QA/QC實施程序書

Table of Contents： 概述 人員、機具、物料相關規定 品管實施流程 QA/QC人員稽核項目之說明 附件

一、概述 Turnkey Hook up之QA/QC程序書之目的，係在於規範出吾等從事於潔淨工程之所進行之程序。並確保整個工程品質符合業主要求。

品質管理的概念、理論要旨及相關研究，同時分析在施工品質與管理上的應用。品質管理是由戴明（W. E. Deming）、朱蘭（J. M 品質管理的概念、理論要旨及相關研究，同時分析在施工品質與管理上的應用。品質管理是由戴明（W.E. Deming）、朱蘭（J.M.Juran）及柯洛斯比（P.B.Crosby）等大師，所發展出的管理哲學與原則。 從一九八○年代以後，品質管理即受到各國重視，也引起許多學者研究。 品質管理可說是達成品質目標的全面性做法，其主要概念為 「事先預防」、「全面參與」、「顧客至上」、「建立目標」、 「永續改進」、「品質第一」及「成員發展」。

二、人員、機具、進場物料相關規定

2.1概述 在潔淨工程中之物料、施工與測試等程序皆為QA/QC中之一環。在未施工之前 QA/QC 得針對施工設備及施工人員施行認證，進場物料亦得加以抽檢。

2.2人員認證 人員認證項目之目的在於鑑定其施工能力，及確保其施工品質，認證項目須視其個人工作項目而實施之。 認證項目包括： 1.潔淨施工程序 2.自動銲接程序 3.手銲程序

2.3設備認證 施工設備皆須經業主/QA/QC等相關人員認證合格並張貼易碎合格標籤，始得准予使用。 認證項目依業主公佈之設備認證規範，並由MIC 工安人員認證及管制。

三、品管實施流程

3.1概述 針對 Turnkey Hook up 之品管實施流程，詳細內容及執行方式詳述如下。

3.2品管實施流程： QA/QC人員品管實施流程詳如下附圖流程施行之。內容包含： 施工前之品管程序 施工中之品管程序 施工完成之品管程序

品管實施流程圖 N N Y Y 銷案 工程開始 表人員及機具認證規範 確認包商及施工範圍 澄清施工規範 進行施工人員及機具認證 1.品質檢查 2.物料是否符合送審資料 3.物料之放置是否符合潔淨標準 N 物料進場之檢查 N 是否通 過認證 人員進場之檢查 施工開始 前置作業是否完成 Y Y 施工開始 看焊接 是否符合業主提出樣品 之施工規範 巡視各系統施工現場 測試狀況 通知各系統負責人 測試報告 檢查缺失改善情形 工程完成 銷案

施工中之品管程序 施工中 QA/QC人員之即針對各系統之施工品質施行缺失稽核，每日所稽核之缺失依系統別及種類別加以記錄，並統計於缺失稽核記錄表。依稽核記錄QA/QC人員得加以分析並提報各系統負責人以下相關事項以為參考： 告知各系統負責人以便改善施工缺失,每週週會提出當週各系統之缺失總數及改善狀況統計表. 依稽核情形分析是否為施工人員資格問題並提供各系統負責人參考並改善 依稽核情形分析是否為施工程序並提供各系統負責人參考並改善

施工完成之品管程序 機台施工完成後，施工承商需立即沿著施工路徑，張貼管路標籤及張貼焊道接點標籤於焊道處(詳如附件一)，並進行以下事項之再次確認，以完成初步驗收程序。

附件一：易碎合格標籤及焊道接點標籤圖例

圖面確認 當管路施工完成時，測試人員要確認圖面是否有依照工程圖施工，以及施工管路種類和數量是否正確，及take off使用是否正確。若不正確，應立即要求下包廠商修改。

外觀的確認 包括： 管路路徑是否整齊美觀。 管線支撐是否足夠。 是否張貼焊道及接點標籤。 是否依規定走高層。 管路名稱是否正確，及是否依規定張貼標籤，如有疑問，立即要求協力商馬上修改。

