净化间化学试剂使用常识和安全培训 陈燕凌 2013年12月3日

应严格禁止的行为

目的 试验室的工作，安全第一 保持集成中心净化间良好的工作秩序 保证所有的用户在集成中心净化试验室的工作顺利和安全地进行 火警以及紧急情况下的电话号码：5042 王晓东，4360韩伟华，5019季安 ， 5142沈清

安全培训的程序和内容 下载打印培训内容，试题，安全协议，3#楼门禁申请表共四项内容 参加实验室现场培训 带上打印好的培训材料，参加书面培训 参加考试，交考试卷子，交安全协议书，交门禁申请表 考试一周之后，问沈清（82305142）关于办卡的进展情况 在沈清处领门卡，领取净化间用品。名字写在上衣后领上以防清洗时找不回来 领到门禁卡后两周之内必须进入工艺线开始操作，熟悉工作熟悉环境，否则培训没有意义 培训两周之内仍未办卡的学生，重新参加培训。 注： 关于3#楼门禁申请表，同一个组的同学填一张表即可，部门负责人一栏请导师签字

实验室现场培训内容 二楼第一次换鞋处换鞋须知，关于鞋柜的设计，关于关好鞋柜门 二楼第一次更衣室（一更）之使用须知，关于食品 二楼第二次更衣室（二更）之净化服穿戴，以及关于外套，关于关好衣柜门 一楼第二次换鞋处换鞋须知 风淋门的使用 净化间里公用计算机使用，公用u盘的使用 轻腐蚀间介绍，垃圾桶的位置，有机废液处理的演示 重腐蚀间介绍，垃圾桶的位置，药品的取出，倾倒，无机废液处理的演示 离开腐蚀间之前需要关闭的水，电，气 光刻间 药品库房的介绍，取运药品的注意事项 显微镜使用注意事项 紧急出口及自来水龙头的位置 离开光刻间之前需要关闭的电，气 离开集成中心净化实验室之前需要关闭的电闸

净化服穿戴的注意事项 禁止穿拖鞋，凉鞋进入集成中心工艺线。 夏季不要光脚，这是对自己的保护也是对他人的尊重。集成中心规定必须穿袜子进入更衣间，禁止光脚行走 穿公用袜套前必须穿袜子，之前之后注意个人卫生 鞋柜的设计分上下两层，上层拖鞋，下层室外鞋 外来人员从参观人员鞋柜里取鞋，禁止从非参观人员鞋柜里取私人的拖鞋 丢弃不要的口罩，压发帽要仍进垃圾箱，不要随处乱放 纸口罩是一次性的，压发帽可以重复使用 压发帽必须照着镜子把头发全部抿进去盖好 女生的长发先扎好再戴压发帽，以免头发滑出来 手套压住袖口 对镜子检查好穿戴后，再进线 工作过程中，注意扣好净化服，注意领口不要松开，上衣拉链不要下滑

书面培训目录 化学药品的分类 化学药品的存储 废液的处理 个人安全 化药操作注意事项 培养良好的工作习惯 腐蚀间使用注意事项 光刻间使用注意事项 大厅设备使用注意事项 曾经发生过的事故 目前存在的问题 光刻间的人数 净化间资料汇总 化学试剂安全信息例子

化学药品的分类 有机类药品，如：四氯化碳，三氯乙烯，丙酮等的特点 易燃性----易爆性 挥发性----伤害呼吸系统 对环境产生影响------大部分很难被自然吸收，必须回收 无机类药品，如：各种酸类，碱类等的特点 腐蚀性 刺激性 爆炸性 对环境产生影响-----大部分能够被环境吸收和分解

化学药品的存储 存储原则，正确储存和标识所有化学药品。 酸和酸，碱和碱，有机溶剂和有机溶剂要按要求分类放置。 强氧化剂如硝酸应单独存放。 个人短期存放、或工作过程中遗留下来的烧杯中的化学试剂，要标识其名称，日期，你的姓名和电话。 桌子上，通风柜里, 禁止摆放化学药品， 用毕放回原处， 废液放回废液箱。 为安全计，实验室中必须同时至少有两人。 阅读和理解实验室规则 关键设备使用前需经过必要培训。 通风柜的使用，知道灭火器，急救包，紧急出口位置 阅读MSDS（化学物品安全信息卡），了解化学试剂，尤其对不熟悉或不太熟悉的试剂，必须先了解。再用。 使用通风柜前检查通风情况 穿戴必要的防护用品：眼镜，安全手套，围裙等 特别注意HF、BOE的使用。弱酸当时没感觉，但会侵蚀骨头，造成严重伤害。一旦不小心溅上，至少冲水15分钟，用特殊的富钙膏涂敷，严重时报告上级。

