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簡 報 大 綱 壹、計畫內容 貳、變更內容及差異分析 參、第二次審查意見辦理情形說明.

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0 環境影響差異分析簡報 (第二次修訂) 敦南科技股份有限公司 新竹廠區產能擴增計畫 開發單位:敦南科技股份有限公司
中華民國 九十六 年 十二 月

1 簡 報 大 綱 壹、計畫內容 貳、變更內容及差異分析 參、第二次審查意見辦理情形說明

2 壹、計畫內容 先進製程改善 產能預估量 增加30% 產品良率提升 符合 實際需求 原物料使用量變更 空氣污染物排放量變更 空氣污染防制設備
1.投入矽晶片原為37000片/月,增加為40000片/月,增加8%。 2.因採先進製程改善,故良率提高,產能由原30000片/月,提昇為39000片,增加30%。 先進製程改善 原物料使用量變更 產品性質: 立生:產品為電源管理IC為主 敦南:LCD驅動IC為主 空氣污染物排放量變更 符合 實際需求 產能預估量 增加30% 空氣污染防制設備 配置之修正 產品良率提升 水污染防治設備功能提昇 立生:計畫每月產量30000片 敦南:計畫每月產量39000片 註:投入矽晶片片數立生為37000片/月(良率81%),敦南為40000片/月(良率98%),產能增加主要為良率提高。 廢棄物產生及處理方式之修正

3 貳、變更內容及差異分析 空氣污染防制設備變更內容 變更事項 原計畫內容 變更後內容 差異 設備 (套) 填充式洗滌塔 4 5 + 1
活性碳吸附塔 2 1 - 1 沸石濃縮轉輪 蓄熱式焚化爐 小型填充式洗滌塔 25 + 25 排放 管道 (根) 無機酸氣體 揮發性有機氣體 易燃性氣體 ●磷化氫及鹽酸之填充式洗滌塔與排放煙道25組 ◎避免發生爆炸 ◎降低工作場所之風險等級

4 貳、變更內容及差異分析 空氣污染排放量變更內容對照表 原計畫內容 變更後內容 差異 原料種類 每年排放量 砷化氫 0.069 PH3
PH3 0.156 SiH4 溴化氫 0.052 硫酸 5.910 硫酸液滴 2.074 -3.836 磷酸 3.335 5.180 +1.845 氨氣 2.195 2.773 +0.578 總氟 0.138 氫氟酸 1.861 +1.723 氯化氫 4.113 鹽酸 +1.067 氯氣 3.650 +3.598 揮發性有機物 4.026 5.184 +1.158 單位:公噸/年

5 貳、變更內容及差異分析 調節槽01 調節槽03 調節槽04 調節槽05 中和槽 調節槽02 取樣槽 FBC 含氟廢水 收集槽 pH調整槽 放流槽 NaOH CaCl2 緩衝槽 放流 作業廢水 洗滌塔廢水 無法回收廢酸液 冷卻廢水…等 污泥貯槽 廢酸槽 反應槽 沈澱槽 膠羽槽 污泥脫水機 Polymer PAC 濾液以集水坑收集至調節槽 至緩衝槽 污泥至污泥貯槽 廢水處理效率提昇 廢水廠氟系廢水部份(每日廢水量約30CMD)原流體化結晶床處理效率未達原設計功能,擬於其後增設混凝沈澱單元,以增加廢水處理廠處理效率,增設設備如下: ●混凝沈澱一套 ●污泥貯槽 ●污泥脫水機一套

6 貳、變更內容及差異分析 變更後廢棄物產生及處理方式 原計畫內容 變更後內容 差異量 廢棄物種類 產生量 廢硫酸 36 - 廢有機溶劑 24
備 註 廢棄物種類 產生量 廢硫酸 36 - 94.8~95.10之廢硫酸回收率為100% 廢有機溶劑 24 75 +51 廢塑膠容器 1.5 廢塑膠混合物 2.55 +1.05 廢玻璃容器 廢玻璃、陶瓷混合物 3.55 +2.05 廢紙 3 廢木屑 2 廢木材混合物 螢石 9 廢污泥 90 +81 混合五金 1 4.5 +2 廢金屬 單位:公噸/月

7 參、第二次審查意見辦理情形說明 審查結論辦理情形說明:

8 硫酸回收每月約36公噸,因回收時加上部份雙氧水混合,所以略高於理論計算值。
參、第二次審查意見辦理情形說明 排放量:約2.07公噸/年 硫酸回收每月約36公噸,因回收時加上部份雙氧水混合,所以略高於理論計算值。

9 參、第二次審查意見辦理情形說明 排放量:約5.18公噸/年

10 參、第二次審查意見辦理情形說明 排放量:約1.86公噸/年

11 參、第二次審查意見辦理情形說明 排放量:約5.18公噸/年

12 參、第二次審查意見辦理情形說明 排放量:約2.8公噸/年

13 參、第二次審查意見辦理情形說明 排放量:約3.65公噸/年

14 參、第二次審查意見辦理情形說明 排放量:約5.18公噸/年

15 參、第二次審查意見辦理情形說明 委員意見辦理情形說明:

16 參、第二次審查意見辦理情形說明

17 參、第二次審查意見辦理情形說明 「新竹科學工業園區環境影響調查分析及因應對策報告」環境監測計畫噪音振動項目監測地點:聚賢樓,頻率:每季乙次每次連續24小時。 聚賢樓 敦南科技 測站 監測日期 Leq早 Leq日 Leq晚 Leq夜 Ldn 噪音管制區 標準類別 聚賢樓 96/1/26 49.9 57.3 55.8 48.9 58.0 第三類或第四類管制區內「緊鄰八公尺(含)以上道路」噪音標準註1 96/3/15 49.1 54.7 52.1 46.0 55.5 96/4/26 50.2 55.0 52.8 46.8 56.2 96/5/29 50.6 55.4 52.6 48.7 57.1 標準值 75 76 73 註:1.依據中華民國85年1月31日行政院環境保護署 (85) 環署空字第 號令訂定發布「環境音量標準」。

18 參、第二次審查意見辦理情形說明 污泥產量說明 氟系廢水量:約30CMD
廢水中氟離子濃度約5500 mg/L,處理後氟離子濃度約100 mg/L以下。 每處理1mg/L氟離子約需加氯化鈣約1.5mg/L(以鈣離子計),混凝劑及助凝劑約2 mg/L。 每日乾污泥量約30×( )×( )/1000=729 kg 污泥含水率為75%以下,每日污泥量約3公噸(以污泥含率75%計,729 kg/0.25≒3000 kg),每月污泥量計約90公噸。原環評污泥量為每月9公噸,為低估,新增污泥量每月約81公噸。

19 參、第二次審查意見辦理情形說明 回收有機溶劑產量說明
1.微影、黃光、擴散等製程中所使用的有機溶劑包含光阻劑、去光阻劑、異丙醇、晶邊清洗液、醋酸、丙酮等每月用量約25公噸,回收之廢有機溶劑約20公噸左右。 2.微影製程每月使用顯影液約31公噸左右。 3.回收廢液中含清洗用水約24公噸。 合計:預估新製程每月產生廢有機溶劑約75公噸,將回收後委託清理(回收利用)。

20 參、第二次審查意見辦理情形說明

21 參、第二次審查意見辦理情形說明

22 簡報完畢 敬請指教

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