IC製程介紹.

Slides:



Advertisements
Similar presentations
北京市二级以上医院疾病预防控制工作考核标准(试行) (七)健康教育 北京市疾控中心 健康教育所 李玉青 副主任医师 二〇一一年八月 四、技术考核.
Advertisements

認識大學:校系介紹 介紹校系:逢甲大學-電機 工程學系 班級 :406 座號 :09 姓名 : 邱柏淵 指導老師 : 黃素珍 老師.
早自修課推動班級家長說故事及 經驗分享活動。 寒假親師生戶外參訪 ~ 原鄉文化、田園野趣學 習之旅 ~ 造訪鍾理和紀 念館、文學步道。親師生戶外參訪.
高中物理学习方法. 【状元说经】 胡湛智,是贵州省高考理科状元,他说复习物理 的要点首要的是充分重视课本知识,除了跟上老 师的步调外,自己一定要多钻研课本,课本上的 思考题是复习的纲,再找一些考点解析,认真搞 清每个概念、每个要求,并相应做一定数量的习 题;其次也要特别重视画图的作用,画图有直观、
手动换页 域外风情系列 儿子去美国留学,毕业后定居美国。还给我找了 个洋媳妇苏珊。如今,小孙子托比已经 3 岁了。 今年夏天,儿子为我申请了探亲签证。在美国待 了三个月,洋媳妇苏珊教育孩子的方法,令我这 个中国婆婆大开眼界。
亞洲大學 學生兼任助理學習與勞動權益 保障宣導說明會 報告單位 : 人事室 報告人 : 李維宗 報告日期 :
人社分中心 职工养老保险业务简介. 基本养老保险分类 1. 职工养老保险 2. 新型农村社会养老保险 3. 城镇居民社会养老保险 (城乡居民社会养老保险) (城镇居民社会养老保险和新型农村社会养老 保险合并实施)
友善校園週 「反霸凌、反黑、反毒」宣導 文賢國小.
99學年度第1學期導師輔導工作座談會 全校性共同必修服務學習課程 報告單位:學務處領導知能與服務學習中心.
東元綜合醫院 主講人:醫事課 課長 張桂瑛 醫管處醫事課 新人教育訓練課程 -批價作業.
什么是MET/CAL ? 它是一个管理系统 它是一个高效的数据库 它是一个自动校准软件 它符合所有的质量管理系统.
第十課 第九味目錄 徐國能 課文 注釋 問題與討論.
台北市立聯合醫院南軟門診部 皮膚科醫師簡介 溫素瑩醫師 學經歷: 中山醫學院醫學系畢業 台北醫學大學醫學資訊研究所碩士
第八章 结算业务的核算.
2代系統簡介 (招標、領標、開標、決標).
歡 迎 光 臨.
繁星推薦及申請入學 家長說明會 教務處試務組.
快乐猜猜猜 “旧四大件”? (缝纫机、自行车、手表、收音机) 改革开放 “新四大件”? (彩电、冰箱、洗衣机、空调)
『外食謹慎選、健康輕鬆來 上班族健康挑食小撇步』
领会法律精神 理解法律体系 城控313-3班益达组制作.
北京中医药大学东直门医院 把握“癌”的命脉 祁烁 血液肿瘤科.
主 題:金控下之壽險公司的行銷策略 報 告 人:新光人壽 胡明遠
肾衰竭.
99年成語200題庫(21-40).
理工科系介紹.
系統分析與設計 系級:資管三B 姓名:朱秋儒 學號:
防制學生藥物濫用 高雄市教育局校外分會 林永興教官.
《江苏省道路运输条例》学习交流课件 兴化市运输管理处 政策法规科.
社 会 保 险 知 识 培训教材.
積體電路設計的品質管理實務 主講人:陳世和.
辦理實習工場安全衛生業務經驗分享 新竹高工實習輔導主任  黃俊燁.
评价是为了促进 学生发展的评价。. 评价是为了促进 学生发展的评价。 语言有温度,字词知冷暖.
第三期 重点管理标准和制度宣贯会 2016年5月12日.
國立金門大學101學年度新生報到暨入學說明會 國立金門大學 學生宿舍 學務處簡介.
《模拟电路》 Analogue Electronics 信息工程学院电子工程系 李 霞.
一言之辩强于九鼎之宝 三寸之舌胜于百万雄师
便民办税春风行动 ——税收优惠辅导培训 上杭县国家税务局纳税人学校 二0一四年九月 去除PPT模板上的--无忧PPT整理发布的文字
新办纳税人办税服务指南 (郑州经济技术开发区国税局)
汽车可靠性技术 第二十八讲 主讲教师:杨志发                学时:32.
第五章 农业政策的评估及调整 学习目标 农业政策评估的标准、程序 主要内容 第一节 评估原则与标准 第二节 评估方法与程序
依法保护青少年健康成长 1、相关新闻 2、相关法律.
CSMC LAB Introduction (CSMC Web)
Combinational Logic 組合邏輯
交流一: 您的客户为什么要买医疗产品? 1.人总归会生病,生病肯定要花钱; 2.现在的医疗费用真的很高,承受不起;
2009年 初夏 某天 我 一個人 一輛車 計劃 沒有計劃 只想 漫無目的 到處亂晃 感覺夏天的散漫.
济源市国税局网上办税业务介绍 主讲人 办税服务厅 杨武兵 2014年8月1日.
班級:夜師資一甲 指導老師:蘇國榮老師 姓名:929201林佑蓉 石依縈 李玉玫 桂秀媛
簡 報 大 綱 壹、緣起 貳、執行過程 參、效益.
马克思主义基本原理概论 第三章 人类社会及其发展规律.
Equalizer function Pericom High speed Driver Product
型II誤差機率的計算 Calculating Type II Error Probabilities
電腦基礎設定與故障排除 主辦單位:教務處 主講人:呂健聰.
常用資料採礦技術介紹 關聯分組(associations)、分類(classification)、時序相關(sequence)、預測(forecasting)、群集化(clustering)以及描述等分析作業,目前常用的資料採礦技術有決策樹、類神經網路、基因演算法以及即時線上分析(OLAP)
客 訴 處 理 Elan / QRA 顏 安 建 1.
2006 新生說明會 The George Washington University
贈與契約.
飯店業的介紹.
半導體原理及應用 (II) 陳志方 國立成功大學 電機工程學系 1/15/06.
GERO:一款基于SCA的TPC通用读出ASIC
選擇勞退新制,終身免煩惱 勞工退休金新制 說明會.
台中監獄能源管制機制 大網 本監能源管制現有機制 本監各項能源管制硬體設施簡介 本監鍋爐用油紀錄及契約用電分析 節約能源未來擬施作措施 結束.
電能領域修課流程圖-大學部(甲乙班) 大一上 大一下 大二上 大二下 大三上 大三下 大四上 大四下 畢業出路 *電動機 *電力系統 普通
《数字电子技术基础》(第五版)教学课件 清华大学 阎石 王红
贏得萬邦的異象.
聚合型第一種:隱沒帶、島弧 例子:臺灣東方的琉球海溝、南美洲智利海溝. 聚合型第一種:隱沒帶、島弧 例子:臺灣東方的琉球海溝、南美洲智利海溝.
設計者:台中市重慶國小 張祐榕.楊晟汶.張儷齡
2009年 初夏 某天 我 一個人 一輛車 計劃 沒有計劃 只想 漫無目的 到處亂晃 感覺夏天的散漫 按鍵換頁--輕音樂欣賞.
商品摄影选讲课件 ——13电子商务.
績優教師分享 美容保健科 林品瑄 教師.
第 二 章  邏輯實驗儀器之使用 總目錄.
Presentation transcript:

IC製程介紹

IC製程講義目錄 一:IC製程概述 二:晶圓的制造 三:前工序的主要工藝 四:后工序.組裝.封裝和測試 五:IC製程技術發展趨勢 a.CMOS.BI-POLAR.BI-CMOS工藝 b.IC 失效的分析

IC制造過程概述 IC制造工藝概述 1.先將硅單晶切成大片 2.研磨﹑拋光 3.氧化﹑光刻﹑擴散﹑外延﹑蒸發﹑在單晶片上按照一定 的圖形和結构制造出電路﹒ 4.初測﹑畫片. 5.燒結(固定到管位)﹑壓焊(焊上引線) 6.封管﹑老化﹑總測﹑分檔﹑噴漆﹑打印1 ﹑2﹑3﹑4合 稱為前工序.4﹑5合稱為后工序.

前工序主要工藝 前工序主要工藝主要包括以下六個工藝 1.外延 2.本征氧化 3.光刻 4.淀積 5.摻雜(改性 ) 6.腐蝕 以上工藝主要為制造出集成電路中所需的各個晶体管﹑ 二級体﹑電阻﹑電容等元件.

后工序 1.組裝和封裝 主要任務 一﹕圓片切割与中測分類 二﹕芯片互連 2﹒測試(測試划分為﹕測試應用﹑工藝過程檢測.   一﹕圓片切割与中測分類   二﹕芯片互連 2﹒測試(測試划分為﹕測試應用﹑工藝過程檢測. 一﹕應用測試基本有四种﹕ (1)﹕中測 (2)﹕成品測試 (3)﹕質量測試 (4)﹕可靠性測試 二:工藝過程檢測 (1)材料檢測 (2)工藝檢測

IC基本制造工藝 IC的基本制造工藝主要包括以下三重:     1.CMOS集成工藝     2.BIPOLAR工藝     3.BI-CMOS工藝

基區擴散電阻結構示意圖 利用集成晶體管的基區擴散層做成,N型外延層接電路 的最高電位,或接至電阻器中兩端中電位較高的一端, 澈底接電路的最負端,這樣,R-R之間就形成了一個獨立 的電阻器.

利用長基區擴散電阻進行交叉走線 (上圖)頂視圖 (下圖)橫截面圖 利用基區擴散電阻﹑隱埋層電阻上的氧化層走線

發射區擴散層-隔离擴散層-隱埋層PN結電容結构 等效圖(實際上是兩個電容并聯)

Failure analysis flow Electrical problem fail no fail yes fail pass no Receive test fail Failure history Check (FT/QCtest failed item Electrical problem fail no Verify reject@ Room temperature Is device Failure parmetric? Is device failure Function? fail yes Verify reject@ High temperature Curve trace (by HP4145) Determin fail mode (bitmap) fail Verify reject@ Low temperature determine temp/volt sensitivity pass no Fae check Application environment Sat/x-ray Package problem? Decap and Om/sem 1.probing 2.hot spot (emmi/liquid crystal Deprocesses and Om/sem/eds yes Made engineering decision Bake reject 150’c,24hrs