关于中国液晶产业 今后对废气处理设备的展望

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1 关于中国液晶产业 今后对废气处理设备的展望
关于中国液晶产业 今后对废气处理设备的展望 2015年10月14日 日本康肯工程技术有限公司 代表董事　今村啓志

2 公司名称: 日本康肯工程技术有限公司（カンケンテクノ株式会社） 创业: 1978年 总社所在地: 日本京都
自1978年成立以来，始终致力于「与大气相关的环境保护设备」， 时代造就了我们的先锋企业。 从开发，制造，销售，售后服务，根据客户的不同需求，为顾客提供一条龙服务。 公司名称: 日本康肯工程技术有限公司（カンケンテクノ株式会社） 创业: 年 总社所在地: 日本京都 代表董事: 今村啓志(创办者兼工程师) 　 从业人员: 人（Group全体：650人） 销售额： 亿日元（2014年度） 制造品种: 废气处理设备 ， 工厂专用淋水设备 ，除臭设备等 代表董事社长 今村啓志 公司名称: 北京康肯环保设备有限公司 创业: 年 所在地: 　　北京（本社）、上海（分公司） 工作人员数: 约150人（含非正式员工） 销售额： 亿日元（8千万RMB）（2014年度） 制造品种: Local Scrubber、VOC处理设备 工场：　　　 北京（部品O.H.、物流）重庆工厂（VOC） 开发中心　　 京都 海外　　　 中国、台湾、韩国､新加坡､马来西亚 京都本社

3 POU设备和VOC设备 VOC设备（集中型排气处理） POU设备

4 跟进时代的需求而开发出的设计方案 KT1000M KD100 KT1000H KT1000F KC100 KT1000EX
1993年 1997年 2000年 2002年 2003年 CVD专用设备 PFC处理设备 干式法处理设备 KT1000M KT1000H KD100 半导体制程工艺300mm设备 KT1000F KT1000EX KC100 KT1000MF・FA 处理NF3气体 处理CF4等气体 触媒式臭氧处理设备 2004年 2005年 2007年 2008年 2009年 2015年 处理高浓度氢气 太阳能电池专用设备 PLASMA系列 (Dry Typeﾟ) KPL-C KT1000EP KT1000PV KPL-D 液晶工艺PLASMA 系列处理设备 KPL-W KPL-CVD MOCVD工艺气体处理设备 PLASMA系列设备 （ETCH用） PLASMA系列设备 （CVD专用） KT1000MOC

5 电加热式废气处理设备 KT1000Fi（可处理NF3） 电等离子式废气处理设备 KPL-C13u（可处理PFC）
Local scrubber（POU）by Kanken Techno 电加热式废气处理设备 KT1000Fi（可处理NF3） 电加热式，可安定运行，在节能 方面，唯一运用入口SCR装置（荣获专利） 水・热・水等3段处理方式。 低运行成本＋维保费 拥有防腐蚀对策、防粉尘对策、对厂务设备影响小 Heater + Wet 电等离子式废气处理设备 KPL-C13u（可处理PFC） 电等离子式，可安定运行，处理效率高！ 使用业界首例Main-Tool联动运行模式，可以实现节能对策！ 业界唯一的水壁反应炉，可使处理效率UP、能够实现防堵塞效果！（荣获专利） 低运行成本＋维保费 防腐蚀对策、防粉尘对策、对厂务设备影响小 Plasma + Wet 特征：均使用电能源，不使用天然气。因此，不花费天然气相关的设备费用！（例如：供气设备和配管）

6 KPL-C13u（PLASMA Wet） 设备由入口导入管、等离子火炬头、水壁反应器、循环槽、出口SCR构成。Main-Tool中排出的废气从入口导入管导入反应器。首先，使用高温等离子进行分解。然后经过循环槽导入出口SCR、对副产物(HF）进行水分解处理。 PLASMA 7

7 VOC处理设备（大型） 独立的转轮回转控制达到高效处理（处理率97%以上） 可将浓缩倍数设定为15～20倍，实现高节能（削减燃料使用量）
与其他公司同类型系统相比，可大约节省35%的运营成本 高温再生可能的特点使设备能够长期稳定运行。

8 对今后排气处理设备的展望 POU设备 １．大流量、大风量化。 ２．我们以高效率的废气处理为目标。 ３．处理多种工业气体（ＰＦＣ等）。
４．减少ＣＯ2、ＮＯx废气排放。 ５．将废弃处理设备连接到客户原有的工艺设备， 更好地构造低能源，低资源的运用体系。 PLASMA系列　POU设备 KPL-更新模型 VOC设备 １．提高浓缩倍率，通过电加热式实现分解处理VOC气体。 ２．具备从集中型（大型）到分散型（小型）设备， 可做合理的投资。 ３．高效率的节能设备，能更有效的减少ＣＯ2、ＮＯx 等废气排放。 ４．减少Ｃ/Ｒ内空调数量，以降低综合成本。 VOC处理设备（小型） KSD-20-SP 针对以上课题，ＫＡＮＫＥＮ将应用绿色能源，提供合理方案。

9 提高技术测定水平 处理多样化的工艺气体，必须用精确的方法去测定，以保证检测数据的准确性。从PFC到副生成物气体的检测技术不可或缺。
FT-IR机 PFC气体的GWP值 在现场做FT-IR测定

10 日本康肯将继续为 守护大气层而努力，完成我们的使命！ ご清聴ありがとうございました。 日本康肯工程技术有限公司 代表取締役　今村啓志