中国科学院“核探测技术与核电子学”重点实验室 用于探测器信号读出的前端ASIC 王 铮 中国科学院“核探测技术与核电子学”重点实验室 中国科学院高能物理研究所 2010年 8月15日 2010-8-15 NED2010

主要内容 国际上ASIC技术发展动态 国内ASIC研究进展 半导体探测器读出ASIC（FEI-4，MIMOSA26） 气体探测器读出ASIC（TIMEPIX） 国内ASIC研究进展 2010-8-15 NED2010

半导体探测器读出ASIC 探测器与ASIC采用hybrid结构 探测器与ASIC作在同一个衬底上（单片结构） FEI4 MINOSA26 2010-8-15 NED2010

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Pixel Detector Module Breakdown PP0 connection Bump bonds Flex Hybrid Wire bonds Sensor tile 16 FE chips 2010-8-15 NED2010

Frontend Chip - FE-I4 Review Nov 3-4,2009 FE-I3 New FE-I4 Largest Chip in HEP FE-I3 New FE-I4 Pixel size = 250 x 50 µm2 Pixels = 80 x 336 Technology = 0.13µm Power = 0.5 W/cm2 Review Nov 3-4,2009 2010-8-15 NED2010

Development of CMOS Pixel Sensors for Charged Particle Tracking Design according to 3 issues: Increasing S/N at pixel-level A to D Conversion at column-level Zero suppression at chip edge level Power v.s. speed: Power  Readout in a rolling shutter mode Speed  1 row pixels are read out // MIMOSA26 is a reticule size MAPS with binary output, 10 k images / s Pixel array: 1152 x 576, 18.4 µm pitch Hit density: ~ 1E6 particles/cm²/s Architecture: Pixel (Amp+CDS) array organised in // columns r.o. in the rolling shutter mode 1152 ADC, a 1-bit ADC (discriminator) / column Integrated zero suppression logic Remote and programmable Lab. and beam tests: 62 chips tested, yield ~75-90% Pixel Array Rolling shutter mode ADC Zero suppression 21.5 mm 13.7 mm MIMOSA26 Active area: ~10.6 x 21.2 mm2 2010-8-15 NED2010

MIMOSA26: 1st MAPS with Integrated Ø CMOS 0.35 µm OPTO technology, Chip size : 13.7 x 21.5 mm2 Pixel array: 576 x 1152, pitch: 18.4 µm Active area: ~10.6 x 21.2 mm2 In each pixel: Amplification CDS (Correlated Double Sampling) Integration time: ~ 100 µs  R.O. speed: 10 k frames/s Hit density: ~ 106 particles/cm²/s Testability: several test points implemented all along readout path Pixels out (analogue) Discriminators Zero suppression Signal transmission Row sequencer Width: ~350 µm 1152 column-level discriminators offset compensated high gain preamplifier followed by latch Zero suppression logic Reference Voltages Buffering for 1152 discriminators I/O Pads Power supply Pads Circuit control Pads LVDS Tx & Rx Readout controller JTAG controller Current Ref. Bias DACs Memory management Memory IP blocks PLL, 8b/10b optional 2010-8-15 NED2010

气体探测器ASIC（TIMEPIX） GEM探测器 μ-megas探测器 2010-8-15 NED2010

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TIMEPIX芯片 四种工作模式 与标准GEM探测器测试，性能指标： TOT：测量信号过阈宽度（时钟周期数） MediPix:信号过阈次数计数 OneHit: 来一个信号即为1，无信号为0 与标准GEM探测器测试，性能指标： 位置分辨：~20 um （rms） 时间分辨：~8ns （rms） 2010-8-15 NED2010

国内ASIC研究进展 2010-8-15 NED2010

研究背景 为了获得粒子径迹或图像更高的位置分辨力，各种新型射线和粒子探测器的单元尺寸减小到~10mm - ~100mm，称为密集阵列探测器。 高密度、低功耗、低成本的读出ASIC 2010-8-15 NED2010

在研项目 GEM探测器读出ASIC的研制 新型密集阵列探测器读出ASIC的研制 气体探测器ASIC读出电子学的研究 … 高能所科技创新项目，2007－2010，40万 新型密集阵列探测器读出ASIC的研制 NSFC重点项目，清华、近物所、高能所联合，2008－2011，240万 气体探测器ASIC读出电子学的研究 中科院核电子学与探测技术重点实验室重点项目，30万，2010年 … 2010-8-15 NED2010