四、QA/QC人員稽核項目

4.1概述 稽核檢查目的在施工前、中及完工後為施工產品作一完整性之施工品質檢查及保障並進而尋求改善相關工程執行上之缺失。

4.2稽核項目 QA/QC人員於施工中對各系統之稽核項目包含： 一、施工潔淨之檢查 二、品質檢查：包含施工工法、管線美觀、標籤貼法及 support之固定。 三、測試之標準之檢查：附表5-1 四、施工完工回復之狀況

4.3.1：GAS 施工潔淨之檢查： 施工實一律要鋪設PVC布。 物料進入潔淨室必須擦拭乾淨，若是易發塵物品須包覆保鮮膜或其他防護。 愛護業主物品，禁止任意汙損刮傷或作永久記號。 維持暫存區及施工範圍之整齊清潔。 嚴禁五金、型鋼等材料未除油即進入潔淨室。 進行鋸、切等易發塵作業，須用無塵室專用吸塵器立即移除粉塵。 非經許可不得任意拆除其他系統之管線或附件，拆除後應負責復原的責任。

品質檢查： 包含施工工法、管線美觀、標籤貼法及 Support之固定。 管材堆放或搬運須防止彎曲。 各預製區管材放置要離地20公分以上，並須使用3個或3個以上之管架，防止彎曲。 管材不得拆封超過當日所需數量，餘料須註明EP或BA。 管材或管件或其他閥件除非必要，否則儘可能保持密封。 任何時間、地點均應戴手套施工，手套骯髒或破洞要立即更換。 切管倒角、修端面或彎管應用GN2 purge，（GN2壓力設定2~3kg/cm2）。 才可進行焊接。

切管時進刀不可過快，以免縮口嚴重。 彎管的品質必須平順不起波紋， 禁止焊道作彎管動作。 焊接時須使用針距規（Arc用厚薄規），中心規進行輔助，以求得好的焊道再現性。 端面須用機器修整成方正無毛邊，且內表面不可有刮傷 大管點焊時管內須以惰性氣體施作purge。 焊接前須對即將焊接之材料作試焊，樣品交由MIC指定人員認可後才可進行焊接。 焊接品質依送審規格要求，焊接完成焊道應刷亮。 焊接時必須使用差壓計行內壓控制，前吹設定10秒以上。 焊接用purge管線建議使用sus管，若能提供含氧200ppb含水200ppb以下之氣體，使用PTFE亦可。

管線走法原則上與廠房三個軸向平行。 管線排列須平行、等間距、保持一直線。 1/2”管以下管線support間隔1.2米1支。 標籤每1.5米一張，進機台前再貼一張。 門型架安裝須牢固，地板下方須用大型華司增加夾持力。 同一種機台門型架形式及高度須一致。 同型D.P.的組裝各元件位置及角度須一致。 各D.P.的貼紙位置及字體方向須一致。 PN2、GN2、CDA、PV之軟管在地板下須整理成一束，並防止被壓傷。 1F pump軟管之走法需考慮pump進出之方便。 對大口徑之軟管應在管內插入”insert”防止脫落（SWL） 切管器滾輪有溝或刀片太鈍，應予以更換。 倒角刀或端面機刀片太鈍，使毛邊嚴重，應更換。 彎管器滾輪不動或刮傷嚴重，應予以更換。 焊接治具夾片寬度與原廠不符，影響中心規定中心。

測試之標準之檢查： 附表5-1 施工完工回復之狀況： 施工完成是否將現場復原。如高架地板是否復原現場鐵鋁屑是否清理…等等。

4.3.2 Electricity 施工潔淨之檢查： 針對潔淨管理規章，施工實一律要鋪設PVC布。 物料進入潔淨室必須擦拭乾淨，若是易發塵物品須包覆保鮮膜或其他防護。 愛護業主物品，禁止任意汙損刮傷或作永久記號。 維持暫存區及施工範圍之整齊清潔。 嚴禁五金、型鋼等材料未除油即進入潔淨室。 進行鋸、切等易發塵作業，須用無塵室專用吸塵器立即移除粉塵。 非經許可不得任意拆除其他系統之管線或附件，拆除後應負責復原的責任。

