全球兩大LCD曝光設備廠 因311地震受創 小尺寸LCD及大陸8.5代廠 擴產進度恐延後 從全球TFT LCD產業設備供應鏈來看，雖南韓近幾年致力於提升該產業設備自製化，然其中以PECVD、濺鍍機、曝光機自製率最低，仰賴日本進口比重高。 以本次日本地震區分布來看，TFT LCD陣列製程(Array)機台供應者中，以尼康(Nikon)及佳能(Canon)受創較為嚴重，而兩家業者幾獨佔全球LCD用曝光機市場，因此對於全球TFT LCD設備產業鏈影響較大。 以全球LCD用曝光機比重分布來看，Nikon佔有率約5~6成，而Canon佔有率約4成至5成以下。 綜觀全球TFT LCD新產線，以大陸地區為多，而7代線(含)以上產線多計劃於2011年下半至2012年量產，DIGITIMES認為，若後續仍有曝光機需求的TFT LCD業者，恐將面臨延緩交機時程。 分析師暨專案經理 林芬卉 研究中心 杜振宇

日本主要LCD陣列製程設備廠產品及南韓廠商自給率一覽 日本設備廠 南韓自製率超過50% 南韓自製率未及50% ULVAC － PECVD、濺鍍機 Nikon 曝光機 Canon 濺鍍機、曝光機 Tokyo Electron (TEL) 顯影機 乾式蝕刻機、光阻塗布機 大日本Screen製造(DNS) 濕式蝕刻機、洗淨機、 光阻剝離機、顯影機 光阻塗布機、曝光機 芝浦Mechatronics 洗淨機、顯影、光阻剝離機 從TFT LCD產業設備供應鏈來看，雖南韓近幾年致力於提升該產業設備自製化，然其中以PEVCD、濺鍍機、曝光機自製率最低。 以本次日本地震區分布來看，上述機台供應者中，以Nikon及Canon受傷較為嚴重，而兩家業者亦為全球LCD曝光機主要製造商，因此對於全球TFT LCD設備產業鏈影響較大。 全球LCD用曝光機主要由日本供應，他廠自製不易。 且日本Nikon及Canon工廠離地震帶較為接近。 資料來源：各公司，DIGITIMES整理，2011/3

Nikon及Canon 曝光機廠房受損一覽 公司 廠房所在位置 震度 地震受損情形 Nikon 宮城Nikon Precision與櫪木Nikon Precision 5~6級 因部分設備與建物受損，該公司目前復工時間未定。 Canon 宇都宮事業所(位於櫪木縣宇都宮市)、阿見事業所(位於茨城縣稻敷郡) 兩廠房皆為6級 Canon曝光機廠3月14日起停工，且復工時間仍未定，主因為停電、建物受損、生產設備中斷等。 根據DIGITIMES調查，Nikon與Canon生產LCD用曝光機廠房所在位置受本次地震影響大，主因為停電、建物受損、生產設備中斷等，導致上述兩家公司截至目前為止，復工時間未定。 資料來源：DIGITIMES，2011/3

2009年會計年度 全球LCD用曝光機市佔率 單位：台 資料來源：各公司，DIGITIMES整理，2011/3 以2009年全球LCD用曝光機市佔率來看，Nikon出貨45台，Canon出貨38台，兩大廠獨佔全球該產業領域。 資料來源：各公司，DIGITIMES整理，2011/3

2012年會計年度 全球LCD用曝光機市佔率預測 資料來源：Nikon，DIGITIMES整理，2011/3 隨著大陸興建次世代TFT LCD產線，對於LCD用曝光機需求量增，Nikon預估其2012年日本會計年度全球市佔率將達6成。 資料來源：Nikon，DIGITIMES整理，2011/3

