操作手冊 垂直爐管
1. 使用設備卡及密碼開啟系統。 2. 操作垂直爐管之前,必須登入MSC II。 登入: (1)從功能選擇單,選擇[login]。 (2)在密碼區輸入密碼,選擇[OK]按鈕。 3. 批次執行 步驟1:點選螢幕下方之[PCS]按鈕 圖1 在右方主螢幕顯示PCS功能
步驟2:點選圖1右方之[Edit Operations]按鈕,出現下方畫面。 在此畫面設定recipe,溫度表格及設定片數等等。 圖2 操作定義視窗出現
步驟3:在圖1中點選[Batch Manager],出現下方畫面。在此畫面定義須執行的條件。
步驟4:圖3點選[Define],出現下方畫面。 圖4 Batch Define視窗
步驟5:設定Operation,Lot Identifier,Wafer Quantity等等。設定完後,按[OK]按鈕。 圖5 Batch Define視窗Boat Graphic
步驟6:選擇須執行的條件後,點選[Queue]。 圖6 Batch Manager視窗
步驟7:確認設定條件,按[OK]按鈕。 圖7 Cassette Workbench
步驟9:依照上面畫面的指示將晶舟放進機台中,即可執行。 步驟8:輸入Lot Identifier,按[OK]按鈕。 圖8 Batch Input: Cassette I/O 步驟9:依照上面畫面的指示將晶舟放進機台中,即可執行。