废液的处理（一） 本所规定，所有有机溶剂废液均不可倒入下水道 有机溶剂包括：乙醇，丙酮，三氯乙烯，四氯化碳， 二甲苯，四甲基氢氧化铵显影液等 收集废液的程序： 最后一个倒空药品瓶子的人用记号笔在瓶子上打叉 找到相应的空瓶（丙酮瓶子装废丙酮，硫酸瓶装废硫酸，以此类推，严禁混装) 检查药品瓶上是否已经用记号笔打叉 装入废液 不要罐装热的废液，请放凉后再倒入废液瓶，否则有爆炸的危险！ 把盖子拧好 放回废液箱；或者灌装到半瓶左右即可送到重腐蚀间的废液架子上 废液架子上一层装酸废液，二，三层装有机废液 不要把废液摞起来放 集中收集 （容器）－－分类，标识清楚 集中放置 （地点） 本所规定，所有有机溶剂废液均不可倒入下水道 有机溶剂包括：乙醇，丙酮，三氯乙烯，四氯化碳， 二甲苯，四甲基氢氧化铵显影液等

废液的处理（二） 少量(指100ml以下）无机废液处理程序: 打开去离子水龙头，调好水流，在水池中先续一部分水 轻轻将无机废液倒入水池中 去离子水多开一会儿再关，因为担心腐蚀管道 注意硫酸腐蚀液废液倒入水里，而不是相反 少量无机废液如硫酸不要回收， 因为担心被后人混装其他废液

废液的处理（三） 如果是大量的无机废液，如硫酸双氧水废液，要求回收。因为担心管道承受不了大量的放热。 如果回收硫酸双氧水废液，放凉后再回收；不要回收到有机溶剂瓶里，一定要回收到硫酸瓶里； 四氯化碳瓶只回收四氯化碳废液，不回收其他的化药废液 三氯乙烯瓶只回收三氯乙烯废液，不回收其他的化药废液 如果是大量的无机废液，要求回收的原因是 担心管道承受不了大量的放热（如硫酸废液）。

废液的处理（四） 最后一个倒空试剂瓶的人，用签字笔在瓶子上打叉，并把瓶子放到废液箱里 如果找不到相应的空瓶，找合适的空瓶，在空瓶上打叉后，涮三遍（包括瓶盖）后，用油性笔写上废液名称，方可装入废液 有机化药的瓶子（如三氯乙烯）禁止装酸类废液，涮过三遍也不行

个人安全 思想上重视安全是第一位 慎重操作，避免对自己或别人造成危害 阅读和理解实验室规则，阅读和遵守所有标识 了解紧急出口 的位置 了解自来水龙头的位置 遇设备或安全方面异常情况，及时报告有关工作人员 为安全计，实验室中必须同时至少有两人 不要动与自己无关的设备

化学药品操作注意事项 对不熟悉的化学药品在使用之前要仔细阅读其安全信息，熟悉有关性能和安全注意事项 工作时采取必要的防护措施（如手套，眼镜，口罩，面罩等） 倾倒试剂，无论是倒入烧杯，倒回废液，还是使用化学试剂都要在 通风柜 里进行 化学药品尽量占烧杯的1/2左右，不要太满 如果煮片子的过程中出现“冒烟”现象，或出现强烈刺激性气味， 应立即检查电炉是否过热， 过热危险 报告任何不安全的情况和违反操作规程的作法给附近的工作人员 另外，加热溶剂时提倡拉下有机玻璃cover.

轻腐蚀间使用注意事项 轻腐蚀间禁止煮酸，轻腐蚀间禁止摆放酸 轻腐蚀间的药品和废液：装了一半的废液瓶放回重腐蚀间的废液架子上 倒出药品，装入废液在通风柜里进行，禁止在桌子上操作，尤其丙酮，三氯乙烯等挥发性药品会让腐蚀间充满气味。 水浴的锅，用完之后把锅里的水倒掉，否则锅会很快锈穿 腐蚀过程中，进过腐蚀液的镊子，一定要在水里涮一下 个人使用过的热源，如热板，电炉，用毕随手关掉。腐蚀间的电炉只关开关，不拔插座。 腐蚀间通风柜的电闸和氮气阀门都在通风柜的背后的墙上 随手关门 节约使用无尘纸