Nikon因日本311大地震 停工工廠所在位置一覽 主生產曝光機 仙台Nikon： 位於宮城縣 名取市，震度6。 櫪木Nikon Precision： 位於櫪木縣大田原市， 震度5~6。 宮城Nikon Precision： 位於宮城縣刈田郡，震度6。 Nikon於日本各地設有子公司，其因日本311大地震停工的子公司包括仙台Nikon、宮城Nikon Precision、櫪木Nikon及櫪木Nikon Precision，因一部分設備與建物受損，目前復工時間未定。 觀察Nikon停工中4家子公司與LCD曝光機相關的事業內容，宮城Nikon Precision與櫪木Nikon Precision均負責生產半導體／LCD曝光機用元件，故將影響其LCD曝光機生產與出貨。 Nikon現於全球中小尺寸LCD曝光機居領先地位，而其日本子公司－宮城Nikon Precision負責供應智慧型手機用中小尺寸TFT LCD曝光機，其原先預定於相鄰處興建新工廠，且訂2011年7月啟用新工廠目標，不過，受311地震影響，該新工廠興建計畫將延後，預料將影響日本與南韓面板廠增產智慧型手機用面板等投資計畫。 櫪木Nikon： 位於櫪木縣 大田原市， 震度5~6。 主生產曝光機 資料來源：Nikon，DIGITIMES整理，2011/3

2009~2010會計年度 Nikon LCD曝光機銷售數分布 62 單位：台 45 以2009年及2010年Nikon LCD用曝光機銷售量來看，2010年為62台，較2009年增加17台。 其中，以2010年各世代TFT LCD用曝光機出貨量來看，7代線以上用機台銷售量達33台，佔該年度比重達53.2%。 資料來源：Nikon，DIGITIMES整理，2011/3

Canon因日本311大地震 停工工廠所在位置一覽 主生產曝光機 宇都宮事業所： 位於櫪木縣 宇都宮市 主生產曝光機 阿見事業所： 位於茨城縣 稻敷郡 Canon於日本各地設有工廠，其因日本311大地震自2011年3月14日起停工的生產據點包括宇都宮事業所、阿見事業所及取手事業所，且此3處事業所復工時間仍未定，主因為停電、建物受損、生產設備中斷等。 觀察Canon停工中3處事業所與LCD曝光機相關的事業內容，宇都宮事業所中的光學機器事業所負責開發LCD曝光機，即研發中心主要位於該廠；而阿見事業所主要負責生產LCD曝光機，整體來看，阿見事業所將影響其LCD曝光機生產與出貨。 相對的，另一受損較為嚴重廠區－取手事業所，則主要生產影像事務機。 取手事業所： 位於茨城縣 取手市 主生產影像事務機 資料來源：Canon，DIGITIMES整理，2011/3

2009~2011年Canon LCD曝光機 銷售量變化 單位：台 註：Canon係以西元年為其會計年度。 觀察Canon LCD曝光機銷售量變化，隨LCD面板廠設備投資自2009年下半起漸復甦，其已由2009年的38台成長至2010年的56台，而Canon於地震發生前訂立2011年LCD曝光機銷售量目標為38台。 註：Canon係以西元年為其會計年度。 資料來源：Canon，2011/1；DIGITIMES整理，2011/3

TFT LCD新產線多位於大陸地區 曝光機大廠受地震影響恐將延緩交機 產能：千片 玻璃基板/月(K Sheet/month) 面板廠商 世代 4Q’10 1Q’11 2Q’11 3Q’11 4Q’11 1Q’12 2Q’12 3Q’12 4Q’12 合肥京東方 6G 10 30 60 90 南京熊貓 45 京東方 (北京) 8.5 75 華星光電 (深圳) 8.5G 友達(昆山) 7.5G 5 三星電子 (蘇州) 更新：預估 2012年底 LGD(廣州) 更新：延期未定 綜觀全球TFT LCD新產線，以大陸地區為多，而7代線(含)以上產線多計劃於2011年下半至2012年量產，若後續仍有曝光機需求的TFT LCD業者，恐將面臨延緩交機時程。 註：友達昆山廠若要從7.5代線改為8.5代線規格，須向經濟部提出修改申請。 資料來源：DIGITIMES，2011/3