极低噪声CMOS电荷灵敏前放的设计研究 清华大学 噪声水平达到国内领先，和国外最好的几个电子的水平相比，还有一定差距 输入电容~0.1pF ENC=61.3e 噪声水平达到国内领先，和国外最好的几个电子的水平相比，还有一定差距 2010-8-15 NED2010

多通道GEM探测器读出ASIC的研制 第一版16通道CASA芯片的设计 清华大学 单通道包括电荷灵敏前放(CSA)、极零相消、CR-(RC)4成形和全差分缓冲输出 CASA芯片版图 2010-8-15 NED2010

与GEM探测器的测试结果 清华大学 输入电荷 1500 fC 增益 1-19 mV/fC 输出脉宽 200–800 ns 积分非线性 CASA主要性能指标 输入电荷 1500 fC 增益 1-19 mV/fC 输出脉宽 200–800 ns 积分非线性 <2.5% 串扰 <0.98% 功耗 8.9 mW/ch COOL-X X-ray Generator (peak @~8keV) CASA噪声测试结果 探测器信号波形 GEM detector CASA 2010-8-15 NED2010

GEM探测器读出ASIC- GEMROC CSA+Shaper 高能所 Chartered 0.35 ms technology 2009Nov，ver2 completed CSA+Shaper Chartered 0.35 ms technology •16channel/chip •Strip capacitance: 20~100pF •Most probable Qstrip:~50fC •Linear range: up to 200fC,inl<1% •Track rate: >100KHz •Noise: <2000e,rms •Gain:5mV/fC •Output: semi-Gaussian pulse 50~400ns peaking time •Power consumption:<20mW schematic 单通道原理图 Simulation Schematics ver2 2010-8-15 NED2010

GEMROC芯片 16通道低噪声电荷灵敏前放+积分成形电路 高能所 92μm×1500μm 电荷灵敏前放 极零相消 RC积分 输出级 扫描链 模拟监测缓冲 单个读出通道 基准和偏置 电荷灵敏前放 极零相消 RC积分 输出级 92μm×1500μm 2010-8-15 NED2010

SWAN芯片：开关电容阵列+Wilkinson型ADC 高能所 SWAN芯片：开关电容阵列+Wilkinson型ADC 锁存器和串行输出 8×32cell 2010-8-15 顺序读写控制逻辑 NED2010 可预置纯格雷码计数器

SWAN 高能所 Tapeout: Mar2009 Chartered 0.35 ms technology 12bit WADC Switched-capacitor array with Wilkinson A/D convertors Next version 8chn*32cell CAP array 12bit WADC optional 12bit/10bit/8bit mode clock : 50M / 100M serial data output optional LVDS or CMOS clock input LQFP100 package ADC noise chnl 1 2 3 4 5 6 7 RMS 0.54 0.59 0.62 0.61 0.56 Timing diagram RAMP circuit test Grey code output test 2010-8-15 NED2010

四通道MAPMT放大读出ASIC 高能所 2009年8月流片： 固定 136ns 成形时间，A类驱动放大级（线性好） 已完成实验室测试。 适用于多阳极光电倍增管波形采样读出的四通道模拟放大成形芯片，每个放大通道由 跨阻前放+ 滤波成形 +增益调整与输出驱动极构成。 2009年8月流片： 固定 136ns 成形时间，A类驱动放大级（线性好） 已完成实验室测试。 2010-8-15 NED2010

PET芯片测试结果 高能所 芯片参数 电源 ： + -2.5V，0V； 耦合方式： 输入输出皆可采用直流或交流耦合（目前为直流耦合） 耦合方式： 输入输出皆可采用直流或交流耦合（目前为直流耦合） 放大倍数： 102 mV/pC 可根据需要调整，最小51mV/pC） 通道间串扰： <0.05% 每通道功耗： 34 mW （可低至约10 mW，根据驱动能力大小而定） 驱动能力 ： 驱动400欧电阻。 输入动态范围：10.8pC 输出动态范围：1.1V 非线性度： <1% 事例率 ： 70K （堆积几率<3％） 通道非一致性：<1.6% 噪声： 等效输出均方根噪声 0.946mV，信噪比 28（仿真值） 2010-8-15 NED2010 实测输出波形 蓝色 与探测器联调结果

总结 合作单位：高能所、清华大学、近物所 完成了若干ASIC原型芯片的设计，取得了初步的研究成果 但是，与国内探测器的需求还有差距 近期目标：2~3年内，建立基于ASIC前端电路的探测器读出电子学系统，实用化 合作单位：高能所、清华大学、近物所 2010-8-15 NED2010

欢迎更多合作者参与！ 2010-8-15 NED2010