重腐蚀间使用注意事项 重腐蚀间禁止操作，摆放有机溶剂 通风柜里禁止个人药品过夜 水池里的，台面上的有颜色的废液，要用水枪冲洗干净 重腐蚀间的镊子，从洗液里捞过器皿之后，用去离子水冲一下 重腐蚀间的桌子上残留的液体用无尘纸擦干 个人使用过的热源，如热板，电炉，用毕随手关掉。 腐蚀间通风柜的电闸和氮气阀门都在通风柜的背后的墙上 药品柜的门用后关好 随手关门，随手关灯 节约使用无尘纸

HF and BOE 警惕所有浓度，不论是原液HF，还是BOE 如果碰到皮肤上，你有可能感觉并不强烈。但是氟能迅速扩散到骨头并造成严重后果 如果接触到皮肤，立即用流动的水冲洗至少二十分钟 不论稀释到何种程度，在通风柜里操作

HF and BOE 不要用玻璃烧杯盛放HF or BOE 不要用玻璃烧杯充当HF 或BOE腐蚀之后的水杯 不要与其他化学药品混合使用 一旦接触后的安全程序： 脱下接触到的衣物 流水冲洗 请医生查看 Report the incident

HF and BOE HF/BOE is extremely dangerous and can cause severe burns and even death. HF/BOE attacks bone tissue by reacting with calcium in the bone HF/BOE attacks most organs including the heart by disrupting Ca ions HF/BOE in dilute concentrations may not even cause any pain initially but is easily absorbed through the skin to attack bone and other tissue

HF and BOE Improper mixing of HF waste can have catastrophic results

光刻间使用注意事项 随手关门 光刻机，匀胶机，打胶机等仪器设备先登记后使用 匀胶机的使用，需先经培训（与白云霞，陈燕凌联系） 芯片尺寸小于15mmx15mm的情况下，不得使用进口匀胶机，使用国产匀胶机。 个人使用过的热源，如热板，离开光刻间之前关掉 非光刻人员不得使用光刻间的显微镜及净化台

大厅设备使用注意事项 显微镜的承片台放片子放版之前垫张无尘纸 最后一个离开的人，拉下自己房间的电闸； 最后一个离开的人，检查腐蚀间药品及电闸； 最后一个离开的人，拉下净化间大厅出口处的总电源箱内的电闸

曾经发生过的事故 进口匀胶机，芯片小于2’，没有使用胶垫就开始涂胶，致使光刻胶被吸入真空管道，造成堵塞。 热三氯乙烯废液装入废硫酸废液瓶里，造成瓶子爆炸 错误有三：一，硫酸废液装入三氯乙烯空瓶 二，废液瓶上没有用笔写上废液标记和名称 三，热三氯乙烯废液直接装瓶 轻腐蚀间的水浴，用后忘记关闭，轻腐蚀间的电闸没有关闭，导致水浴加热一夜，几乎烧干。 取药品时碰倒一瓶盐酸，碎在重腐蚀间的地上。 穿自己中心实验室的拖鞋来到集成中心，被他人当作集成中心净化间的拖鞋穿入集成中心净化间。

目前存在的问题 轻腐蚀间的桌子上，工作台里，滤纸，手套，样品袋，塑料袋随处可见 药品盒子里的药品太多，同一种类的废液瓶不止一瓶 药品瓶倒空之后没有用笔作出标记 倒硫酸时，标签朝下 热废液装入废液瓶； 电炉加热时，无人看管，十分危险 轻腐蚀间干燥柜内，烘烤塑料制品，橡胶制品，玻璃器皿上贴纸质标签，玻璃器皿盛酸之后不清洗，导致干燥柜内部严重污染和严重的火灾隐患； 光刻间人数超标

光刻间的人数问题 光刻间定员6人 尽量减少个人在光刻间停留的时间 不要在光刻间聊天 等光刻的同学，可以在大厅等候

备注----净化间资料汇总 有机溶剂：乙醇，丙酮，三氯乙烯，四氯化碳，二甲苯，异丙醇，四甲基氢氧化铵（显影液）等 无机药品：硫酸，盐酸，磷酸，氢氟酸，氨水等。 玻璃烧杯，玻璃废液瓶禁止装氢氟酸及缓冲液 塑料烧杯，塑料废液瓶禁止装有机溶剂，禁止装废酸 轻腐蚀间可操作的药品：有机溶剂 重腐蚀间可操作的药品：无机酸类，碱类药品 有机溶剂废液严禁倒入下水道 无机酸，碱类废液倒入下水道前后，要用大量的水稀释 严禁热废液装罐入废液瓶