品質檢查： support、cable tray 應修邊，應加護套。 纜線色套顏色是否正確 R.S.T.N.G。 纜線接點是否拴緊。 AC.Box固定螺絲是否旋緊。 纜線排列是否整齊（包括AC.Box內）。 預置未銜接之纜線有無任意垂掛，有無標示、整理。 已送電之電箱是否標示”已送電”等警語或”送電危險”。 NFB之接點部位需加裝間隔片。

測試之標準之檢查： 附表5-1 施工完工回復之狀況： 施工完成是否將剪斷之束線帶清理。 施工完成是否將現場復原。如高架地板是否復原現場鐵鋁屑是否清理…等等。

4.3.3 Exhaust 施工潔淨之檢查： 針對潔淨管理規章，施工實一律要鋪設PVC布。 物料進入潔淨室必須擦拭乾淨，若是易發塵物品須包覆保鮮膜或其他防護。 愛護業主物品，禁止任意汙損刮傷或作永久記號。 維持暫存區及施工範圍之整齊清潔。 嚴禁五金、型鋼等材料未除油即進入潔淨室。 進行鋸、切等易發塵作業，須用無塵室專用吸塵器立即移除粉塵。 非經許可不得任意拆除其他系統之管線或附件，拆除後應負責復原的責任。

品質檢查： 鎖螺絲時，所使用之扳手一定要符合螺絲尺寸（不會傷到螺絲）。 所使用之墊片，一律比照施工規範內的材質施作（如SEX、AEX一定全片式之墊片）。 法蘭片不得有切割之情形，除業主同意。（法蘭片切邊時可能會造成而後有震動之情形，有可能會有漏氣之情形）。 壓力表面一律朝操作面（以便識別）。 管路標籤一律貼在操作面（以便識別）。

直管部份鎖螺絲一律朝下，水平面螺絲一律朝抽風方向鎖（防止螺絲掉落，除螺絲是SUS）。 P型管夾一律加一層泡綿（防止管路滑動）。 Damper上需張貼ON/OFF（以便識別）。 管路不得歪斜（該正、平、直為主要）。 法蘭片上之螺絲每一個都要鎖到一個標準，大約30磅（防止螺絲鬆掉）。 P型管夾之螺絲要鎖緊（如果鬆掉，可能造成管路掉落之危）。 support是否歪斜（造成管路之施力點不夠）。 support是否固定不良（會造成整組support掉落及管路減力不夠）。 靜壓表上所使用之軟管一律使用鐵弗龍（防止軟管碎片）。 Support末端一律加護套。 量直管之尺寸時，一律放線鎚（放線鎚量尺寸時，可達到整個管線的美觀）。

測試標準： 施工完工回復之狀況： 附表5-1 施工完成是否將現場復原。如高架地板是否復原現場鐵鋁屑是否清理…等等。 多餘之螺絲是否收回。 施工潔淨是否完整。 標籤是否張貼完整。 support是否固定完整。 管路是否歪斜。

4.3.4 UPW 施工潔淨之檢查： 施工實一律要鋪設PVC布。 物料進入潔淨室必須擦拭乾淨，若是易發塵物品須包覆保鮮膜或其他防護。 愛護業主物品，禁止任意汙損刮傷或作永久記號。 維持暫存區及施工範圍之整齊清潔。 嚴禁五金、型鋼等材料未除油即進入潔淨室。 進行鋸、切等易發塵作業，須用無塵室專用吸塵器立即移除粉塵。 非經許可不得任意拆除其他系統之管線或附件，拆除後應負責復原的責任。

品質檢查： 焊道是否有兩條均勻的線條。 管路是否歪斜（該正、直、平為主）。 預製DP，管路一律要Cap（如未Cap造成管件汙染）。 support架設為1.2米架一組（防止軟化）。 管路標籤貼法為1.5米貼一張。 P型管夾固定時，需加一層塑膠墊（防止P型夾覆到管線）。 端面後一律要以酒精擦拭

