奈米技術研發中心簡介 Introduction of Nano-Tech. R & D Center

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1 奈米技術研發中心簡介 Introduction of Nano-Tech. R & D Center
林 俊 良 奈米中心 產學組 組長 崑山科技大學 電子系 助理教授

2 組織架構(Organization)

3 中心設備(Facilities) X-Ray繞射分析儀 (X-Ray diffractometer) 場發射電子顯微鏡 (FE-SEM)
拉曼光譜儀 (Raman Spectrometer ) 掃描探針顯微鏡 (SPM) 霍爾效應量測系統 (Hall Effect Measurement System) PL光譜儀 (PL spectrometer ) 電流-電壓量測系統 (I-V Measurement System) 高效能液相層析系統 (HPLC) 氣相層析系統 (GC) 比表面積分析儀(Surface Area and Porosity Analyzer, BET) 多層膜濺鍍系統 (Sputter System) 電漿輔助化學氣相沉積系統 (PE-CVD) 微波電漿化學氣相沉積系統(MP-CVD) 感應式偶合電漿化學氣相沉積系統(ICP-CVD)

4 研究群目前研究方向 (I) Group 1 研究主題：量子資訊傳導理論與積體電路模擬與設計 研究成員：陳耀煌、陳朝烈、甘廣宙、曾龍、黃耿凌
量子資訊傳導與通訊理論 量子密碼學與資訊安全 CMOS/BiCMOS製程與應用積體電路設計 細胞式類神經網路設計 模糊控制與矽智財(SIP)設計 Group 2 研究主題：光電磁原理應用與封裝檢測 研究成員：莫定山、呂正中、林俊良、曾憲正、劉依政、林明權 光學設計應用於LCD與LED。 奈米磁能元件設計與製作 奈米金屬、半導體接觸特性研究 奈米陶瓷元件設計、製作 發光二極體奈米封裝、製程技術設計研發

5 研究群目前研究方向 (II) 研究主題：真空與薄膜製程應用 研究主題：綠色節能材料開發與運用 研究主題：奈米高分子複合材料開發研究
Group 3 研究主題：真空與薄膜製程應用 研究成員：張慎周、林天財 真空工程模擬 薄膜熱脫附 奈米碳管製程 太陽能電池製程 彩色濾光片製程 Group 4 研究主題：綠色節能材料開發與運用 研究成員：陳龍泉 黃昭銘 張穗蘋 新穎綠色觸媒於再生能源應用 可見光光觸媒於環境清淨應用 Group 5 研究主題：奈米高分子複合材料開發研究 研究成員：陳伯寬、粘譽薰、黃國賢、陳建宏 有機無機奈米分子複合材料研究 有機無機奈米分子複合材料製品及性質研發 奈米高分子相分離機制探討 奈米高分子自組裝機制研究 有機奈米圖版開發

6 曾執行之重要計劃 93學年度「發展學校重點特色」專案補助計畫-奈米材料光觸媒之製程檢測與應用 (93/6/20-93/12/10, 教育部與本校)。 93學年度提升私校研發能量專案計畫-奈米光觸媒材料應用技術與開發 (93/8/01~96/07/31,行政院國家科學委員會與本校)。 與皇田工業股份有限公司建教合作案-高效能二氧化鈦光觸媒之製備，固定及光催化反應檢測系統之開發(93/05/01-94/04/30)。 財團法人工業技術研究院委託學界研究案---以微波電漿化學氣相沉積法成長高密度排列奈米碳管之研究。 95 -97年度教育部顧問室奈米科技人才培育計畫。 95~97年度影像顯示科技人才培育計畫 - 光電顯示科學學程

7 執行之產學計劃 內嵌式發光二極體散熱技術開發 (奇力光電) 高功率發光二極體投射燈技術開發(宏傑科技)
研發太陽能驅動之發光二極體投射裝置 (NSC小產學) 發光二極體集魚燈運用在漁船之研究 (農委會) 新型骨科醫療材料研究計畫 (寶建醫院) 反應性溅鍍成長二氧化矽硬質透明保護膜應用 (啟翔科技) 連續式濺鍍機台鍍至薄膜之製程開發 (勤友企業 )

8 執行之產學計劃 電漿法光觸媒薄膜成長技術與反應效能分析研究(工業技術研究院) 使用不同材料作黑色矩陣之特性比較(國家奈米元件實驗室)
千級流明LED光元特性檢測 (宏傑科技) 應用於氮化物發光二極體之透明電極製作。(產學合作計畫)。 研製奈米級高效能防水紙板。(教育部產業園區產學合作計畫)

9 目前爭取進行中的計畫 高功率高效率白色發光二極體室內燈具之製作(三年期整合計畫)。(經濟部在地型產業加值學界科專計畫)
97/5/28已進行第二次複審，審查意見回覆與細部計畫申請 97/06~100/05

10 中心未來研發方向 前瞻性奈米與光電技術研究與應用 LED (LED製程、固態照明設計、封裝技術)
LCD (液晶顯示器研究、LED背光模組的設計) Solar Cell (太陽能電池製程、太陽能電極板) Nano-Photocatalyst (奈米光觸媒開發與產品應用) System Applications (電源轉換(AC/DC, DC/DC) 、太陽能充電系統與模組、自動光學檢測儀器開發、LED驅動控制電路 )

11 對應之產業、核心技術 對應產業：奈米光觸媒開發與產品應用、太陽能電池、發光二極體、液晶顯示器。
核心技術：薄膜製程、磊晶、元件製程、高散熱封裝、模組製作。 奈米中心檢測的核心技術：晶格結構檢測(X-ray)、高解析場發射掃描電子顯微鏡(FESEM、表面形貌與元素分析)、掃描探針技術(SPM)、氣相元素分析、光譜分析(Raman 與 光穿透反射)。

12 中心所提供之檢測服務 X光繞射分析儀 (XRD) 掃描式探針顯微鏡(SPM) 場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)
場發射電流-電壓量測系統 拉曼光譜儀 (Micro-Raman) 霍爾效應量測儀(Hall Measurement) PL光譜儀 大氣有機污染物分析儀 表面積孔洞測定儀 高效能液相層析儀 目前金屬中心皆有至本中心進行SEM量測，未來希望能將委託量測案， 整合成一產學合作案。

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