CIC018虛擬製程與Full Custom流程講義 IC Layout Tool Virtuoso 班級：　　　　　＿ 姓名：　　　　　＿ 1

在這邊點選你要登入的帳號 Username: Cadxx(xx:01~35) 在這邊輸入密碼 Password: ksut!@#$ (小寫)(shift+1234) 2

cic018虛擬製程：Schematic 以後請都固定用你登入的這個帳號 1. 2. 在桌面左上（下）角點選Applications，再點Accessories，選Terminal 1. 點選Terminal會出現左邊視窗← 然後先鍵入cd cic018按Enter，然後鍵入ca按Enter，然後再鍵入icfb按Enter 2.

注意:所有example用自己學號代替 1. 2. 3. 建立Library 1. 按Tools會出現上面的選項 2. 按Library Manager… 3. 建立屬於你自己的資料 　 夾，輸入資料夾名稱後 按Enter 4

Library建立成功後，會出現successfully 3 3. ~/cic018/cic18.tf 鍵入自已想要名稱後，按OK鍵 選擇第一項後，按OK鍵 2 鍵入.tf後，按OK鍵 Library建立成功後，會出現successfully 5 3 3. ~/cic018/cic18.tf

注意:所有example用自己學號代替 將所要畫的元件 在Library裡，將 名稱鍵入，按Enter 產生所取的名稱 選擇Composer-Schematic後，按OK 注意:所有example用自己學號代替 6

Check and save save 放大視窗 縮小視窗 Move元件 Copy元件 刪除 復原 設定元件參數 呼叫元件 畫線 畫BUS線 在線上做記號 呼叫pin Cmd Option 重覆 7

在composer環境視窗下選擇這個圖形（呼叫元件） (Nmos的參數設定) 會顯示此視窗，按 BrowseCIC18LIB(此為CIC018製程專用的MOS專用元件庫) 選擇CIC018LIB，它是個基本MOS元件庫所需的N(P)MOS元件都在裡面。 500.00n M N_18是虛擬製程專用的NMOS名稱，與台積電提供的MOS名稱(NCH)不同。

PMOS的參數設定與NMOS參數設定步驟雷同 設定Width與Length (W/L)p=1000nm/180nm，(W/L)n=500nm/180nm 全部設定完後點選Hide 1000.00n M analogLib中可以輸入所需的元件如： Vdd、gnd 選好檔案後點選Close

在composer的視窗下選擇這個 圖形（呼叫pin，快速鍵”p”) 輸出or輸入 輸入的pin腳的名稱 設定pin腳是 輸出or輸入 輸出的pin腳的名稱

將電路連接完後按下這個 圖形，做save and check的動作 完成圖 11

直接鍵入Layout 開始進入Layout工作環境設定 選擇Virtuoso後按ok

畫面中即為Virtuoso的工作環境 13

cic018製程材料 薄氧化層（及實際擴散摻雜的區域) N-Well 高濃度 P-type doping 高濃度 N-type doping 接觸（穿孔） Poly silicon (Poly Gate) 第一層金屬接點 （歐姆接觸區） 第一層金屬 第二層金屬 第二層金屬接點

在layout開始之前須要先畫一個cont，方便之後的layout工作 由Options中的Display的選項讓layout更容易上手(快速鍵e) X軸的解析度 Y軸的解析度 建立一個cont資料夾 選擇色彩 在layout開始之前須要先畫一個cont，方便之後的layout工作

0.23um 0.23um 接著怖上DIFF與ME1，CONT就完成了。 0.125um 首先先畫一個0.23um*0.23um 的CONT 找尋example > cont > layout，即可找到cont。 0.125um

其他相關連接層的cont都在Lab資料夾內部，快速鍵I。 Layout (Virtuoso) 快速鍵:　　※與Laker的快速鍵大致相同 快捷鍵 功能 C 複製 F 顯示全圖 M 移動 I 呼叫元件 K 尺規 P 劃線長短 U 回覆 R 劃長方形 E 改變色彩與解析度設定 Q 元件內部屬性 S 圖形延伸或縮小 L 打I/O與vdd，gnd腳位 左鍵拖曳 選擇下一功能方塊 右鍵拖曳 所選方塊全部放大 Shift+K 消除尺規 Ctrl+Z 放大 Shift+Z 縮小 17

正式進入INVERTER佈局流程 用尺規來量測距離，對於佈局上將會快速許多，按「快速鍵K」後，再拉至所需範圍，如下圖如示 POLY W =1um DIFF 如要把尺規量測距離給刪除，按快速鍵Shift+K

