Facility Daily Report 1112 廠務系統狀態: ( /10~11/12) 作業項目 :

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Facility Daily Report 1112 廠務系統狀態: ( 2012.11/10~11/12) 作業項目 : 1. 4F Clean room工程 2. 209 Power hook up 施工 11/13 3. 202 流量計 11/12~11/13 4. 超音波清洗機hook up 11/13 Issue: 1. PCW排水溢流: PCW 排水驗證量測→另訂量測日期 2. 10/23 08:28 PCW 跳脫異常 異常原因: 過電壓訊號→調整馬達加速時間設定(須停機操作另訂日期) 3. 209A 電力相位 ITEM 3F溫度 3F濕度 PCW水溫 PCW水壓 P3F電壓 GCB2 KW Spec. 22±2℃ 40~60% 23±1℃ 2.5 kg/cm2 390~415V Ave. 22.47 56.32 23.00 2.50 398.54 230.15 Max. 22.92 58.94 23.10 2.54 405.62 236.08 Min. 22.06 54.17 22.88 2.46 394.27 224.73 *相關廠務Data 檔案:W:\廠務\廠務值班\廠務中控data\2012\11月\

Grower hook up Power Argon Pump exhaust Transformer exhaust 205A 206A 11/6 11/7 206A 11/9 8000A transformer 11/8 (風罩不安裝) 207A 209A 11/9(佈線) 11/13

4F PSS CR 項次 工 程 項 目 日期 星期 二 三 四 五 六 日 一 2 FFU+ULPA到廠 11/11 預定 實際 5.1 工 程 項 目 日期 11/6 11/7 11/8 11/9 11/10 11/11 11/12 11/13 11/14 11/15 11/16 11/17 11/18 11/19 星期 二 三 四 五 六 日 一 2 FFU+ULPA到廠 11/11 預定 實際 5.1 氣密鋼板安裝 8 冰水管路配置含試壓、保溫 10 FFU、燈具電源控制線路鋪設 11 T-G天花板鋪設(預組) 12 FFU+ULPA鋪設結線 13 燈具鋪設結線 14 控制器具結線(3個工作天) 15 風口、回風格柵安裝及氣密(2個工作天) 16 無塵室初細清含地板打蠟 17 系統測試(3個工作天) 18 環境測試(3個工作天)

Grower 電力相位配置 (11/08) Y Grower 205A~210A 380V電力 GRW Power Hook up P3F-1 380V P3F-2 400V P3F-3 380V P3F-4 400V R S T RS ST TR 101 Y L1 L2 L3 102 201 202 203 204 205 11/6 205  206 11/9 206  207 N 208 209 210 Grower 205A~210A 380V電力