、In2MgO4-TFT制备及其电学特性 四、In2MgO4-TFT光电特性

In2MgO4材料的基本性质 In2MgO4是立方对称尖晶石结构的晶体材料,具有透明导电性质,并且具有比ITO材料更宽的透过波长范围,电阻率最低可达10-3左右。

磁控溅射In2MgO4薄膜 In2MgO4陶瓷靶, MgO:In2O3=0.13:0.87

光学透过率

主要工艺流程 栅电极:剥离Ti电极 150nm 介质层:Al2O3­ RF功率400W,200nm 沟道:RF功率100W,Ar=50sccm,O2=2,4,6sccm,厚度40nm,Ts=300℃ 源漏电极:剥离Ti 150nm 退火:300℃氮气中退火60min

IMO-TFT Light Light Power=5μW/cm2 Time=60s TFT W/L=100/5 Vd=10V

TFT光传感器阵列及其应用

下一步工作 TFT光电特性测试:光功率,波长 Mg含量的影响:7% 13% 19%