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球面精密研磨、拋光機 特徵： 伺服馬達：具轉速補償，使轉速維持固定比例，提升真圓度的良率。 配方輸入：可縮短學習曲線，及提升量產。
觸控螢幕：人性化的介面設計，讓 OP 更容易上手及訓練。 警報提示：具速異常、鳴叫或待機顯示。 教育訓練：提供 OP 及工程師的操作與簡易維修訓練。 保養維護：穩定度高及易於維修與保養。 水洗功能：可輕易將磨液帶走。 產出量：日本機台約為 3.5 時以上，此機台可達到 3 時以下。 良率：95 ％ 以上（日本：約 93%） 價格：便宜及具有競爭力。 三聯科技股份有限公司 新竹市金山六街 48 號 電話： 連絡人：藍承治（ ）
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平面精密研磨、拋光機構說明 蠕動邦浦可由軟硬體控制 觸控螢幕 攪拌馬達 工作環 & 馬達 主環馬達含減速機 配電盤含 PLC
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平面研磨、拋光機動作流程 觸控螢幕 電源啟動 配方選擇 攪拌起動 選擇轉速比（依半導體理念設計） 邦浦起動 研磨起動 防止Slurry 凝結
將玻璃球磨成真圓 真圓檢查 真圓精度檢查 完成 綠燈閃爍（待機） 下一批研磨
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耗材 一般研磨製程用的工作環 可有效維持研磨盤的平整度 在研磨、拋光製程中可獲得較佳的表面效果及耐磨特性。 工作環前端材質為 PEEK
大拖盤：內有 6 組小拖盤。 小拖盤：置放玻璃球後再由壓塊帶動研磨。
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