Lecture 9 Through Mask Plating

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“ 你不仅要关心自己的盘子装的是什么食物,而 且更要关心每种食物的最佳进食时间! ” 这是英 国剑桥大学营养专家提出的最新健康饮食法则! 这是因为,食物也有自己的 “ 生物钟 ” , 只有遵 从它,你才能吃得更健康和苗条! 如果去吃自助餐,你会怎么做呢?先吃鱼肉大 菜,吃到差不多再吃蔬菜、主食,然后喝汤、
“ 你不僅要關心自己的盤子裝的是什麼食物,而 且更要關心每種食物的最佳進食時間! ” 這是英 國劍橋大學營養專家提出的最新健康飲食法則! 這是因為,食物也有自己的 “ 生物鐘 ” , 只有遵 從它,你才能吃得更健康和苗條! 如果去吃自助餐,你會怎麼做呢?先吃魚肉大 菜,吃到差不多再吃蔬菜、主食,然後喝湯、
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第七章 溶液. 剛加入時振蕩靜置 粉筆粉 + 水 粉筆粉沉降到試 管底部,混合物 分為上下兩層。 振蕩後,液 體出現渾濁。 靜置後混 合物再次 分為上下 兩層。 植物油 + 水 植物油出現在水 層之上,混合物 分上下兩層。 振蕩後,液 體出現渾濁。 靜置後混 合物再次 分為上下 兩層。 實驗一 第一節.
五年級上學期的自然課,當我們上到水溶液單元時,老師指導我們石蕊試紙可以測試水溶液的酸鹼性,藍色石蕊試紙遇鹼性 水溶液不變色,遇酸性水溶液時變紅色;而紅色石蕊試紙遇鹼性水溶液變藍色,遇酸性水溶液時不變色。 可是,滴入醋水溶液的藍色石蕊試紙變紅色的部分竟然消失不見了,紅色石蕊試紙應該不變色卻出現藍紫色,怎麼會這樣呢?
茶叶基本知识 徐南眉. 中国是茶树的原产地,中国古代劳动人民 最早发现了茶、利用了茶,世界上其他国 家是从中国引入了茶树和制茶、饮茶的方 法,茶是中国古代劳动人民奉献给世界人 民的健康饮料。茶从最初的药用到饮用, 从煎煮饮用到现代沏茶品茶经历了漫长的 历史发展过程。在世界的东方,茶不但是 饮料,还包含着丰富的精神文化内容。
防腐剂、矫味剂、着色剂. 同学们仔细看看双黄连口服液、甘草合剂等液体制剂说明 书中【成分】一项包括那些? 2 .大家想想芬达葡萄糖汽水配料中都有什么? 说明书中是不是经常会看到蔗糖、糖精钠、 苯甲酸钠、柠檬黄、羟苯乙酯等物质的出 现。这些东西到底是起什么作用的了?大 部分液体药剂的溶剂多用水,以水为溶剂.
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Lecture 9 Through Mask Plating 柳 克 強 x 4324 kcleou@ess.nthu.edu.tw References: Madou, M., “ Fundamentals of Microfabrication”, CRC Press, 1998.

Electro-deposition for Micro-devices Through Mask Plating Damascene Plating Insulator deposition and patterning Seed-layer deposition Seed layer deposition and Patterning seed layer substrate Plating Plating Mask removal Seed-layer etching Planarization

Electroplating Reactions: e- Amount of deposited material : Ni2+ + 2 e-  Ni (cathode reaction) 2Cl-  2 e- + Cl2 (anode reaction) cathode anode NiCl2  Ni + Cl2 2H+ + 2 e-  H2 (competing reaction at cathode ) => PH value important !! KCl NiCl2 Na2+ Cl+ Amount of deposited material : KCl : Supporting electrolyte NiCl2 : Electro-active species F: Faraday constant (electricity required to deposit 1 g equivalent of substance) I : current t : deposition time M : molecular weigh of the depositing material z : ion’s charges #

Diffusion Limited Reactions Diffusion limited cathode current: current density Nonlinear diffusion effect on microelectrodes

Effect of current density on stress Nonlinear diffusion effect on microelectrodes Effect of current density on stress

電 鍍 鎳 (NTHU ESS Micro-fabrication lab) 配 方 電 鍍 結 果 氨基磺酸鎳 300 公克/公升 氯化鎳 20 公克/公升 硼酸 40 公克/公升 LN-MU (應力降低劑) LN-MA (平滑劑, 光澤劑) 針孔抑制劑

電 流 密 度 影 響 電流密度 15 mA/cm2 電流密度 40 mA/cm2 其他參數:PH 值、溫度、表面活化劑

High Aspect Ratio Structure Plating Challenges: Ni2+ current diffusion limited => deposition rate  H+ at bottom depleted => PH increase locally => form nickel hydroxide => deposition stopped