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南台科技大學 劉雲輝 Establishing Sensitive Process Tool Vibration Thresholds (of degraded performance) IEST-RP-CC024.1 “Measuring and Reporting Vibration in Microelectronics Facilities” Direct measurement  placed on a table excited in a precisely controlled shaker Modal testing and analysis  natural frequency and mode shape  finite element method─difficult to model complex equipment due to no corroborated 、k and B.C. Field measurement  installed in a number of location with different vibration level  place a shaker on the floor near the equipment

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