測試標準： 附表5-1 施工完工回復之狀況： 施工完成是否將現場復原。如高架地板是否復原現場鐵鋁屑是否清理…等等。

4.3.5 Foundation 施工潔淨之檢查： 針對潔淨管理規章，施工實一律要鋪設PVC布。 物料進入潔淨室必須擦拭乾淨，若是易發塵物品須包覆保鮮膜或其他防護。 愛護業主物品，禁止任意汙損刮傷或作永久記號。 維持暫存區及施工範圍之整齊清潔。 嚴禁五金、型鋼等材料未除油即進入潔淨室。 進行鋸、切等易發塵作業，須用無塵室專用吸塵器立即移除粉塵。 非經許可不得任意拆除其他系統之管線或附件，拆除後應負責復原的責任。

品質檢查： 施工完工回復之狀況： 施工後一律要將地板下之環境清潔並復原。 鐵板固定在地板上之螺絲一律要鎖緊。 機台定位後一個星期內一定要將Seismic固定於機台。 地板切割後一定要修邊。 Foundation Move in至FAB後地板上一律鋪PVC布及鐵板。 Pedestal拔除後立即帶出FAB Pedestal拔除後，要立即塗上AB膠。 R/C Foundation施工完成一律要鋪PVC布。 施工完工回復之狀況： 施工完成是否將現場復原。如高架地板是否復原現場鐵鋁屑是否清理…等等。

4.3.6 PCW 施工潔淨之檢查： 針對潔淨管理規章，施工實一律要鋪設PVC布。 物料進入潔淨室必須擦拭乾淨，若是易發塵物品須包覆保鮮膜或其他防護。 愛護業主物品，禁止任意汙損刮傷或作永久記號。 維持暫存區及施工範圍之整齊清潔。 嚴禁五金、型鋼等材料未除油即進入潔淨室。 進行鋸、切等易發塵作業，須用無塵室專用吸塵器立即移除粉塵。 非經許可不得任意拆除其他系統之管線或附件，拆除後應負責復原的責任。

品質之檢查： 焊道寬度不得大於7mm。 焊道外表氧化處不得用酸洗要使用鋼刷。 Support不得以牙條固定一律用C型鋼。 管路標籤貼法為1.5米貼一張。 管路是否歪斜（該正、直、平為主）。 P型管夾之螺絲要鎖緊（如果鬆掉，可能造成管路掉落之危）。 法蘭片上之螺絲一律使用SUS材質。 軟管接點位要張貼軟管測試資料。

測試標準： 附表5-1 施工完工回復之狀況： 施工完成是否將現場復原。如高架地板是否復原現場鐵鋁屑是否清理…等等。

4.3.7 PV 施工潔淨之檢查： 針對潔淨管理規章，施工實一律要鋪設PVC布。 物料進入潔淨室必須擦拭乾淨，若是易發塵物品須包覆保鮮膜或其他防護。 愛護業主物品，禁止任意汙損刮傷或作永久記號。 維持暫存區及施工範圍之整齊清潔。 嚴禁五金、型鋼等材料未除油即進入潔淨室。 進行鋸、切等易發塵作業，須用無塵室專用吸塵器立即移除粉塵。 非經許可不得任意拆除其他系統之管線或附件，拆除後應負責復原的責任。

品質之檢查： 於施工作業地點應舖設PVC膠墊，備妥無塵室專用無塵室專用吸塵器，揮發性溶劑應使用SUS容器裝盛。 任何施工物料不得任意放置於地板上或地面上。 任何施工物料、機具進入Fab內，須於緩衝區以酒精或5%IPA之溶劑擦拭後方可攜入Fab。 切管工具刀片需時常檢視更換，以防止鈍化後影響施工品質。 使用切管器具應與管軸成９０度方向進行裁管，再施以倒角去除管緣毛邊且須檢視碎屑是否附著於管壁內。

