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奈米材料的比較 忠信科技 陳忠詰.

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1 奈米材料的比較 忠信科技 陳忠詰

2 三大比較 A:反應型 V﹒S﹒結晶型。 B:奈米溶膠加工 V﹒S﹒傳統加工。 C:不同奈米材料之比較。

3 A:反應型 V﹒S﹒結晶型。 報告大綱 壹:藥液生產方式與藥液成份。 貳:藥液生產方式的比較 參:藥液特性比較。
肆:Coating的原理及操作。 伍: Coating操作的比較。 陸:成品的性質比較。 柒:整體評估。

4 壹:藥液生產方式與藥液成份 一:反應型奈米溶膠( TiO2 為例) : (※ TiO2 有A、B、R及非晶態同時存在)
Ti(OR)4+H2O= Ti(OR)3(OH)+HOR Ti(OR)3 (OH)+ H2O= Ti(OR)2(OH) 2 + HOR Ti(OR)2(OH) 2 + H2O= Ti(OR)(OH) 3 + HOR Ti(OR)(OH) 3+ H2O= Ti(OH) 4 +HOR Ti(OH) 4+ Ti(OH) 4→2 TiO2+4H2O 2 TiO2 + Ti(OH) 4→3 TiO2+2H2O 3 TiO2+Ti(OH) 4→4 TiO2(※)+2H2O 4 TiO2 → → → → → → → → TiO2 (n) (※ TiO2 有A、B、R及非晶態同時存在) (反應為水解、縮合兩步驟,藉操作條件在同一槽進行。)

5 反應型奈米溶膠藥液的問題 一:溶液成份複雜:至少10種成份。 二:溶液中成份,相對量會不斷變動。
三:TiO2的結晶形態複雜(4種)而無法控制。 四:TiO2的粒徑會不斷變大。 五:溶劑的揮發太快,固含量變異性大。

6 二:結晶型奈米溶膠( TiO2 為例): O2 TiCl4+H2O→ TiCl4‧ H2O
TiCl4 ‧ H2O +NH4OH →Ti(OH)4+NH4Cl Ti(OH)4+NH4Cl +H2O→→→ Ti(OH)4 Ti(OH)4 +H2O→ Ti(OH)4 ‧ H2O Ti(OH)4 ‧ H2O+H2O2→→TiO2+ H2O+ O2 (反應包括預處理、中和、純化、結膠、熟化五步驟) (各反應在分別獨立的反應槽進行)

7 貳:藥液生產方式的比較 項 目 反應型 結晶型 Ti(OR)4 TiCl4 價格(元∕升) 1000~4000 2500 操作步驟 1 5
項 目 反應型 結晶型 原物料 Ti(OR)4 TiCl4 價格(元∕升) 1000~4000 2500 操作步驟 1 5 操作時間 1小時 64小時 設備設計 簡單 複雜而特殊 操作困難度 很高

8 參:藥液特性比較 比較項目 反應型 結晶型 主成份種類 10(膠合劑∕分散劑) 2 主成份變異性 高(反應持續) 不變 固含量變異性
高(溶劑揮發) 很低 TiO2含量變異 變動 TiO2結晶型態 A、B、R及非晶態 anatase TiO2粒徑 持續變大 不變(水合強)

9 肆:Coating的原理及操作 一:反應型: (一)吸附原理: 1‧溶劑揮發,固體沉積。 2‧膠合劑作用。 3‧燒結成膜。 (二)操作:
1‧拉昇速度快。 2‧低溫、低濕。 3‧一次coating。 4‧高溫燒結。

10 二:結晶型: (一)吸附原理:奈米粒子的高吸附性及高成膜 性。 (二)操作: 1‧多次Coating:底塗、增厚、(面塗 ) 2‧中溫、低溼。 3‧依需求有多種燒結條件。

11 不同塗佈層的功用及厚度 分類 功 用 厚度 (nm) 控制要因 底塗 1‧形成良好附著 2‧填平孔隙 10~15 藥液溫度 濕度
功 用 厚度 (nm) 控制要因 底塗 1‧形成良好附著 2‧填平孔隙 10~15 藥液溫度 濕度 增厚 完成所需膜厚 依需要 (100 ~200) 拉昇速度 面塗 使表面平整化 10 ~20

12 伍: Coating操作的比較 比較項目 反應型 結晶型 浸泡次數 可一次完成 3~4次 藥液溫度 愈低愈好 30~40℃ 環境溫度
30~35℃ 濕度 拉昇速度對膜厚 愈快愈厚 自動控制 不能 可自動控制 分析頻率 高(2~4Hr∕次) 低(3~6天∕次) 操作條件調整 隨藥液老化調整 不需要 換槽要求 2~4週 半年~一年 污染防治要求 一般

13 陸:成品的性質比較 比較項目 反應型 結晶型 膜厚再現性 不佳 良好 膜層安定性 容易脫膜 安定性高 光譜再現性 光譜安定性 燒結溫度 較高
較低

14 反應型光譜不安定的原因 三:溶劑揮發太快,膜層會留下孔洞。 五:成份比重差異太大。 一:鍍層成份複雜且相對量會不斷變動。
二: TiO2的結晶形態複雜(4種)而無法控制。 三:溶劑揮發太快,膜層會留下孔洞。 四:膜層厚度隨溶劑揮發而變。 五:成份比重差異太大。

15 反應型膜層易脫落的原因 一:溶劑揮發,膜層會留下孔洞。 二:鍍層成份相對量變動時,造成結晶缺陷。
(成份由原物料經中間產物至TiO2,比重不斷提高 ,留下結晶缺陷。 ) 三: TiO2粒徑不斷變大,亦會留下結晶缺陷。 四: TiO2粒徑太大,附著力迅速下降。

16 柒:整體評估 項目 內容 反應型 結晶型 操 作 浸泡次數 可一次完成 3~4次 藥液溫度 愈低愈好 30~40℃ 拉升速度
100(mm/min) 50 (mm/min) 操作環境 低溫低溼 中溫低溼 自動控制 不能 可自動控制 分析頻率 高(2~4Hr∕次) 低(3~6天∕次) 操作條件調整 隨藥液老化調整 不需要調整 換槽頻率 2~4週 半年~一年 成 本 100% 30~50% 品質安定性 不佳 良好 品質再現性 膜層吸附性 後製程要求 一般 污染防治需求 很高

17 奈米溶膠加工 V﹒S﹒傳統加工

18 不同奈米材料之比較

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