透明導電氧化物(TCO)薄膜 製程實驗 指導教授: 蔡健益 老師

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1 透明導電氧化物(TCO)薄膜 製程實驗 指導教授: 蔡健益 老師
電子材料實驗室 透明導電氧化物(TCO)薄膜 製程實驗 指導教授: 蔡健益 老師

2 單選題 (3) 1. sol-gel 法稱為 ? (1) 水熱法 (2) 共沉法 (3) 溶膠凝膠法 (2) 2.若以sol-gel 法製作陶瓷材料原始材料以什麼為主 ? (1) 金屬塊材 (2) 金屬醇氧化物 (3) 以上皆是 (4) 以上皆非

3 3. sol-gel 法是利用哪種原理來進行 ? (1) 水解縮合 (2) 氧化還原 (3) 以上皆是 (4) 以上皆非
(3) 4.若要製造超細微粒之氧化物，主要可利用什麼來控制粒徑 ? (1) 壓力 (2) 溫度 (3) pH 值 (4) 濃度

4 (3) 5. sol-gel 法中的水解縮合與凝聚析出主要可利用什麼來控制 ? (1) 壓力 (2) 溫度 (3) pH 值 (4) 濃度
(2) 6.金屬離子之水解縮合主要為什麼官能基的反應 ? (1) 氮氫基 (2) 氫氧基 (3) 碳氫基

5 (3) 7. 所謂溶膠是指粒徑在多少間之膠體顆粒均勻散佈於液體中. (1) 1-10 mm (2) 0. 001- 0
(3) 7.所謂溶膠是指粒徑在多少間之膠體顆粒均勻散佈於液體中 ? (1) 1-10 mm (2) mm (3) nm (4) nm (1) 8.凝膠為一網狀交聯結構物，平均分子鏈長度為數個 ? (1) mm (2) m (3) cm 以上

6 (2) 9. sol-gel 法為西元2000年以後才有的新技術 ? (1) 是 (2) 否

7 (4) 11.利用sol-gel 法所鍍的膜厚之影響變因 ? (1) 濃度 (2) 溶膠液黏度 (3) 表面張力 (4) 已上皆是
(2) 12.溶膠塗佈於基材之後，通常會利用什麼處理，來增加膜的緻密性或有較好的界面結合性 ? (1) 冷加工處理 (2) 熱處理 (3) 淬火 (4) 已上皆可

8 (5) 13. Laser有下例那幾種 ? (1) 氣體雷射 (2) 液體雷射 (3) 固態雷射 (4) 半導體雷射 (5) 以上皆是
(1) 14.準分子雷射是哪種雷射 ? (1) 氣體雷射 (2) 液體雷射 (3) 固態雷射 (4) 半導體雷射

9 (3) 15.下例何種是準分子雷射使用的活性介質? (1) CO2 (2)紅寶石 (3) KrF (4) 已上皆非
(3) 16.準分子雷射可用在何種製程 ? (1) 雷射退火 (2) 雷射剝鍍 (3) 已上皆可

10 (3) 17.準分子雷射與其他雷射相比有一很大的特點是什麼 ? (1) 能量較強 (2) 波長短 (3) 以上皆是
(4) 18.雷射的基本組成 ? (1) 活性介質 (2) 激發系統(幫泵能源) (3) 光學回饋元件(共振腔) (4) 已上皆是

11 (4) 19.雷射的特點 ? (1) 高亮度 (2) 高方向性 (3) 單色性 (4) 已上皆是
(1) 20.雷射(Laser) 是由Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation 五個英文字的字首組合命名的 ? (1) 是 (2) 否

12 (4) 21.何種鍍膜方式可以鍍較厚的膜 ? (1) 旋轉塗佈 (2) CVD (3) PVD (4) 網印
(3) 22.旋轉塗佈是利用何種原理來進行鍍薄膜 ? (1) 地心引力 (2) 向心力 (3) 離心力 (4) 蠻力

13 (3) 23.爐管退火是利用何種形式的能量來進行退火 ? (1) 光 (2) 電 (3) 熱
(1) 24.雷射退火是利用何種形式的能量來進行退火 ? (1) 光 (2) 電 (3) 熱