清潔直管及另件接合面，並以符合ＮＳＦ標準之清潔劑塗抹清潔。 以符合ＮＳＦ標準之接合劑上兩道膠，一為橫向、一為縱向，均勻塗佈於直管及另件接合面。 迅速將直管插入另件套節內，同時旋轉直管１／４圈並推到底部為止。 持續施壓約１０～１５秒，以確保管件無滑脫現象。 以無塵布擦拭另件插口溢出之接合劑。 靜置約１～５分鐘待定型後才可進行後續安裝。 管路美觀。 管路架設應採水平尺量測，以確保管路不論於水平面及垂直面保持整齊。 標籤標示。 管路標示貼紙之方向性、字體、種類需正確不可馬虎了事。 標籤標示若有貼錯不可覆蓋貼上，應把舊有之標籤撕下重新貼上正確之標籤。

測試標準： 施工完成復原： 附表5-1 施工完成是否將現場復原。如高架地板是否復原現場鐵鋁屑是否清理…等等。 當日施工完畢必須將現場清理乾淨工程廢棄物一並清除。 地板必須恢復原狀以保持Ｃ／Ｒ之潔淨度。 施工完成是否將現場復原。如高架地板現場鐵鋁屑…等等。

4.3.9 Chemical 施工潔淨之檢查： 針對潔淨管理規章，施工實一律要鋪設PVC布。 物料進入潔淨室必須擦拭乾淨，若是易發塵物品須包覆保鮮膜或其他防護。 愛護業主物品，禁止任意汙損刮傷或作永久記號。 維持暫存區及施工範圍之整齊清潔。 嚴禁五金、型鋼等材料未除油即進入潔淨室。 進行鋸、切等易發塵作業，須用無塵室專用吸塵器立即移除粉塵。 非經許可不得任意拆除其他系統之管線或附件，拆除後應負責復原的責任。

品質之檢查： SUS之內管焊道不得凹凸管壁厚度之15%。 管路是否歪斜（該正、直、平為主）。 support架設為1.2米架一組（防止軟化）。 管路標籤貼法為1.5米貼一張。 軟管不得凹折。 透明PVC管不得有燒焦之現象。 透明PVC管彎管時不得彎扁。 焊接現場之前一定要先燒Sample(SUS)。 內管和外管之間一律放間隔片(SUS)。 預製之管路一律CAP不得以膠帶CAP(SUS內管)。

施工完成是否將現場復原。如高架地板是否復原現場鐵鋁屑是否清理…等等。 測試標準： 附表5-1 施工完成復原： 施工完成是否將現場復原。如高架地板是否復原現場鐵鋁屑是否清理…等等。

4.3.10 Core Drill 施工潔淨之檢查： 施工人員及機具須遵守潔淨室規定，先經除塵處理，始能於潔淨室內工作。 施工時為防止粉塵擴散污染，必須有吸塵設備同時操作。

品質之檢查： 禁止因固定鑽孔機而使用膨脹螺栓，以免損壞潔淨室地面。 施工樓板下方須有防汙護罩以承接鑽孔時流下之污水及防止墜落物掉落，損壞機具或管路，而防汙護罩禁止架設於現場設施，須固定於天花板的工字槽內。 安裝承接容器時是否有任何設施器具損壞。 鑽孔時是否有使用乾濕兩用吸塵器。

施工完成復原： 管路安裝後是否使用PVC布封蓋將鑽孔處覆蓋封閉。 鑽孔完成至封閉期間，須有蓋板暫時封閉，並以膠帶固定，以避免潔淨室氣流外漏。 管路安裝後之填縫及Epoxy塗漆是否確實。 工作完成後是否將工作區域打掃乾淨。

4.3.11 Pumping Line 施工潔淨之檢查： 針對潔淨管理規章，施工實一律要鋪設PVC布。 物料進入潔淨室必須擦拭乾淨，若是易發塵物品須包覆保鮮膜或其他防護。 愛護業主物品，禁止任意汙損刮傷或作永久記號。 維持暫存區及施工範圍之整齊清潔。 嚴禁五金、型鋼等材料未除油即進入潔淨室。 進行鋸、切等易發塵作業，須用吸塵器立即移除粉塵。 非經許可不得任意拆除其他系統之管線或附件，拆除後應負責復原的責任。