可按快速鍵I，找尋example > cont > layout，即可找到cont。 0.2um PIMP W =1um 可按快速鍵I，找尋example > cont > layout，即可找到cont。 0.2um 0.2um 0.2um 0.2um 加入NIMP、PIMP 參雜完成完整的N、 PMOS佈局。 完成N、PMOS佈局 並將Gate端串接 0.03um 0.03um 0.2um 0.2um W =0.5um 佈上cont後即完成單一顆MOS佈局 0.2um 0.2um NIMP 19

0.25um 0.1um NWELL PMOS要加入NWELL，在製作晶片時利於辨認。 0.1um 0.1um 用Metal1佈線與加入適當的cont (VDD、GND、Poly_M1)連接。 0.5um 0.5um 0.5um 0.1um 0.1um 0.1um

當佈線完成後需要加入pin腳，快速鍵L。 鍵入PIN腳名稱後，按Hide。 選用的材料為M1_TEXT。

反相器佈局完成圖 22

Layout Check： 在視窗中選 Calibre  Run DRC 23

最新Calibre的DRC執行檔。大都放在“/cic018/Calibre”中 DRC (Design Rule Check)： 先按Cancel 最新Calibre的DRC執行檔。大都放在“/cic018/Calibre”中

全部設定完後點選Run DRC DRC的執行檔 記得要點「export from layout viewer」 檔案儲存位置 讓Calibre自動轉出.gds檔或.db檔出來（ 副檔名是 .gds或.db， 中間的.Calibre刪掉 ） 選擇自己要存放轉檔後資訊的位置 很重要:gds檔產生一次後，有改變Layout會自動產生新的gds檔，gds檔轉第一次即可，記得要先Update Layout(即Save)。 要點選，表單不再重覆出現

結果顯示正常沒有錯誤 出現許多DRC檢查的結果，有些是不需看的，可按ViewShow Empty Checks，即可直接找出錯誤資訊 。

產生 NETLIST 檔 (注意:從Page 4開始。) 選擇Library Browser 選擇要轉netlist檔的電路，按close

注意:所有example用自己學號代替 顯示轉檔成功 鍵入要存放netlist檔案的路徑，按ok (注意:每更改電路圖必須重新跑ㄧ次 依照儲存路徑check netlist檔，確認無誤之後即可開始run lvs。 鍵入要存放netlist檔案的路徑，按ok (注意:每更改電路圖必須重新跑ㄧ次 Netlist，與Layout不同。)

LVS (Layout Versus Schematics)： 在視窗中選 Calibre  Run LVS 同樣先按Cancel 最新Calibre的LVS執行檔放“cic018/Calibre”中

LVS的執行檔 按此可查看該檔案內容 1.點選input 2.點選netlist 存放轉檔後的資訊 3.選擇netlist檔所存放的位置 讓Calibre自動轉出.gds檔或.db檔出來（ 副檔名是 .gds或.db， 中間的.Calibre刪掉 ） 31

選擇netlist檔自已所存放的位置 1. 全部設定完後點選Run LVS 2. 要點選，表單不再重覆出現 32

如LVS比對成功，如左圖所示，左圖有打勾圖示並出現笑臉，右圖則沒有錯誤的出現。 要登出時，先把所以工作視窗存檔後關閉，然後按桌面左上（下）角的System，點選Log Out 你的帳號… 然後會出現一個視窗，直接按Log Out就好了 33

Schematic 快速鍵: I:呼叫元件 W: 細線 Q:元件內部屬性 C: Copy M:移動 P:Pin Name D:刪除 U: Undo Shift+Z:縮小 Ctrl+Z:放大 Layout (Virtuoso) 快速鍵: C: Copy D:刪除 F: 顯示全圖 I:呼叫元件 K:尺規 L:打I/O與vdd, gnd方塊 左鍵拖曳:選擇下一功能方塊 右鍵拖曳: 所選擇方塊全部放大 M:移動 O:呼叫Contact方塊 P:劃線長短 Q:元件內部屬性 R:劃長方形 S: 圖形延伸或縮小 U: Undo Shift+K:消除尺規 Shift+Z:縮小 Ctrl+Z:放大 UNIX 常用指令 ls :list files and directories mkdir: make a directory cd directory: change to named directory cd (空白)；cd ~ : change to home directory cd .. :change to parent directory pwd: display the path of the directory cp file1 file2: copy file1 and call it file2 mv file1 file2: move or rename file1 to file2 rm file: remove a file cat file: display a file