离子束纳米加工技术 Ion Beam Nanofabrication & Processing

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离子束纳米加工技术 Ion Beam Nanofabrication & Processing 付德君 Dejun Fu 宜昌后皇真空科技有限公司 Yichang Faerie Vacuum Tech Co. Ltd.

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Ion beam nano-processing 离子束纳米加工技术 Ion beam nano-processing 超浅结离子注入 Low energy cluster ion implanter for ultra-shallow junction IC fabrication 离子束亚纳米抛光 Ion beam smoothing at sub-nano scale

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