半導體元件量測實驗 張書通 教授 中興大學電機系暨光電所

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1 半導體元件量測實驗 張書通 教授 中興大學電機系暨光電所 stchang@dragon.nchu.edu.tw

2 張老師

3 Research Areas： 1. Characteristic Research on SiGe Technology 2. Characteristic Measurement and TCAD Simulations of Si-based Devices（TFTs, Solar Cells, LEDs, Detectors） 3. Design of New Type CMOS Devices 1 2 3 HfAlO Ge dot Si

4 為何學「半導體元件量測實驗」？ 光電與固態電子領域的重要實驗課程 熟習光電所與電機系丙組半導體量測設備 搭配「能源轉換」課程

5 教科書 ： 自編講義

6 半導體元件量測實驗之課程安排 課程單元 授課教師 上課時間 半導體元件量測模擬 張書通 3/2 3/9 I-V、C-V量測 for MOS
劉漢文 3/16 3/23 橢圓儀/PL光學量測 裴靜偉 3/30,4/13 霍爾量測/四點探針 汪芳興 4/27, 5/4 FTIR/UV-VIS/EA系統 solar cell特性量測 江雨龍 5/11, 5/18 實驗室與量測設備介紹 賴聰賢 5/25 祁錦雲 6/1 貢中元 6/8

7 考核項目及評分標準、比例： 1. 作業 2. 期中報告 3. 期末報告 4. 期末考 5.出席率 比例會彈性調整 確定修課同學請簽到!

8 中興大學 電機系丙(電子)組暨 光電所介紹 張書通 教授 電機系暨光電所

9 中興大學 丙組與光電所簡介 為因應全球光電科技呈現迅速而蓬勃的發展，以及基於台灣光電科技相關人才需求日益殷切的趨勢，本系於民國95年開始召收碩士班，預計民國98年招收博士班學生。本所未來以培育優秀的光電工程應用與研究人才，同時以發展先進光電工程技術為目標。在人才培育方面，著重於基礎研究能力之培養；在發展工程技術方面，特別著重於平面顯示技術與太陽光電能技術之開發。 在基礎研究能力之培養上，以「光電子學」、「固態物理」及「元件物理」作為入門基礎課程，再規劃開設平面顯示器技術、太陽電池、感測器技術、固態光源元件製作與設計、及積體光學等相關領域課程，培養光電科技之研發人才。 在工程應用技術之開發上，以現有的研究設備及研究成果為基礎，配合中部科學園區的光電產業需求，著重於平面顯示器關鍵性技術的開發，且由於全球能源之需求，太陽電池技術也是本所將優先發展之重點。而就長期發展而言，主要包含有四個重點-平面顯示科技、太陽光電能技術、感測器與固態光源、光子晶體與奈米技術。而奈米技術著重在平面顯示科技與太陽光電能技術以及感測器應用上之改良與發展。

10 丙組(電子組)與光電所教授介紹 姓名： 江雨龍 姓名： 貢中元 Name： Yeu-Long Jiang
職稱： 副教授 學歷： 國立清華大學 電機博士 專長領域: 1. 矽薄膜太陽電池 2. 太陽電池系統 3. 矽基薄膜光電元件 4. CVD沉積技術 姓名： 貢中元 Name： Chung-Yuan Kung 職稱： 特聘教授兼光電所所長 學歷： 美國西北大學 材料科學博士 專長領域: 1. 半導體元件 2. VLSI技術 3. 矽晶技術 4. 太陽能電池 5. 固態電子 6. 光電元件

11 丙組(電子組)與光電所教授介紹 姓名： 祁錦雲 Name： Chung-Yuan Kung 職稱： 教授兼光電所所長
姓名： 賴聰賢 Name： Yeu-Long Jiang 職稱：特聘教授 學歷： 美國普林斯頓大學 電機博士 專長領域: III-V族半導體 磊晶 奈米太陽電池 半導體量子元件 與物理 分子束磊晶 姓名： 祁錦雲 Name： Chung-Yuan Kung 職稱： 教授兼光電所所長 學歷： 美國麻省理工學院 材料科學博士 專長領域: 1.電子與光電元件 2.奈米光電 3.半導體材料特性 量測及研究

12 教授介紹 1.平面顯示器面板/電路設計 2.TFT-LCD 製造技術 3.ULSI電路設計 4.ULSI製造技術 姓名： 汪芳興
Name： Fang-Hsing Wang 職稱： 副教授 學歷： 國立交通大學 電機資訊博士 專長領域: 1.平面顯示器面板/電路設計 2.TFT-LCD 製造技術 3.ULSI電路設計 4.ULSI製造技術 姓名： 張書通 Name： Shu-Tong Chang 職稱： 教授 學歷： 國立台灣大學 電機工程研究所博士 專長領域: 1. 矽鍺技術 2. 半導體製程與元件模擬 3. 奈米CMOS元件 4. 光電元件

13 教授介紹 姓名： 裴靜偉 Name： Zingway PEI 職稱： 副教授 學歷： 國立清華大學 電機工程博士 專長領域:
姓名： 劉漢文 Name： Han-Wen Liu 職稱： 副教授 學歷： 國立交通大學 電子工程博士 專長領域: 1. 半導體製程技術 2. 元件物理與可靠度 3. 平面顯示器製程技術 4. 材料分析 姓名： 裴靜偉 Name： Zingway PEI 職稱： 副教授 學歷： 國立清華大學 電機工程博士 專長領域: 1. 矽基光電元件 2. 薄膜非揮發性記憶體 3. 高分子太陽電池 4. 透明及有機薄膜電晶體 

14 電機系頂樓 可調角度太陽光電發電系統 光電所/太陽光電系統 14

15 中興大學電機大樓頂樓可調角度太陽光電發電系統

16 丙組與光電所教學及研究資源 無塵室：提供光電元件製作及各項半導體製程 之優良實驗環境。 空間配置： 一百二十餘坪之無塵室

17 ◇、無塵室 主要設備簡介(一)： 測試室— 電子元件及薄膜參數的量測。 Keithley 2361 I-V measurement
提供微電子元件之 電流電壓電性量測。 α-step 薄膜測厚儀

18 ◇、無塵室 主要設備簡介(二)： 黃光室-- 提供黃光製程。 Spin coater 光阻塗佈機 Mask aligner 曝光機

19 ◇、無塵室 主要設備簡介(三)-1： 沉積室-- 提供各種薄膜沉積及蝕刻。 PECVD & thermal evaporator
電漿輔助化學氣相沉積 & 熱蒸鍍機 ICP-RIE 電容偶合反應離子蝕刻機 ECR-CVD 電子迴旋共振化學氣相沉積

20 ◇、無塵室 主要設備簡介(三)-2： 沉積室-- 提供各種薄膜沉積及蝕刻。 Sputter 全自動高真空濺鍍機

21 ◇、無塵室 主要設備簡介 (四)： 擴散室--提供各項退火及氧化製程。 Furnace 高溫石英爐管 RTA 快速昇溫退火爐

22 ◇、無塵室 主要設備簡介 (五)： 手套箱--提供軟性電子相關製程研究。

23 Thanks a lot for your attention