组会报告 4/23
研究不同溶液 编号 Hf厚度 阳极氧化溶液 阳极氧化电压 阳极氧化其他参数 氧化完后栅介质处理 Anneal/Plasma 是否钝化 编号 Hf厚度 阳极氧化溶液 阳极氧化电压 阳极氧化其他参数 氧化完后栅介质处理 Anneal/Plasma 是否钝化 是否退火 250℃ O2/air TE1 56nm (80s) 研究不同溶液 2%五硼酸铵 PH 8-9 5V 0.05mA/cm2 CV 1h 无 200℃ PECVD 30min TE5 0.001M柠檬酸 无 TE3 乙二醇:酒石酸铵3.68%,(PH=6~7)= 3:1 TE4 O2 300℃ 1h
溶液 Rq(nm)不退火 Ra(nm)不退火 Rq(nm)退火 Ra(nm)退火 五硼酸铵 0.841 0.679 0.764 0.614 柠檬酸 1.26 0.994 1.10 0.875 酒石酸铵,乙二醇 1.17 0.920 1.16 0.908 金属 Hf 1.73 1.34
Vt U SS 未退火 3V 2 0.15 5V 0.35 2.5 0.135 0.3 1.5 0.25 10V 0.2 1.3 0.18 20V 0.1 1 0.8