Criteria for Choosing Transparent Conductors

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Criteria for Choosing Transparent Conductors 選擇透明導體的基準 Roy G. Gordon MRS BULLETIN/AUGUST 2000 班級:碩研奈米一甲 學號:MA41V101 姓名:紀盈卉

目錄 簡介 透明導體的應用 製作過程中透明導電材料的使用 透明導體的光學和電學性能 導電率 電漿頻率 透明導體的熱穩定性 選擇透明導電氧化物 TCs的應用實例 結論

簡介 透明導電膜已經從各種各樣的材料製備而成。 這些材料包括錫、銦、鋅、鎘的半導體氧化物和銀、金、鈦的金 屬氮化物。 物理、化學、耐熱性、蝕刻性、導電性、等離子波長、工作功能、 厚度、沉積溫度、均勻性、毒性、和成本等其他因素,都有可能 影響任何透明導電材料對特定應用的選擇。

透明導體的應用 烤箱的窗戶(以節約能源並保持的外側溫度) 太陽能電池和平板顯示器(導電性) 汽車的自動防眩目後視鏡和“智能”電控窗戶 ( TCs與電致變色的(EC)材料) 車輛的除霜窗(電流通過TCs的傳遞) 不同的TCs是適合於不同的應用 考慮各種材料的性質,可以是重要在TC上的選擇

製作過程中透明導電材料的使用 一個TC層的特性不僅取決於其化學成分,但也取決於其製備的方 法。 這些製備方法包括: a.物理方法(濺射,蒸發,脈衝激光沉積) b.化學方法(化學氣相沉積,溶膠 - 凝膠,化學浴沉積,電 鍍) 化學氣相沉積(CVD)具有被廣泛採用在連續生產塗有氟摻雜的 氧化錫玻璃上,大部分的TC膜目前都以這種方式生產。

透明導體的光學和電學性能 TC應具有高的電導率與低吸收的可見光 TCs的性能是電導率的比率σ到可見光吸收係數α σ α =− R s 𝑙𝑛 𝑇+𝑅 } −1 (1) 其中Rs為以歐姆為單位的每平方的電阻薄層,T是總可見光的透 射,R是總可見光的反射率。 σ α 值越大表示TC性能較好。

導電率 導電率增加等於自由電子的濃度乘積和遷移率 對於金屬如銀和氮化鈦,自由電子濃度是固定的結構和固體的電 子性質 為寬帶隙半導體,自由電子濃度被確定由最大數量電子的活性摻 雜劑的原子,可以是放置在晶格中 發現一般TCs可獲得的最大電子濃度和最大電導率按以下順序: ZnO:F <SnO2: F <ZnO:Al<In2O3:Sn <TiN :Ag。

電漿頻率 為導通在TC電子的分光屬性 在頻率更高的電漿頻率,電子不能響應,與該材料表示為透明電 介質 電漿頻率的增加約等於傳導電子的平方根濃度 相同的電阻率下獲得最大電子濃度和電漿頻率TC的順序,如圖表 III

透明導體的熱穩定性 TCs如果加熱到足夠高的溫度和足夠長的時間下一般會增加阻力 例如,TCs在實驗室測試在空氣中加熱到10分鐘,給出依次的溫 度。表V給出了作為“穩定溫度”的溫度範圍內的值 在每一種情況下,TC保持穩定的溫度略高於優化沉積溫度 在高溫下的錫氧化物膜的穩定性可以塗覆在玻璃上,以便進行再 加熱回火,以加強它。

選擇透明導電氧化物 選擇不同的製程,最重要的是該材料的特性 表VIII總結了一些最重要的可能會影響一個選擇標準的透明導電材 料

TCs的應用實例 低輻射的窗戶建築物 太陽能電池 平板顯示器 電鏡片和窗戶 除霜視窗 烤箱的窗戶 觸摸面板控制 隱形防盜電路

結論 透明導體有很多的應用程序。沒有一個TC是最適合所有的應用程 序 氟摻雜氧化錫是使用最廣泛的TC,同時錫摻雜的銦氧化物(ITO) 對於平板顯示器仍然優選 氧化鋅具有更有效的使用在較便宜的太陽能電池 這些常用的透明導電材料和它們的生產方法都有優點和缺點,必 須仔細權衡每個新的應用程序