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操作手冊 垂直爐管
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1. 使用設備卡及密碼開啟系統。 2. 操作垂直爐管之前，必須登入MSC II。 登入： (1)從功能選擇單，選擇[login]。 (2)在密碼區輸入密碼，選擇[OK]按鈕。 3. 批次執行 步驟1：點選螢幕下方之[PCS]按鈕 圖1 在右方主螢幕顯示PCS功能
![1. 使用設備卡及密碼開啟系統。 2. 操作垂直爐管之前，必須登入MSC II。 登入： (1)從功能選擇單，選擇[login]。 (2)在密碼區輸入密碼，選擇[OK]按鈕。 3. 批次執行.](http://slidesplayer.com/slide/15731879/88/images/2/1.+%E4%BD%BF%E7%94%A8%E8%A8%AD%E5%82%99%E5%8D%A1%E5%8F%8A%E5%AF%86%E7%A2%BC%E9%96%8B%E5%95%9F%E7%B3%BB%E7%B5%B1%E3%80%82+2.+%E6%93%8D%E4%BD%9C%E5%9E%82%E7%9B%B4%E7%88%90%E7%AE%A1%E4%B9%8B%E5%89%8D%EF%BC%8C%E5%BF%85%E9%A0%88%E7%99%BB%E5%85%A5MSC+II%E3%80%82+%E7%99%BB%E5%85%A5%EF%BC%9A+%281%29%E5%BE%9E%E5%8A%9F%E8%83%BD%E9%81%B8%E6%93%87%E5%96%AE%EF%BC%8C%E9%81%B8%E6%93%87%5Blogin%5D%E3%80%82+%282%29%E5%9C%A8%E5%AF%86%E7%A2%BC%E5%8D%80%E8%BC%B8%E5%85%A5%E5%AF%86%E7%A2%BC%EF%BC%8C%E9%81%B8%E6%93%87%5BOK%5D%E6%8C%89%E9%88%95%E3%80%82+3.+%E6%89%B9%E6%AC%A1%E5%9F%B7%E8%A1%8C..jpg "步驟1：點選螢幕下方之[PCS]按鈕. 圖1 在右方主螢幕顯示PCS功能.")
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步驟2：點選圖1右方之[Edit Operations]按鈕，出現下方畫面。
在此畫面設定recipe，溫度表格及設定片數等等。 圖2 操作定義視窗出現
![步驟2：點選圖1右方之[Edit Operations]按鈕，出現下方畫面。](http://slidesplayer.com/slide/15731879/88/images/3/%E6%AD%A5%E9%A9%9F2%EF%BC%9A%E9%BB%9E%E9%81%B8%E5%9C%961%E5%8F%B3%E6%96%B9%E4%B9%8B%5BEdit+Operations%5D%E6%8C%89%E9%88%95%EF%BC%8C%E5%87%BA%E7%8F%BE%E4%B8%8B%E6%96%B9%E7%95%AB%E9%9D%A2%E3%80%82.jpg "在此畫面設定recipe，溫度表格及設定片數等等。 圖2 操作定義視窗出現.")
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步驟3：在圖1中點選[Batch Manager]，出現下方畫面。在此畫面定義須執行的條件。
![步驟3：在圖1中點選[Batch Manager]，出現下方畫面。在此畫面定義須執行的條件。](http://slidesplayer.com/slide/15731879/88/images/4/%E6%AD%A5%E9%A9%9F3%EF%BC%9A%E5%9C%A8%E5%9C%961%E4%B8%AD%E9%BB%9E%E9%81%B8%5BBatch+Manager%5D%EF%BC%8C%E5%87%BA%E7%8F%BE%E4%B8%8B%E6%96%B9%E7%95%AB%E9%9D%A2%E3%80%82%E5%9C%A8%E6%AD%A4%E7%95%AB%E9%9D%A2%E5%AE%9A%E7%BE%A9%E9%A0%88%E5%9F%B7%E8%A1%8C%E7%9A%84%E6%A2%9D%E4%BB%B6%E3%80%82.jpg "步驟3：在圖1中點選[Batch Manager]，出現下方畫面。在此畫面定義須執行的條件。")
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步驟4：圖3點選[Define]，出現下方畫面。
圖4 Batch Define視窗
![步驟4：圖3點選[Define]，出現下方畫面。](http://slidesplayer.com/slide/15731879/88/images/5/%E6%AD%A5%E9%A9%9F4%EF%BC%9A%E5%9C%963%E9%BB%9E%E9%81%B8%5BDefine%5D%EF%BC%8C%E5%87%BA%E7%8F%BE%E4%B8%8B%E6%96%B9%E7%95%AB%E9%9D%A2%E3%80%82.jpg "圖4 Batch Define視窗.")
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步驟5：設定Operation，Lot Identifier，Wafer Quantity等等。設定完後，按[OK]按鈕。
圖5 Batch Define視窗Boat Graphic
![步驟5：設定Operation，Lot Identifier，Wafer Quantity等等。設定完後，按[OK]按鈕。](http://slidesplayer.com/slide/15731879/88/images/6/%E6%AD%A5%E9%A9%9F5%EF%BC%9A%E8%A8%AD%E5%AE%9AOperation%EF%BC%8CLot+Identifier%EF%BC%8CWafer+Quantity%E7%AD%89%E7%AD%89%E3%80%82%E8%A8%AD%E5%AE%9A%E5%AE%8C%E5%BE%8C%EF%BC%8C%E6%8C%89%5BOK%5D%E6%8C%89%E9%88%95%E3%80%82.jpg "圖5 Batch Define視窗Boat Graphic.")
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步驟6：選擇須執行的條件後，點選[Queue]。
圖6 Batch Manager視窗
![步驟6：選擇須執行的條件後，點選[Queue]。](http://slidesplayer.com/slide/15731879/88/images/7/%E6%AD%A5%E9%A9%9F6%EF%BC%9A%E9%81%B8%E6%93%87%E9%A0%88%E5%9F%B7%E8%A1%8C%E7%9A%84%E6%A2%9D%E4%BB%B6%E5%BE%8C%EF%BC%8C%E9%BB%9E%E9%81%B8%5BQueue%5D%E3%80%82.jpg "圖6 Batch Manager視窗.")
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步驟7：確認設定條件，按[OK]按鈕。 圖7 Cassette Workbench
![步驟7：確認設定條件，按[OK]按鈕。 圖7 Cassette Workbench](http://slidesplayer.com/slide/15731879/88/images/8/%E6%AD%A5%E9%A9%9F7%EF%BC%9A%E7%A2%BA%E8%AA%8D%E8%A8%AD%E5%AE%9A%E6%A2%9D%E4%BB%B6%EF%BC%8C%E6%8C%89%5BOK%5D%E6%8C%89%E9%88%95%E3%80%82+%E5%9C%967+Cassette+Workbench.jpg "步驟7：確認設定條件，按[OK]按鈕。 圖7 Cassette Workbench")
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步驟9：依照上面畫面的指示將晶舟放進機台中，即可執行。
步驟8：輸入Lot Identifier，按[OK]按鈕。 圖8 Batch Input: Cassette I/O 步驟9：依照上面畫面的指示將晶舟放進機台中，即可執行。
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