品質之檢查： 管路標籤在1F和2F 需要貼管路標籤。 Bellow不得歪斜超過20%。 Bellow不得擠壓。 焊道外表氧化處不得用酸洗要使用鋼刷。

測試標準： 附表5-1 施工完成復原： 施工完成是否將現場復原。如高架地板是否復原現場鐵鋁屑是否清理…等等。

4.3.11 Move-in 施工潔淨之檢查： 機具進無塵室是否擦拭。 油壓板車之輪子是否貼上膠帶。

品質之檢查： 不銹鋼板：(依設備重量鋪設) 設備重500KG~3500KG鋪設PVC＋5MM不銹鋼板。 卸貨幾拆箱作業： 普通貨車及平板車卸貨、嚴禁單獨作業、應於碼頭上、下各派一人指揮作業、以確保機器設備上、下碼頭之安全。 貨櫃及保稅箱型車卸貨作業、車輛需停靠於碼頭卸貨平台再利用堆高機將設備安全的卸至碼頭。 無塵室作業： 緩衝區應隨手關門、切勿雙門同時開啟、確保無塵室之潔淨度、若需拆門或其他障礙物時、應知會廠務或設備相關人員。 當設備進入緩衝區後、再將設備之最後一層包裝拆除。 不銹鋼板收回後、殘留膠帶痕跡需以IPA去除。

施工完成復原： 拆下之木板及廢棄物、經整理後、擺放整齊、以利碼頭作 業之方便、完工後、當日運離廠區處理。 Move-in完成機具是否收始完整 拆下之木板及廢棄物、經整理後、擺放整齊、以利碼頭作 業之方便、完工後、當日運離廠區處理。 Move-in完成機具是否收始完整 鐵板該收的是否收始完整

五、附件： 針對Hook-up Turnkey 之各系統測試標準規定如附表5-1。

System Item Criteria Remark Bulk Gases Pressure decay test 8 kg/cm², 4 Hrs., no pressure drop UCA.UN2.CDA.GN2.PN2 Helium leak test ≦ 1e-9 atm*cc/sec GN2.PN2 Purge time 3 Hrs Particle test ≦ 1 pcs/ft³ @ 0.1 μm, 3 cubic ft continuous, flow rate > 7 m/s Specialty Gases 8 kg/cm², 8 Hrs., no pressure drop 3 Hrs. ≦ 1 p/ft³ @ 0.1 μm, 3 cubic ft continuous, flow rate > 7 m/s O2 test < 10 ppb, no by pass flow to instrument, downward trend, 30 minutes, Test after reaching specification CH2F2.CH3F.PH3.PH3/He.PH2.H2/N2.CH4/Ar.NH3.SIH4.SIH2CL2 H2O BCL3.CL2.CLF3.F2/Kr/Ne.NH3.WF6.SIF4.SIH2CL2.CO

Electricity 絕緣電阻 ＞100MΩ 使用高阻計 電壓 標稱電壓之+/-5%(分路,幹線) 使用三用電表 相序 相序是否正確 使用相序表 PCW Service GAS pressure test 6Kg/cm for 1 Hrs. Service pressure test 5Kg/cm2 for 1 Hrs. Flushing 2 Hrs. Plastic System PV System vacuum service test 30 minutes, no rise RCW Service pressure test 2 Hr. flush time Drain 重力排水 無洩漏 Drain pan Waste System N/A

表5-1測試標準(2/2) Waste Solvent collection Pressure test 1.5 Kg for 4 Hrs. UPW Service pressure test Virtual leak inspection Flushing 4 Hrs. Vacuum System Helium leak test ≦ 5e-9 atm*cc/sec Chemical System Non UHP S/S 5 psi, snoop for leaks (containment) 40 psi for 4 Hrs. (drain) EP S/S 80 psi for 24 Hrs. Particle tset 1 p/ft³ @ 0.1 µm PVDF Drain Line 40 psi for 4 Hrs. PVC Containment 5 psi with N2 and snoop PFA 60 psi with water for 8 Hrs. 表5-1測試標準(2/2)