14 (3) 25.太陽能電池的好壞主要於量測哪種性質 ? (1) C-V (2) J-V (3) I-V (4) 已上皆是

15 多重選擇題 (ABC) 26.何者為組成染料敏化太陽能 電池要件 ? (A)電極 (B)電解液 (C)染料 (D)以上皆非
(ABC) 27. TiO2結晶相有哪幾種 ? (A)金紅石(rutile) (B)銳鈦礦(anatase) (C)板鈦礦(brookite) (D)尖晶石

16 (ABCD) 28. TiO2的特性有哪些 ? (A)高折射率 (B)半導體 (C)對UV光的吸收 (D) 高介電常數 (E)以上皆非
( ABC ) 29.太陽能電池之光電轉換效率計算需哪些參數 ? (A)開路電壓Voc (B)短路電流Isc (C)提取因素FF (D)電容值C

17 30.第一個染料敏化太陽電池由誰造出 ? (A)Grätzel (B)Michael Jordon (C)James (D)Karin Leis
(C) 31.一般標準太陽能電池光照條件為 ? (A)AM5 (B)AM3.2 (C)AM1.5 (D)以上皆非

18 (E) 32.何者為染料 ? (A)black dye (B)N719 (C)Zn3 (D)N3 (E)以上皆是
(A) 33.氧化銦錫玻璃是否可以幫助導電 ? (A)是 (B)否

19 (AC) 34.何者為製作染料敏化太陽電池電極常用 ? (A)TiO2 (B)a-Si (C)ZnO (D)Poly-Si
( D ) 35.何者為氧化鋅材料特性 ? (A)半導體(B)高透明性(C)可發螢光(D)以上皆是

20 (ABC) 36.薄膜電晶體由哪些材料組成 ? (A)金屬 (B)半導體 (C)絕緣體 (D)以上皆非
( D ) 37.何者可能會使用到薄膜電晶體 ? (A)筆記型電腦 (B)電視 (C)數位相機 (D)以上皆是

21 ( B ) 38.薄膜電晶體之主動層由何者組成 ? (A)金屬 (B)半導體 (C)絕緣體 (D)玻璃
(AC) 39.常用之薄膜電晶體金屬層材料有哪些 ? (A)ITO (B)Ti (C)MoW (D)Mg

22 ( CD ) 40.常用之薄膜電晶體絕緣層材料有哪些 ? (A)TiO2 (B)ZnO (C)SiOx (D)SiNx
(ABD) 41.為何氧化鋅材料被用在當半導體時為何常會摻雜其它金屬離子 ? (A)增加mobility (B)增加band gap (C)增加結晶性 (D)增加導電性

23 (AB) 42. 為何導電的薄膜如ITO 或 ZnO 是透明的，主要是因為它何種性質為影響
(AB) 42.為何導電的薄膜如ITO 或 ZnO 是透明的，主要是因為它何種性質為影響 ? (A) band gap (B) 結晶性 (C) 介電常數 ( B ) 43.以下何種因素會降低導電性 ? (A)結晶性變好 (B) 結晶性變差 (C)以上皆非

24 (BC) 44.當製作氧化鋅薄膜為何要做退火處理 ? (A)形成多孔性 (B)緻密化 (C)增加結晶性
(BC) 45.準分子雷射的活性介質，通常是由何種元素組成 ? (A) 1A族 (B)鹵素族 (C)惰性氣體 (D)稀土金屬

25 ( ABC ) 46.準分子雷射退火的優點 ? (A)可於常壓下進行 (B)可於室溫下進行 (C)可節省時間
(ACDE) 47.準分子雷射的活性介質有哪些 ? (A)KrF (B)CO2 (C)ArF (D)XeBr (E)KrCl

26 (AC) 48.準分子雷射的特點 ? (A)能量大 (B)波長較長 (C)波長較短 (D)機台便宜

27 (ABCD) 50.雷射的應用有哪些 ? (A)雷射退火 (B)雷射剝鍍 (C)雷射加工 (D)雷射測量