酸 类 安 全 信 息 危 险 性：1有腐蚀性、刺激性 2硫酸接触有机易燃物引起燃烧，遇氢化物产 生剧毒气体，遇水大量放热 3盐酸遇H发孔剂立即燃烧，与氰化物接触产 生剧毒气体 4硝酸与硫化氢、磷化氢、碘化氢、乙炔反应引 起燃烧爆炸，与СO2、胺类等混合燃烧爆炸,与 有机物接触自燃 5磷酸加热分解放出有毒磷氧化物烟、遇H发 孔剂引起燃烧 6氢氟酸加热会放出高腐蚀性的氟化物气体、 与水或蒸气反应产生有毒腐蚀气体，与金属 反应生成易燃爆的氢气 防护措施：1严格操作规程 2使用防毒护品（具） 3通风柜内操作 4避禁忌物和禁忌，与易（可）燃物分开放置 5备碱性吸收中和剂、水源、灭火器 6废酸液统一集中处理，禁止排入下水道

三氯乙烯 1、物质的理化常数 英文名称 trichloroethylene 外观与性状 无色透明液体，有似氯仿的气味 闪点：32℃ 熔点-87.1℃  沸点：87.1℃溶解性 不溶于水，溶于乙醇、乙醚，可混溶于多数有机溶剂。 危险标记 14(有毒品) 主要用途 用作溶剂，用于脱脂、冷冻、农药、香料、橡胶工业、洗涤织物等 2、对环境的影响 该物质对环境有严重危害，应特别注意对空气、水环境及水源的污染。在对人类重要食物链中，特别是在水生生物体中发生生物蓄积。 3 、健康危害 侵入途径：吸入、食入、经皮吸收。 健康危害：本品主要对中枢神经系统有麻醉作用。亦可引起肝、肾、心脏、三叉神经损害。

四氯化碳 1、物质的理化常数 英文名称 carbon tetrachloride；tetrachloromethane 外观与性状无色有特臭的透明液体，极易挥发 熔点-22.6℃ 沸点：76.5℃ 溶解性: 微溶于水，易溶于多数有机溶剂  危险标记 14(有毒品) 主要用途 用于有机合成、致冷剂、杀虫剂。亦作有机溶剂 2、对环境的影响 四氯化碳属高蓄积性物，在哺乳动物的肝部可产生蓄积，对鲑鱼可致肝癌。 3、健康危害 侵入途径：吸入、食入。 健康危害：对眼睛、皮肤、粘膜和呼吸道有强烈的刺激作用。吸入可能由于喉、支气管的痉挛、水肿、炎症，化学性肺炎、肺水肿而致死。中毒表现有烧灼感、咳嗽、喘息、喉炎、气短、头痛、恶性循环心和呕吐。

丙酮 1.物质的理化常数: 英文名称acetone 外观与性状 无色透明易流动液体，有芳香气味，极易挥发 闪点：-20℃ 熔点-94.6℃  沸点：56.5℃ 溶解性 与水混溶，可混溶于乙醇、乙醚、氯仿、油类、烃类等多数有机溶剂 危险标记7(低闪点易燃液体) 主要用途 基本的有机原料和低沸点溶剂 2.对环境的影响: 3、健康危害 侵入途径：吸入、食入、经皮吸收。 健康危害：急性中毒主要表现为对中枢神经系统的麻醉作用，出现乏力、恶心、头痛、头晕、易激动。重者发生呕吐、气急、痉挛，甚至昏迷。对眼、鼻、喉有刺激性。口服后，口唇、咽喉有烧灼感，然后出现口干、呕吐、昏迷、酸中毒和酮症。 慢性影响：长期接触该品出现眩晕、灼烧感、咽炎、支气管炎、乏力、易激动等。皮肤长期接触可致皮炎。

一旦有试剂打翻怎么办？ 如果打翻在通风柜里 用烧杯接去离子水冲净即可 如果打翻在工作台上 用废的无尘纸（工作台上如果不够，匀胶机的柜门里也有）以及滤纸放在试剂上吸干 如果把试剂瓶子打碎在地上 报告有经验的集成中心的工作人员 通知清洁人员帮助 戴好手套 用废的无尘纸或者滤纸吸干 扫净玻璃碎片 打翻光刻胶 戴好手套口罩 2011-1-7

取放化药的注意事项 药品瓶子用完，或者在使用中间，都要顺手拧紧瓶盖，包括匀胶过程中，拧紧光刻胶的瓶盖，以防不小心碰翻，造成撒漏 运送化药，一手拿好瓶子，一手托住瓶子底部，以防瓶盖滑脱造成破碎 从药品柜子里拿出化药，注意把不用的化药瓶子往里推推，不要让袖子把旁边的药品瓶子带下来 把药品放回药品柜子时，注意把瓶子往里摆，不要摆在口上 2011-1-7

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