Semiconductor Equipment Measured SPC System

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1 Semiconductor Equipment Measured SPC System
半導體機臺量測管制系統 -以立生半導體為例 Semiconductor Equipment Measured SPC System 指導老師: 黃貞芬 老師 B 林育志 B 張嘉翔 B 林政頤

2 大綱 開發動機 使用者對象及範圍 開發工具與平臺 系統功能 Context Diagram 系統架構圖 系統功能架構圖 系統展示 未來展望
銘謝

3 開發動機 半導體產業可說是台灣目前當紅且極具指標意義的產業之一，不論是自有品牌或是以代工為主的各大晶片製造商，莫不在降低產品的成本與提升產品的良率上卯足全力產品製程相關設備與機臺的穩定與否，攸關產品產出的良率與成本。 所以，在晶片正式生產前，都會對製程上的相關機臺做測試，以便評估機臺的狀況。

4 使用者對象及範圍 使用對象 -各製程相關工程師與設備維護人員 使用範圍 -將機台量測結果的檢測資訊，透過網 頁瀏覽的方式呈現

5 開發工具與平台 作業系統平台 Windows 2000 Advance Server 網路應用伺服器
Apache Tomcat 4.1、JDK1.4 Java API JFreeChart 資料庫 Oracle8i 開發工具 Netbeans IDE 3.6、Sun ONE Studio 4

6 系統功能 Web Application -系統以JAVA APPLET的技術、WEB 化介面呈現 圖形分析 -將資料以圖形方式呈現給使用者

7 系統功能詳細介紹 1. Single Run 1.1 可以針對特定資料類型及時間區間做監測 1.2 產生管制圖
1.3 異常點排除/工程師by pass 1.4 產生報表並匯出成EXCEL 1.5 管制圖可針對單點做詳細資料查詢 1.6 可針對不同條件做比較分析的管制圖

8 系統功能詳細介紹-續 2. Batch Run 2.2 產生多張管制圖 2.3 異常點排除/工程師by pass
2.1 可以針對特定資料類型及時間區間做監測 2.2 產生多張管制圖 2.3 異常點排除/工程師by pass 2.4 產生報表並匯出成EXCEL 2.5 可將所選擇資料存入資料清單 2.6 可選擇單圖單資料、單圖多資料

9 系統功能詳細介紹-續 3. 帳號管理系統 3.1 使用者管理-新增帳號資料 3.2 使用者管理-刪除帳號資料
3.3 使用者管理-修改帳號資料

10 Context Diagram

11 系統架構圖

12 系統功能架構圖

13 系統展示

14 未來展望 預警系統 增加管制圖功能

15 銘謝 感謝黃貞芬老師一年多來的辛勤指導，也給予我們與立生半導體的建教合作機會，並且能在我們有疑惑的時候給予我們鼓勵。我們也要謝謝立生半導體MIS部門的楊經理、蕭樹人課長以及指導我們的雷文軒工程師帶給我們許多成長，我們還要感謝中華大學資管所的學長。由衷的感謝。