2.6压电式传感器.

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1 2.6压电式传感器

2 一种柴油机气缸压力表，主要解决现有技术的测量精度低、可靠性差等弊端。 （传感器采用压电式传感器）
振动测量压电式传感器 一种柴油机气缸压力表，主要解决现有技术的测量精度低、可靠性差等弊端。 （传感器采用压电式传感器）

3 加速度压电式传感器

4 压电式传感器 压电式传感器是根据压电效应制作的传感器，可以实现压力、加速度、扭矩等物理量的测量。其优点是灵敏度高，信噪比高、结构简单。压电式传感器广泛应用于工程力学、生物医学、电声学等领域。

5 压电效应（Piezoelectric Effect）
压电效应及材料 压电效应（Piezoelectric Effect） 一些离子型晶体的电介质不仅在电场力作用下，而且在机械力作用下，都会产生极化现象。且其电位移D(在MKS单位制中即电荷密度σ)与外应力张量T成正比： D = dT d——压电常数矩阵。 当外力消失，电介质又恢复不带电原状；当外力变向，电荷极性随之而变。这种现象称为正压电效应，或简称压电效应。

6 压电材料 压电晶体(单晶) 压电陶瓷(多晶半导瓷) 新型压电材料

7 压电晶体 ⑴ 石英晶体(SiO2) 石英晶体俗称水晶，有天然和人工之分。目前传感器中使用的均是以居里点为573℃，晶体的结构为六角晶系的α-石英。其外形如图所示，呈六角棱柱体。有m、R、r、s、x共5组30个晶面组成

8 其他压电单晶 压电单晶中除天然和人工石英晶体外，锂盐类压电和铁电单晶如铌酸锂(LiNbO3)、钽酸锂(LiTaO3)、锗酸锂LiGeO3)等材料， 也已在传感器技术中日益得到广泛应用，其中以铌酸锂为典型代表，在光电、微声和激光等器件方面都有重要应用。不足之处是质地脆、抗机械和热冲击性差。

9 压电陶瓷 压电陶瓷是人工多晶铁电体，原始的压电陶瓷呈现各向同性不具有压电性，因此，必须作极化处理，即在一定温度下对其施加强直流电场，迫使电畴趋向外电场方向作规则排列；极化电场去除后，趋向电畴基本保持不变，形成很强的剩余极化，从而呈现出压电性。

10 压电陶瓷极化 4BaTiO3压电陶瓷的极化

11 压电陶瓷的特点 压电常数大 灵敏度高 制造工艺成熟 成形工艺性好 成本低廉，利于广泛应用 还具有热释电性

12 常用的压电陶瓷 (1) 二元系压电陶瓷 (2)三元系压电陶瓷 (3)综合性能更为优越的四元系压电陶瓷也已经研制成

13 二元系压电陶瓷 主要包括钛酸钡BaTiO3，钛酸铅PbTiO3，锆钛酸铅系列PbTiO3-PbZrO3(PZT)和铌酸盐系列KNbO3-PbNb2O3。其中以钛酸钡，尤其以锆钛酸铅系列压电陶瓷应用最广。

14 三元系压电陶瓷 目前应用的PMN，它由铌镁酸铅Pb(Mg1/3Nb2/3)O3钛酸铅PbTiO3-锆钛酸铅PbZrO3三成分配比而成。另外还有专门制造耐高温、高压和电击穿性能的铌锰酸铅系、镁碲酸铅等。

15 新型压电材料 ⑴ 压电半导体 ⑵ 有机高分子压电材料 一 某些合成高分子聚合物，经延展拉伸和电极化后具有压电性高分子压电薄膜，如聚氟乙烯PVF)等。 二 高分子化合物中掺杂压电陶瓷PZT或BaTiO3粉末制成的高分子压电薄膜。

16 结论： 压电晶体的正压电效应和逆压电效应是对应存在的，哪个方向上有正压电效应，则在此方向上必定存在逆压电效应，而且力-电之间呈线性关系。
石英晶体不是在任何方向上都存在压电效应

17 ②y方向：只有d25和d26的剪切压电效应〔图图(c)(d)〕。
①x方向：只有 d11的纵向压电效应 〔图(a)〕、d12的 横向压电效应〔图 (b)〕和d14的剪切压 电效应〔图(c)〕。 ②y方向：只有d25和d26的剪切压电效应〔图图(c)(d)〕。 ③z方向：无任何压电效应。

18 压电式传感器理想等效电路 压电器件的理想等效电路 (a)电压源；(b)电荷源

19 压电传感器等效电路和测量电路 (a)电压源；(b)电荷源
实际等效电路 压电传感器等效电路和测量电路 (a)电压源；(b)电荷源

20 灵敏度和分辨率高，线性范围大，结构简单、牢固，可靠性好，寿命长；
压电式传感器应用特点： 灵敏度和分辨率高，线性范围大，结构简单、牢固，可靠性好，寿命长； 体积小重量轻，刚度强度、承载能力和测量范围大，频带宽，动态误差小 易于大量生产，便于选用，使用和校准方便，并适用于近测、遥测。

21 压电式加速度传感器 压缩型 剪切型 复合型

22 压电式力传感器 压电式测力传感器是利用压电元件直接实现力－电转换的传感器，在拉、压场合，通常较多采用双片或多片石英晶片作压电元件。它刚度大，测量范围宽，线性及稳定性高，动态特性好。按测力状态分，有单向、双向和三向传感器，它们在结构 上基本一样。

23 必须通过弹性膜、盒等，把压力收集、转换成力，再传递给压电元件。为保证静态特性及其稳定性，通常多采用石英晶体作压电元件
压电式压力传感器 必须通过弹性膜、盒等，把压力收集、转换成力，再传递给压电元件。为保证静态特性及其稳定性，通常多采用石英晶体作压电元件

24 压电效应在材料加工中的应用 超声波探伤： 常用的无损检测的方式 其它无损检测方式： 1.射线探伤 2.渗透探伤 3.涡流探伤 4.磁力探伤

25 影响压电式传感器主要因数 横向灵敏度 环境温度和湿度 安装差异及基座应变 噪声等