双层金属阳极氧化实验 岳仑仑.

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1 双层金属阳极氧化实验 岳仑仑

2 金属生长条件 阳极氧化过程 XRD测试 SEM测试 EDS 下一阶段试验

3 金属生长条件 Zn：RF 40W 0.5Pa 生长速率：32nm/min Al： DC 50W 0.2Pa 生长速率：26nm/min 样品
100 70 50 45 样品 C3 A4 C4 A3 Zn厚度 50nm 30nm 10nm 0nm Al厚度 100

4 阳极氧化过程 不同厚度的Al的阳极氧化过程 样品 C3 C10 C9 A1 Zn厚度 50nm Al厚度 100 70 50 45
电压突变电压/V 33.2 30 9.0 突变时间/min 29 17.5 11

5 不同厚度的Zn的阳极氧化过程 样品 C3 A4 C4 A3 Zn厚度 50nm 30nm 10nm 0nm Al厚度 100
电压突变电压/V 33.2 40 77.8 70 突变时间/min 29 32 36.5 54.0

6 XRD测试

7

8

9 SEM测试 C C10

10 C11 C12

11

12 EDS 元素 重量 原子 百分比 Al /K 91.27 96.20 Zn /K 8.73 3.80

13 从EDS 的结果上分析：含有的Zn含量非常的少，这可能因为Zn在阳极氧化中被溶解。
从截面上来看，效果并不理想，但厚度上来分析，这个会有两种情况1、生成的氧化铝并不致密，造成厚度较厚 2、有部分的ZnO掺入其中造成较厚，但后者与EDS分析结果不服。

14 从阳极氧化的数据上来分析：我们可以确定，Zn的存在一定对Al的阳极氧化产生了较大的影响，但具体的机制并不清晰。
在氧化铝介质钝化层界面很有可能产生AZO层，但是底层还是有可能产生ZnO层，这样形成的ZnO和非统一的AZO层，这对于器件特性会有影响。

15 下一阶段试验 制作良好的截面，观测截面分层情况。 将会制作简单的TFT器件，观测是否有一定的性能。 研究Zn的存在对于Al阳极氧化的影响机制
通过一定温度的退火使得ZnO（如果含有ZnO层）结晶，暂定温度为250℃，此时氧化铝并不会结晶，但是ZnO很有可能结晶，通过此方法可能方便观测SEM界面。

16 Al 氧化层 二氧化硅 Al Grass

17 Thanks！